液氮冷屏结构的制作方法
1.本实用新型涉及低温处理设置技术领域，特别是涉及一种液氮冷屏结构。
背景技术：
2.分子束外延(mbe)是新发展起来的外延制膜方法，也是一种特殊的真空镀膜工艺。外延是一种制备单晶薄膜的新技术，它是在适当的衬底与合适的条件下，沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。通过在安装室内安装液氮冷屏从而控制衬底温度，可以控制膜层生长速率以及束流强度，膜层组分和掺杂浓度可随源的变化而迅速调整。而且液氮冷屏可以吸收膜层在生长过程中蒸发出来的杂质原子，提高膜层的成品率。但是现有的液氮冷屏与安装室之间的结构较为复杂，导致液氮冷屏安装至安装室时安装步骤复杂，耗费时间。
技术实现要素：
3.基于此，有必要针对冷屏安装步骤复杂问题，提供一种液氮冷屏结构。
4.一种液氮冷屏结构，包括：
5.液氮冷屏；
6.安装室，包括顶板以及连接于所述顶板的侧板，所述顶板与所述侧板围设形成容纳腔，所述安装室具有与所述容纳腔连通的第一开口，所述第一开口用于供所述液氮冷屏伸入所述容纳腔；
7.连接组件，包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件和所述第二连接件其中一个安装在所述顶板上，另一个安装在所述液氮冷屏上，且所述第一连接件和所述第二连接件连接，以使所述液氮冷屏悬挂于所述容纳腔内。
8.在其中一个实施例中，所述第二连接件位于所述顶板的上方且连接于所述顶板，所述第一连接件连接于所述液氮冷屏，所述顶板上设有与所述容纳腔连通的通孔，所述第一连接件位于所述通孔内。
9.在其中一个实施例中，所述连接组件包括第一锁紧件与第二锁紧件，所述顶板向外凸出设置有凸台，所述通孔贯穿所述凸台，所述第一连接件与所述第二连接件通过所述第一锁紧件连接，所述凸台与所述第二连接件通过所述第二锁紧件连接。
10.在其中一个实施例中，所述液氮冷屏上设有朝所述顶板伸出的连接杆，所述第一连接件套设在所述连接杆上且二者连接，所述连接杆能够穿过所述通孔。
11.在其中一个实施例中，所述第二连接件上设有限位孔，所述连接杆依次穿过所述通孔与所述限位孔，所述限位孔用于对所述连接杆限位。
12.在其中一个实施例中，所述连接组件还包括夹设于所述第二连接件和所述凸台之间的第一密封件，所述凸台朝向所述第二连接件的端面上开设有第一环槽，所述第一密封件至少部分容纳在所述第一环槽内。
13.在其中一个实施例中，所述连接组件还包括夹设于所述第二连接件和所述第一连接件之间的第二密封件，所述第一连接件朝向所述第二连接件的端面上设置有第二环槽，
所述第二密封件至少部分容纳在所述第二环槽内。
14.在其中一个实施例中，所述第二连接件与所述第一连接件均位于所述容纳腔内。
15.在其中一个实施例中，所述侧板呈环形，所述液氮冷屏呈环形，所述液氮冷屏的外径小于所述侧板的内径。
16.在其中一个实施例中，所述连接组件设置有多组，且多组所述连接组件沿所述侧板的周向均匀分布。
17.上述液氮冷屏结构，安装室的顶板和侧板围设成容纳腔，将第一连接件和第二连接件其中一个安装在安装室的顶板上，另一个安装在液氮冷屏上，液氮冷屏能够伸入至容纳腔内，且连接第一连接件和第二连接件，从而实现安装室和液氮冷屏的连接，将液氮冷屏安装在安装室内，安装室对液氮冷屏起到一定的保护作用。本实用新型提供的液氮冷屏结构，只需要将液氮冷屏伸入至容纳腔内，再连接第一连接件和第二连接件，即可实现液氮冷屏的安装，安装步骤简单，安装效率高。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例提供的液氮冷屏结构的结构示意图；
19.图2为本实用新型实施例提供的液氮冷屏结构的爆炸图；
20.图3为本实用新型实施例提供的连接组件的部分结构示意图。
21.图中：
