校正装置、蒸镀装置及校正方法与流程
1.本发明涉及蒸发镀膜技术领域，具体涉及一种校正装置、蒸镀装置及校正方法。
背景技术：
2.真空蒸发镀膜是指在特定的真空环境中，将固体材料加热蒸发或升华后，使其在玻璃基板表面凝结或沉积，以形成表面膜层的工艺。待固体材料在蒸镀坩埚(crucible)内部加热蒸发或升华后，上升并通过蒸镀坩埚上方的蒸发喷嘴(nozzle)发出，待蒸镀源移动到待定位置的基板上方或基板移动到蒸镀源上方时，蒸发出的材料离开蒸镀坩埚后的加热后逐渐降温，蒸发运动的速度也逐渐降低，最终在待蒸镀基板的表面沉积形成膜层。
3.对于量产线，待蒸镀基板在蒸镀过程中的蒸镀速率由成膜速率检测装置(qcm)进行检测，qcm的稳定性决定了蒸镀速率的稳定性。但是qcm在使用一定时间后都会存在不稳定的状态，因此需要将qcm拆卸下来进行检查。然而再次安装qcm时，现有技术需要根据qcm的安装位置重新对蒸镀源的温度、速率及修正(tooling)值等各种参数进行大幅度调整，不仅操作麻烦，而且容易导致qcm检测到的蒸镀速率出现偏差，进而降低了蒸镀速率的检测准确性。
技术实现要素：
4.本技术提供一种校正装置、蒸镀装置及校正方法，以解决现有技术中再次安装检测装置时会降低蒸镀速率的检测准确性的问题。
5.第一方面，本技术提供一种校正装置，用于连接检测装置，所述检测装置包括壳体及位于所述壳体中的检测件，所述壳体上具有暴露所述检测件的检测孔，所述检测件用于检测蒸镀源的蒸镀速率，所述蒸镀源包括蒸发喷嘴，所述校正装置包括：盖板、底座及激光源；
6.所述盖板与所述壳体连接，所述盖板上具有安装孔，所述安装孔位于所述检测孔垂直于所述盖板的延伸方向上；
7.所述激光源通过所述安装孔与所述盖板连接，用于发射激光照射至所述蒸镀源的预设蒸发喷嘴上。
8.在一些可能的实现方式中，所述激光源的出射方向位于所述安装孔垂直于所述盖板的所述延伸方向上。
9.在一些可能的实现方式中，所述安装孔位于所述盖板远离所述壳体一面上的正投影位于所述检测孔位于所述壳体靠近所述盖板一面上的正投影的中心。
10.在一些可能的实现方式中，校正装置还包括与所述盖板连接的底座，所述安装孔位于所述底座中，所述激光源通过所述安装孔与所述底座连接。
11.在一些可能的实现方式中，所述底座位于所述盖板远离所述壳体一面上的正投影和所述检测孔位于所述壳体靠近所述盖板一面上的正投影重叠。
12.在一些可能的实现方式中，所述盖板位于所述壳体靠近所述盖板一面上的正投影
和所述壳体位于所述盖板靠近所述壳体一面上的正投影重叠。
13.在一些可能的实现方式中，所述盖板上具有与所述壳体上的至少一个第一螺纹孔对应的至少一个第二螺纹孔。
14.在一些可能的实现方式中，所述安装孔为第三螺纹孔，所述激光源上具有与所述第三螺纹孔适配的外螺纹。
15.第二方面，本技术提供一种蒸镀装置，包括：检测装置、蒸镀源及如上所述的校正装置；
16.所述检测装置包括壳体及位于所述壳体中的检测件，所述壳体上具有暴露所述检测件的检测孔，所述检测件用于检测蒸镀源的蒸镀速率；所述校正装置与所述检测装置连接，用于发射激光照射至所述蒸镀源的预设蒸发喷嘴上。
17.第三方面，本技术提供一种校正方法，包括：
18.将检测装置活动安装于蒸镀源中；
19.将如上所述的校正装置与所述检测装置连接；
20.打开所述激光源并调整所述检测装置的位置，使所述激光源发射的激光照射至蒸镀源的预设蒸发喷嘴上，再固定住所述检测装置。
21.本技术提供的校正装置包括盖板及激光源，盖板与检测装置的壳体连接，盖板上具有安装孔，安装孔位于检测装置的检测孔垂直于盖板的延伸方向上，激光源通过安装孔与盖板连接，用于发射激光照射至蒸镀源的预设蒸发喷嘴上。当检测装置多次安装时，由于安装孔位于检测装置的检测孔垂直于盖板的延伸方向上，则激光源也位于检测孔垂直于盖板的延伸方向上，与检测件位于同一直线上，因此，校正装置通过激光源发射激光照射至蒸镀源的预设蒸发喷嘴上，即可校正检测件的位置，使检测装置多次安装时，检测件都能固定于同一位置，防止检测件的位置出现偏差，无需对蒸镀源的各种参数进行大幅度调整，从而避免检测件检测到的蒸镀速率出现偏差，进而提高了蒸镀速率的检测准确性及蒸镀稳定性。
附图说明
22.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1是本技术一实施例提供的校正装置的示意图；
24.图2是本技术一实施例提供的校正装置的盖板与底座的示意图；
25.图3是本技术一实施例提供的校正装置的俯视图；
26.图4是本技术一实施例提供的检测装置的示意图；
