一种FIB三维重构样品专用存储盒的制作方法
一种fib三维重构样品专用存储盒
技术领域
1.本实用新型涉及fib三维重构样品存储技术领域,尤其是涉及一种fib三维重构样品专用存储盒。
背景技术:
2.聚焦离子束(focused ion beam缩写fib)是一种较为先进的显微加工及分析技术,其中,fib三维重构是一种利用fib的显微加工能力来实现样品的三维显微分析的重要技术,该技术具有以下特点:
3.①
fib使用昂贵的镓离子源做为加工介质,获取三维数据的成本较高;
4.②
fib三维重构的测试周期很长,如果需要重构较大区域甚至需要几周时间。
5.从以上两点可以发现fib三维重构的样品是珍贵的,而测试过程是复杂而漫长的,在测试过程中需要对fib三维重构样品进行存储。但是目前市场上却没有一种能够良好保存fib三维重构样品的存储装置,尤其是良好保存测试过程样品的存储装置。
技术实现要素:
6.为了解决上述问题,本实用新型提供一种fib三维重构样品专用存储盒。
7.本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案:
8.一种fib三维重构样品专用存储盒,包括底盖及与底盖配合形成存储腔的样品盖,所述存储腔内设置有用于固定样品的双倾样品台及用于将双倾样品台安装在底盖上的夹具,所述双倾样品台顶部设置有邻接且相互垂直的第一斜面与第二斜面,所述第一斜面与水平面的夹角为36
°
,所述第二斜面与水平面的夹角为54
°
。
9.更进一步地,所述夹具上设置有第一螺纹孔,所述双倾样品台底部设置有与第一螺纹孔连接的第一螺纹柱。
10.更进一步地,所述夹具底部设置有第二螺纹柱,所述底盖上设置有与第二螺纹柱配合的第二螺纹孔。
11.更进一步地,所述第二螺纹柱外部及第二螺纹孔内均设置rms螺纹。
12.更进一步地,所述双倾样品台还包括一杆体,所述第一斜面、第二斜面均设置在杆体顶部,所述杆体上设置有若干通孔或凹槽。
13.更进一步地,所述样品盖为透明材料制成。
14.本实用新型的有益效果如下:
15.本实用新型提供的fib三维重构样品专用存储盒,实现fib样品台与样品的一体化存储,不仅能有效保护珍贵样品,还能存储样品的三维空间状态,非常适合对三维重构的过程样品进行存储,实现三维重构样品的断点续测;同时双倾样品台具有角度独特的第一斜面与第二斜面,便于从特定角度观察样品,对样品结构进行三维表征。
附图说明
16.图1是存储盒外部结构示意图;
17.图2是存储盒爆炸结构示意图;
18.图3是存储盒剖面结构示意图;
19.图4是双倾样品台结构示意图;
20.图5是夹具结构示意图;
21.附图标记:1-样品盖,2-底盖,3-双倾样品台,4-夹具,5-第一斜面,6-第二斜面,7-通孔,8-第一螺纹柱,9-第一螺纹孔,10-第二螺纹孔,11-第二螺纹柱。
具体实施方式
22.在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连通”应做广义理解,例如,可以是固定连通,也可以是可拆卸连通,或一体地连通;可以是机械连通,也可以是电连通;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.实施例
24.本实施例提供一种fib三维重构样品专用存储盒,请参见图1-4所示,包括底盖2及与底盖2配合形成存储腔的样品盖1,当然底盖2与样品盖1是可拆卸连接的,以便放入或取出样品,具体可以是卡接、扣接、螺纹连接等方式进行连接,且样品盖1也可以采用透明材料,例如塑料等,进行制作,以方便观察其内部结构。其中,存储腔内设置有用于固定样品的双倾样品台3及用于将双倾样品台3安装在底盖2上的夹具4,所述双倾样品台3顶部设置有邻接且相互垂直的第一斜面5与第二斜面6,所述第一斜面5与水平面的夹角为36
°
,所述第二斜面6与水平面的夹角为54
°
。其中,双倾样品台3可以直接安装至双束电子显微镜上进行测试,而双倾样品台3具有特殊倾角的第一斜面5与第二斜面6,实际使用时,可以根据需要将样品固定在第一斜面5或第二斜面6上,然后根据检测需求调整至合适的角度,例如样品调整至水平角度、倾斜36
°
等,进行寻共焦点、fib诱导沉积保护层、fib截面切割等操作,然后便可以放置到双束电子显微镜内进行测试,测试时,根据需要对双倾样品台3进行一定角度倾斜,获取图像,进行三维重构,这使得不论是特定角度观察还是利用离子束进行铣削和加工,都更为方便,从而使得三维重构更为便利。