22.1、液氮冷屏；11、连接杆；
23.2、安装室；21、顶板；211、通孔；212、凸台；213、第二开口；22、侧板；
24.3、连接组件；31、第一连接件；32、第二连接件；321、限位孔；33、第一锁紧件；34、第二锁紧件；35、第一密封件；36、第二密封件。
具体实施方式
25.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
26.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
27.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
28.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
29.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
30.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
31.本实用新型实施例提供了一种液氮冷屏结构，如图1和图2所示，液氮冷屏结构包括液氮冷屏1、安装室2以及连接组件3，安装室2包括顶板21以及连接于顶板21的侧板22，顶板21与侧板22围设形成容纳腔，安装室2具有与容纳腔连通的第一开口，第一开口用于供液氮冷屏1伸入容纳腔；连接组件3包括第一连接件31和第二连接件32，第一连接件31和第二连接件32其中一个安装在顶板21上，另一个安装在液氮冷屏1上，且第一连接件31和第二连接件32连接，以使液氮冷屏1悬挂于容纳腔内。
32.上述液氮冷屏结构，安装室2的顶板21和侧板22围设成容纳腔，将第一连接件31和第二连接件32其中一个安装在安装室2的顶板21上，另一个安装在液氮冷屏1上，液氮冷屏1能够伸入至容纳腔内，且连接第一连接件31和第二连接件32，从而实现安装室2和液氮冷屏1的连接，将液氮冷屏1悬挂安装在安装室2内，安装室2对液氮冷屏1起到一定的保护作用。本实用新型提供的液氮冷屏结构，只需要将液氮冷屏1伸入至容纳腔内，再连接第一连接件31和第二连接件32，即可实现液氮冷屏1的安装，安装步骤简单，安装效率高。
33.如图1和图2所示，在一些实施例中，第二连接件32位于顶板21的上方且连接于顶板21，第一连接件31连接于液氮冷屏1，顶板21上设有与容纳腔连通的通孔211，第一连接件31位于通孔211内。将第二连接件32设置在顶板21的上方，第一连接件31设置在通孔211内，连接第一连接件31和第二连接件32，从而将液氮冷屏1悬挂在容纳腔内，而且在顶板21上开设有与容纳腔连通的通孔211，便于观察第一连接件31在通孔211内的位置，便于连接第一连接件31和第二连接件32。
34.具体地，第一连接件31为法兰，第二连接件32为法兰盖，法兰盖安装在顶板21上，法兰盖连接于法兰，从而实现液氮冷屏1和安装室2的连接。
35.如图2和图3所示，在一些实施例中，连接组件3包括第一锁紧件33与第二锁紧件34，顶板21向外凸出设置有凸台212，通孔211贯穿凸台212，第一连接件31与第二连接件32通过第一锁紧件33连接，凸台212与第二连接件32通过第二锁紧件34连接。设置第一锁紧件33连接第一连接件31和第二连接件32，实现顶板21和液氮冷屏1的连接，设置第二锁紧件34
连接凸台212与第二连接件32，实现第二连接件32的安装固定。
36.具体地，第一锁紧件33包括第一螺栓和第一螺母，第一螺栓由下至上依次穿过第一连接件31、通孔211以及第二连接件32，第一螺母螺纹连接于第一螺栓且抵接于第二连接件32的端面。第一锁紧件33设置有多个，多个第一锁紧件33沿第二连接件32的周向分布。