27.图5是本技术一实施例提供的检测装置的俯视图；
28.图6是本技术一实施例提供的校正装置与检测装置连接的示意图；
29.图7是本技术一实施例提供的校正装置与检测装置连接的爆炸示意图；
30.图8是本技术一实施例提供的检测装置检测蒸镀速率的示意图；
31.图9是本技术一实施例提供的蒸镀装置的示意图；
32.图10是本技术一实施例提供的校正方法的流程图。
具体实施方式
33.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
34.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
35.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
36.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
37.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本技术。此外，本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
38.本技术的校正装置用于连接检测装置，以校正检测装置的检测件的位置。当检测装置多次安装时，由于安装孔位于检测装置的检测孔垂直于盖板的延伸方向上，则激光源也位于检测孔垂直于盖板的延伸方向上，与检测件位于同一直线上，因此，校正装置通过激光源发射激光照射至蒸镀源的预设蒸发喷嘴上，即可校正检测件的位置，使检测装置多次安装时，检测件都能固定于同一位置，防止检测件的位置出现偏差，无需对蒸镀源的各种参数进行大幅度调整，从而避免检测件检测到的蒸镀速率出现偏差，进而提高了蒸镀速率的检测准确性及蒸镀稳定性。
39.请参阅图1至图9，本技术实施例中提供一种校正装置100，用于连接检测装置200，检测装置200包括壳体201及位于壳体201中的检测件202，壳体201上具有暴露检测件202的检测孔203，检测件202用于检测蒸镀源300的蒸镀速率，所述蒸镀源300包括蒸发喷嘴302。该校正装置100包括：盖板1及激光源3；
40.盖板1与壳体201连接，盖板1上具有安装孔21，安装孔21位于检测孔203垂直于盖板1的延伸方向上；
41.激光源3通过安装孔21与盖板1连接，用于发射激光照射至蒸镀源300的预设蒸发喷嘴301上。
42.需要说明的是，当检测装置200多次安装时，由于安装孔21位于检测装置200的检测孔203垂直于盖板1的延伸方向上，即安装孔21和检测孔203位于同一直线上，则激光源3也位于检测孔203垂直于盖板1的延伸方向上，与检测件202位于同一直线上，因此，校正装置100通过激光源3发射激光照射至蒸镀源300的预设蒸发喷嘴301上，以调整检测件202与预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ，即可校正检测件202的位置，使检测装置200多次安装时，检测件202都能固定于同一位置，使检测件202与预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ，防止检测件202的位置出现偏差，无需对蒸镀源300的各种参数进行大幅度调整，从而避免检测件202检测到的蒸镀速率出现偏差，进而提高了蒸镀速率的检测准确性及蒸镀稳定性。
43.在该实施例中，该蒸镀源300可以为点蒸镀源、线蒸镀源或面蒸镀源。点蒸镀源指的是蒸发喷嘴302仅有一个，成膜区域为以这一个蒸发喷嘴302为中心的圆锥形向上蒸发或升华。线蒸镀源指的是多个蒸发喷嘴302呈线性排列，一般情况是蒸镀基板静止下，通过线蒸镀源在基板的下方平行的线性移动而形成膜层区域400。面蒸镀源指的是多个蒸发喷嘴302呈整面排布，与需形成的膜层区域400相对应。
44.当蒸镀源300为点蒸镀源时，则预设蒸发喷嘴301为点蒸镀源上的这一个蒸发喷嘴302。当蒸镀源300为线蒸镀源或面蒸镀源时，则预设蒸发喷嘴301为多个蒸发喷嘴302中的一个蒸发喷嘴302，例如，当蒸镀源300为线蒸镀源时，检测装置200位于蒸镀源300的右侧，预设蒸发喷嘴301为一排蒸发喷嘴302中从右往左数的第三个蒸发喷嘴302，这是发明人根据多次蒸镀速率检测验证，此预设蒸发喷嘴301为检测蒸镀速率最为准确的位置。当然，预设蒸发喷嘴301可以根据实际情况来选择，本技术在此不做限制。
45.以下说明本技术的校正装置100的使用方法：