25.另外,双倾样品台3具体来说可以包括一杆体,所述第一斜面5、第二斜面6均设置在杆体顶部,所述杆体上设置有若干通孔7或凹槽,通过通孔7及凹槽来减轻双倾样品台3的重量及原料用量。
26.虽然双倾样品台3与夹具4之间也可以通过卡接、在夹具4一侧打孔以螺钉固定等方式进行连接,但是这样的方式,都容易伤及双倾样品台3底部,因此本实施例根据双倾样品台3的特点,请参见图5所示,在夹具4上设置有第一螺纹孔9,双倾样品台3底部设置有与第一螺纹孔9连接的第一螺纹柱8,当然,第一螺孔内设置的m6螺纹,第一螺纹柱8外部设置的也是是m6螺纹,这使得第一螺纹柱8也是双倾样品台3可以直接与一些主流品牌双束电子显微镜进行连接的方式,即无需对双倾样品台3进行额外设置,即可使其与夹具4进行连接,且不会对双倾样品台3造成伤害,使用更为便利。
27.而夹具4与底盖2之间,也是如此,可以通过螺栓紧固件、卡接等方式进行连接。但是为了进一步降低样品存储的成本,也可以选用存放显微镜物镜的盒子来替代样品盖1及底盖2,即无需再专门制作样品盖1与底盖2,直接从市面上进行购买即可,而显微镜物镜盒的底盖2内部设置有rms螺纹槽,此时就可以在夹具4底部设置rms螺纹柱来将夹具4固定在底盖2上,当然对于一些尺寸特殊的双倾样品台3,需要单独制作底盖2与样品盖1的,可以在底盖2上设置第二螺纹孔10,夹具4上设置与第二螺纹孔10螺纹连接第二螺纹柱11,当然第二螺纹柱11也为rms螺纹柱,这样可以使夹具4适配各种底盖2,适应性更强。
28.作为夹具4的一种具体结构,夹具4可以设置为一多棱柱体,分别在其顶部设置第一螺纹槽、底部设置第二螺纹柱11,这样的设置方式,可以通过其侧边的棱增大摩擦力,方便拧动,当然也可以直接设置为圆柱,在外表增设防滑凸起即可。
29.总地来说,本发明的fib三维重构样品专用存储盒,具有如下优点:
30.1.具有广泛的适用性,适合用于市场上80%以上的双束或多束设备使用,且方便进行样品进行观察;
31.2.实现样品-样品台一体化存储,不仅能有效保护珍贵样品,同时还存储了样品的三维空间状态,非常适合对三维重构的过程样品进行存储,实现断点续测的功能;
32.3.该样品存储盒适合长期存储样品并能够适应运输过程,使得远距离运输以及不同仪器间的协作测试成为可能。
33.以上所述,仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,本实用新型的专利保护范围以权利要求书为准,凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化,同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
技术特征:
1.一种fib三维重构样品专用存储盒,包括底盖(2)及与底盖(2)配合形成存储腔的样品盖(1),其特征在于,所述存储腔内设置有用于固定样品的双倾样品台(3)及用于将双倾样品台(3)安装在底盖(2)上的夹具(4),所述双倾样品台(3)顶部设置有邻接且相互垂直的第一斜面(5)与第二斜面(6),所述第一斜面(5)与水平面的夹角为36
°
,所述第二斜面(6)与水平面的夹角为54
°
。2.根据权利要求1所述的fib三维重构样品专用存储盒,其特征在于,所述夹具(4)上设置有第一螺纹孔(9),所述双倾样品台(3)底部设置有与第一螺纹孔(9)连接的第一螺纹柱(8)。3.根据权利要求2所述的fib三维重构样品专用存储盒,其特征在于,所述夹具(4)底部设置有第二螺纹柱(11),所述底盖(2)上设置有与第二螺纹柱(11)配合的第二螺纹孔(10)。4.根据权利要求3所述的fib三维重构样品专用存储盒,其特征在于,所述第二螺纹柱(11)外部及第二螺纹孔(10)内均设置rms螺纹。5.根据权利要求1所述的fib三维重构样品专用存储盒,其特征在于,所述双倾样品台(3)还包括一杆体,所述第一斜面(5)、第二斜面(6)均设置在杆体顶部,所述杆体上设置有若干通孔(7)或凹槽。6.根据权利要求1所述的fib三维重构样品专用存储盒,其特征在于,所述样品盖(1)为透明材料制成。
技术总结
本实用新型公开了一种FIB三维重构样品专用存储盒,包括底盖及与底盖配合形成存储腔的样品盖,所述存储腔内设置有用于固定样品的双倾样品台及用于将双倾样品台安装在底盖上的夹具,所述双倾样品台顶部设置有邻接且相互垂直的第一斜面与第二斜面,所述第一斜面与水平面的夹角为36