37.具体地，第二锁紧件34包括第二螺栓，凸台212上设置有螺纹孔，第二螺栓由上至下依次穿过第二连接件32和凸台212并螺纹连接于凸台212。第二锁紧件34设置有多个，螺纹孔设置有多个，多个螺纹孔和多个凸台212一一对应，多个第二锁紧件34沿凸台212的周向分布。
38.具体地，如图1和图2所示，顶板21上开设有与容纳腔连通的第二开口213，待冷却件能够通过第二开口213伸入至容纳腔内，从而进行冷却。
39.如图1和图2所示，在一些实施例中，液氮冷屏1上设有朝顶板21伸出的连接杆11，第一连接件31套设在连接杆11上且二者连接，连接杆11能够穿过通孔211。在液氮冷屏1的上端面上朝向顶板21伸出有连接杆11，将第一连接件31套设在连接杆11上且固连于连接杆11，在安装液氮冷屏1时，先将液氮冷屏1通过第一开口吊入至容纳腔内，然后将连接杆11穿过通孔211，使第一连接件31位于通孔211内，最后连接第一连接件31和第二连接件32，实现液氮冷屏1的安装。
40.如图1和图2所示，在一些实施例中，第二连接件32上设有限位孔321，连接杆11依次穿过通孔211与限位孔321，限位孔321用于对连接杆11限位。在第二连接件32上开设限位孔321，限位孔321的孔径略大于连接杆11的杆径，设置限位孔321对连接杆11进行限位，防止其晃动。而且在安装过程中，连接杆11依次穿过通孔211和限位孔321，从而使第二连接件32和第一连接件31沿竖直方向对准，限位孔321还起到了一定的导向作用。
41.如图2和图3所示，在一些实施例中，连接组件3还包括夹设于第二连接件32和凸台212之间的第一密封件35，凸台212朝向第二连接件32的端面上开设有第一环槽，第一密封件35至少部分容纳在第一环槽内。通过设置第一密封件35，使第一密封件35夹设在第二连接件32和凸台212之间，密封第一连接件31和凸台212之间的间隙。而且在凸台212朝向第一连接件31的端面上设有第一环槽，至少部分容纳第一密封件35。第一环槽不仅容纳第一密封件35，而且对第一密封件35同样起到了一定的限位作用。另外，在凸台212朝向第一连接件31的端面上设有第一环槽，第一密封件35部分位于第一环槽内，当第一密封件35损坏时，便于更换第一密封件35。
42.如图2和图3所示，在一些实施例中，连接组件3还包括夹设于第二连接件32和第一连接件31之间的第二密封件36，第一连接件31朝向第二连接件32的端面上设置有第二环槽，第二密封件36至少部分容纳在第二环槽内。通过设置第二密封件36，使第二密封件36夹设在第二连接件32和第一连接件31之间，密封第二连接件32和第一连接件31之间的间隙。而且在第一连接件31朝向第二连接件32的端面上设有第二环槽，至少部分容纳第二密封件36。第二环槽不仅容纳第二密封件36，而且对第二密封件36同样起到了一定的限位作用。
43.如图1和图2所示，在一些实施例中，侧板22呈环形，液氮冷屏1呈环形，液氮冷屏1的外径小于侧板22的内径。使液氮冷屏1的外径小于侧板22的外径，保证液氮冷屏1能够顺利进入容纳腔内，防止了液氮冷屏1和侧板22抵接损坏的情况发生。
44.如图1和图2所示，在一些实施例中，连接组件3设置有多组，且多组连接组件3沿侧
板22的周向均匀分布。设置多组连接组件3，提高液氮冷屏1和安装室2的连接强度，提高液氮冷屏1的安装稳定性。具体地，连接组件3设置有多组，凸台212设置有多个，通孔211设置有多个，多个连接组件3、多个凸台212以及多个通孔211一一对应。
45.在一些实施例中，第二连接件32与第一连接件31均位于容纳腔内。将第二连接件32和第一连接件31均设置在容纳腔内，且第二连接件32和第一连接件31其中一个连接于顶板21，另一个连接于液氮冷屏1，第一连接件31和第二连接件32连接，也能将液氮冷屏1吊装在容纳腔内。
46.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