46.首先，将校正装置100与检测装置200进行连接，校正装置100通过激光源3发射激光照射至蒸镀源300的预设蒸发喷嘴301上，此时，可以调整检测件202与预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ，从而确定好了检测件202的位置，再固定住检测装置200。
47.然后，拆下校正装置100，再对蒸镀源300的各种参数进行调整，使检测件202能够稳定检测蒸镀速率。
48.接着，在预设使用时间后，将检测装置200拆卸下来进行检查，检查完毕后，将校正装置100与检测装置200进行连接，校正装置100通过激光源3发射激光照射至蒸镀源300的预设蒸发喷嘴301上，此时，可以再次调整检测件202与预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ，从而确定好了检测件202的位置，再固定住检测装置200。
49.在一些实施例中，检测件202可以为晶振片，在蒸镀过程中，可以通过晶振片震荡
频率转换成蒸镀速率，从而可以检测到蒸镀速率。此外，还能够通过晶振片震荡频率转换成膜层区域400的膜厚，从而可以检测到膜层区域400的膜厚。当然，检测件202可以为其他材料，本技术在此不做限制。
50.在一些实施例中，请参阅图8和图9，当检测件202能够稳定检测蒸镀速率时，检测件202通常是与蒸镀源300倾斜设置，检测件202与预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ指的是，检测件202与预设蒸发喷嘴301的连线和预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ。为了更准确的校正检测件202的位置，激光源3的出射方向，即激光的发射方向位于安装孔21垂直于盖板1的延伸方向上，与安装孔21位于同一直线上，从而使激光可以代替检测件202与预设蒸发喷嘴301的连线，便于更直观的校正检测件202的位置，确保检测件202与预设蒸发喷嘴301的连线和预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ。
51.在该实施例中，激光源3的形状可以为长圆柱形，当然也可以为其他形状，例如，矩形、圆台或圆锥等形状，本技术在此不做限制。此外，激光源3中可以采用红外激光源3，提高激光的可视度，并且，激光源3中采用锂电子型电池作为电源，无需通过电源线外接电源，避免电源线对校正检测件202位置产生干扰。
52.在该实施例中，为了提高检测件202检测蒸镀速率的稳定性，检测件202与预设蒸发喷嘴301的连线为检测件202的中心点与预设蒸发喷嘴301的中心点的连线，因此，安装孔21位于盖板1远离壳体201一面上的正投影位于检测孔203位于壳体201靠近盖板1一面上的正投影的中心，可以使激光源3与检测件202的中心点位于同一直线上，从而使激光可以代替检测件202的中心点与预设蒸发喷嘴301的中心点的连线，以提高校正检测件202位置的准确性。
53.在一些实施例中，请参阅图1至图3、图6和图7，校正装置还包括与盖板1连接的底座2，安装孔21位于底座2中，激光源3通过安装孔21与底座2连接。即安装孔21可以不设置在盖板1上，而是设置在底座2中，再将底座2连接盖板1，激光源3连接底座2，可以使盖板1不用直接连接激光源3，从而可以将盖板1的厚度制作的更薄，以节省成本。
54.在该实施例中，请参阅图3、图5和图7，底座2位于盖板1远离壳体201一面上的正投影和检测孔203位于壳体201靠近盖板1一面上的正投影重叠，即底座2与安装孔21位于同一直线上，并且底座2与安装孔21的正投影的尺寸可以相同，当安装孔21位于底座2的中心时，安装孔21也对应位于检测孔203的中心，从而使激光也对应检测孔203的中心，有利于激光对应检测件202的中心点，从而使激光可以代替检测件202的中心点与预设蒸发喷嘴301的中心点的连线，以提高校正检测件202位置的准确性。
55.在该实施例中，底座2和检测孔203的正投影可以均为圆形，则底座2位于盖板1远离壳体201一面上的正投影的直径r1和检测孔203位于壳体201靠近盖板1一面上的正投影的直径r2相同。当然，底座2和检测孔203的正投影也可以为其他形状，例如，矩形、三角形或五边形等形状，本技术在此不做限制。
56.在一些实施例中，请参阅图3、图5和图7，盖板1位于壳体201靠近盖板1一面上的正投影和壳体201位于盖板1靠近壳体201一面上的正投影重叠，即盖板1与壳体201的正投影的尺寸可以相同，盖板1可以恰好覆盖住壳体201且两者的边缘齐平，有利于使底座2与检测孔203的正投影重叠，以提高校正检测件202位置的准确性。
57.在该实施例中，盖板1和壳体201的正投影可以均为圆形，则盖板1位于壳体201靠
近盖板1一面上的正投影的直径r3和壳体201位于盖板1靠近壳体201一面上的正投影的直径r4相同。当然，盖板1和壳体201的正投影也可以为其他形状，例如，矩形、三角形或五边形等形状，本技术在此不做限制。
58.在一些实施例中，请参阅图1、图2、图4、图6和图7，盖板1上具有与壳体201上的至少一个第一螺纹孔204对应的至少一个第二螺纹孔11，可以采用螺丝4穿过第一螺纹孔204和第二螺纹孔11连接盖板1和壳体201，以便于盖板1和壳体201之间的连接和拆卸。
59.在该实施例中，第一螺纹孔204和第二螺纹孔11的数量为至少两个，由于至少两个第一螺纹孔204与至少两个第二螺纹孔11是相对应的，当采用与至少两个螺丝4分别穿过与至少两个第一螺纹孔204和与至少两个第二螺纹孔11时，盖板1与壳体201之间的连接位置是固定的，使得盖板1与壳体201之间的相对位置不变，因此，可以通过合理设置第一螺纹孔204和第二螺纹孔11的位置，使盖板1与壳体201连接时，底座2的正投影和检测孔203的正投影重叠，有利于提高校正检测件202位置的准确性。
60.在一些实施例中，安装孔21为第三螺纹孔，激光源3上具有与第三螺纹孔适配的外螺纹。通过外螺纹与第三螺纹孔配合，也就是将激光源3旋入安装孔21中即可将激光源3安装于盖板1或底座2上，便于激光源3与盖板1或底座2之间的连接和拆卸。
61.此外，激光源3和安装孔21位于盖板1远离壳体201一面上的正投影也可以重叠，以便于激光源3所射出的激光对应的检测件202的中心，有利于提高校正检测件202位置的准确性。
62.在该实施例中，请参阅图3，激光源3和安装孔21的正投影可以均为圆形，则激光源3位于盖板1远离壳体201一面上的正投影的直径r5和安装孔21位于盖板1远离壳体201一面上的正投影的直径r6相同。当然，激光源3和安装孔21的正投影也可以为其他形状，例如，矩形、三角形或五边形等形状，本技术在此不做限制。
63.在一些实施例中，底座2与盖板1一体成型，提高底座2与盖板1的整体强度，从而提高校正检测件202位置的稳定性。
64.在该实施例中，底座2与盖板1可以采用相同的材料制作，例如，不锈钢材、铁、铜或铝合金等材料，本技术在此不做限制。此外，盖板1的厚度可以为1.3mm-1.7mm，当然，盖板1的厚度可以根据实际情况设置为其他值，本技术在此不做限制。
65.在一些实施例中，请参阅图9，为了更准确的校正检测件202的位置，蒸镀源300还可以在预设蒸发喷嘴301上设置一个覆盖该预设蒸发喷嘴301的盖子303，盖子303的中心与预设蒸发喷嘴301的中心相对应，且盖子303的中心设置有靶心。在校正检测件202的位置时，将激光源3发射出的激光照射至靶心上即可完成校正。在检测件202完成校正后，可以将盖子303从预设蒸发喷嘴301上取下，避免影响蒸发镀膜。
66.在该实施例中，靶心的尺寸大于激光源3所射出的激光的光斑的尺寸，从而便于激光照射至靶心上，例如，靶心的直径可以为2mm，激光的光斑的直径为0.8mm，当然，靶心的直径和激光的光斑的直径都可以根据实际情况设置其他值，本技术在此不做限制。
67.此外，激光的射程距离大于激光源3与预设蒸发喷嘴301之间的距离，以确保激光能够照射至靶心上，例如，激光的射程距离可以大于100cm，当然，激光的射程距离可以根据实际情况设置其他值，本技术在此不做限制。
68.在该实施例中，盖子303的形状可以为圆柱形，以便于将盖子303覆盖在预设蒸发
喷嘴301上，当然，盖子303的形状也可以为其他形状，例如，矩形或圆台等形状，本技术在此不做限制。
69.请参阅图9，基于上述校正装置100，本技术实施例中还提供一种蒸镀装置，包括：检测装置200、蒸镀源300及如上所述的校正装置100，检测装置200包括壳体201及位于壳体201中的检测件202，壳体201上具有暴露检测件202的检测孔203，检测件202用于检测蒸镀源300的蒸镀速率，校正装置100与检测装置200连接，用于发射激光照射至蒸镀源300的预设蒸发喷嘴301上。