47.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
技术特征：
1.一种液氮冷屏结构，其特征在于，包括：液氮冷屏(1)；安装室(2)，包括顶板(21)以及连接于所述顶板(21)的侧板(22)，所述顶板(21)与所述侧板(22)围设形成容纳腔，所述安装室(2)具有与所述容纳腔连通的第一开口，所述第一开口用于供所述液氮冷屏(1)伸入所述容纳腔；连接组件(3)，包括第一连接件(31)和第二连接件(32)，所述第一连接件(31)和所述第二连接件(32)其中一个安装在所述顶板(21)上，另一个安装在所述液氮冷屏(1)上，且所述第一连接件(31)和所述第二连接件(32)连接，以使所述液氮冷屏(1)悬挂于所述容纳腔内。2.根据权利要求1所述的液氮冷屏结构，其特征在于，所述第二连接件(32)位于所述顶板(21)的上方且连接于所述顶板(21)，所述第一连接件(31)连接于所述液氮冷屏(1)，所述顶板(21)上设有与所述容纳腔连通的通孔(211)，所述第一连接件(31)位于所述通孔(211)内。3.根据权利要求2所述的液氮冷屏结构，其特征在于，所述连接组件(3)包括第一锁紧件(33)与第二锁紧件(34)，所述顶板(21)向外凸出设置有凸台(212)，所述通孔(211)贯穿所述凸台(212)，所述第一连接件(31)与所述第二连接件(32)通过所述第一锁紧件(33)连接，所述凸台(212)与所述第二连接件(32)通过所述第二锁紧件(34)连接。4.根据权利要求3所述的液氮冷屏结构，其特征在于，所述液氮冷屏(1)上设有朝所述顶板(21)伸出的连接杆(11)，所述第一连接件(31)套设在所述连接杆(11)上且二者连接，所述连接杆(11)能够穿过所述通孔(211)。5.根据权利要求4所述的液氮冷屏结构，其特征在于，所述第二连接件(32)上设有限位孔(321)，所述连接杆(11)依次穿过所述通孔(211)与所述限位孔(321)，所述限位孔(321)用于对所述连接杆(11)限位。6.根据权利要求3所述的液氮冷屏结构，其特征在于，所述连接组件(3)还包括夹设于所述第二连接件(32)和所述凸台(212)之间的第一密封件(35)，所述凸台(212)朝向所述第二连接件(32)的端面上开设有第一环槽，所述第一密封件(35)至少部分容纳在所述第一环槽内。7.根据权利要求1所述的液氮冷屏结构，其特征在于，所述连接组件(3)还包括夹设于所述第二连接件(32)和所述第一连接件(31)之间的第二密封件(36)，所述第一连接件(31)朝向所述第二连接件(32)的端面上设置有第二环槽，所述第二密封件(36)至少部分容纳在所述第二环槽内。8.根据权利要求1所述的液氮冷屏结构，其特征在于，所述第二连接件(32)与所述第一连接件(31)均位于所述容纳腔内。9.根据权利要求1所述的液氮冷屏结构，其特征在于，所述侧板(22)呈环形，所述液氮冷屏(1)呈环形，所述液氮冷屏(1)的外径小于所述侧板(22)的内径。10.根据权利要求9所述的液氮冷屏结构，其特征在于，所述连接组件(3)设置有多组，且多组所述连接组件(3)沿所述侧板(22)的周向均匀分布。
技术总结
本实用新型涉及一种液氮冷屏结构，其包括液氮冷屏、安装室以及连接组件，安装室包括顶板以及连接于顶板的侧板，顶板与侧板围设形成容纳腔，安装室具有与容纳腔连通的第一开口，第一开口用于供液氮冷屏伸入容纳腔；连接组件包括第一连接件和第二连接件，第一连接件和第二连接件其中一个安装在顶板上，另一个安装在液氮冷屏上，且第一连接件和第二连接件连接，以使液氮冷屏悬挂于容纳腔内。本实用新型提供的液氮冷屏结构，只需要将液氮冷屏伸入至容纳腔内，再连接第一连接件和第二连接件，即可实现液氮冷屏的安装，安装步骤简单，安装效率高。安装效率高。安装效率高。