70.需要说明的是，当检测装置200多次安装时，由于安装孔21位于检测装置200的检测孔203垂直于盖板1的延伸方向上，即安装孔21和检测孔203位于同一直线上，则激光源3也位于检测孔203垂直于盖板1的延伸方向上，与检测件202位于同一直线上，因此，校正装置100通过激光源3发射激光照射至蒸镀源300的预设蒸发喷嘴301上，以调整检测件202与预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ，即可校正检测件202的位置，使检测装置200多次安装时，检测件202都能固定于同一位置，使检测件202与预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ，防止检测件202的位置出现偏差，无需对蒸镀源300的各种参数进行大幅度调整，从而避免检测件202检测到的蒸镀速率出现偏差，进而提高了蒸镀速率的检测准确性及蒸镀稳定性。
71.请参阅图10，基于上述校正装置100，本技术实施例中还提供一种校正方法，包括：
72.步骤s1、将检测装置200活动安装于蒸镀源中；
73.步骤s2、将如上所述的校正装置100与检测装置200连接；
74.步骤s3、打开激光源3并调整检测装置200的位置，使激光源3发射的激光照射至蒸镀源300的预设蒸发喷嘴301上，再固定住检测装置200。
75.需要说明的是，蒸镀源300可以包括腔体和位于腔体中的蒸发坩埚，蒸发喷嘴302设置在蒸发坩埚上，检测装置200可以安装于蒸镀源300的腔体上。当检测装置200多次安装时，由于安装孔21位于检测装置200的检测孔203垂直于盖板1的延伸方向上，即安装孔21和检测孔203位于同一直线上，则激光源3也位于检测孔203垂直于盖板1的延伸方向上，与检测件202位于同一直线上，因此，校正装置100通过激光源3发射激光照射至蒸镀源300的预设蒸发喷嘴301上，以调整检测件202与预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ，即可校正检测件202的位置，使检测装置200多次安装时，检测件202都能固定于同一位置，使检测件202与预设蒸发喷嘴301所在平面之间呈预设角度θ，防止检测件202的位置出现偏差，无需对蒸镀源300的各种参数进行大幅度调整，从而避免检测件202检测到的蒸镀速率出现偏差，进而提高了蒸镀速率的检测准确性及蒸镀稳定性。
76.在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见上文针对其他实施例的详细描述，此处不再赘述。
77.具体实施时，以上各个组件或结构可以作为独立的实体来实现，也可以进行任意组合，作为同一或若干个实体来实现，以上各个组件或结构的具体实施可参见前面的实施例，在此不再赘述。
78.以上对本发明实施例所提供的一种校正装置、蒸镀装置及校正方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的
思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
技术特征：
1.一种校正装置，用于连接检测装置，所述检测装置包括壳体及位于所述壳体中的检测件，所述壳体上具有暴露所述检测件的检测孔，所述检测件用于检测蒸镀源的蒸镀速率，所述蒸镀源包括蒸发喷嘴，其特征在于，所述校正装置包括：盖板及激光源；所述盖板与所述壳体连接，所述盖板上具有安装孔，所述安装孔位于所述检测孔垂直于所述盖板的延伸方向上；所述激光源通过所述安装孔与所述盖板连接，用于发射激光照射至所述蒸镀源的预设蒸发喷嘴上。2.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述激光源的出射方向位于所述安装孔垂直于所述盖板的所述延伸方向上。3.如权利要求2所述的校正装置，其特征在于，所述安装孔位于所述盖板远离所述壳体一面上的正投影位于所述检测孔位于所述壳体靠近所述盖板一面上的正投影的中心。4.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，还包括与所述盖板连接的底座，所述安装孔位于所述底座中，所述激光源通过所述安装孔与所述底座连接。5.如权利要求4所述的校正装置，其特征在于，所述底座位于所述盖板远离所述壳体一面上的正投影和所述检测孔位于所述壳体靠近所述盖板一面上的正投影重叠。6.如权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述盖板位于所述壳体靠近所述盖板一面上的正投影和所述壳体位于所述盖板靠近所述壳体一面上的正投影重叠。7.如权利要求1至6中任一项所述的校正装置，其特征在于，所述盖板上具有与所述壳体上的至少一个第一螺纹孔对应的至少一个第二螺纹孔。8.如权利要求1至6中任一项所述的校正装置，其特征在于，所述安装孔为第三螺纹孔，所述激光源上具有与所述第三螺纹孔适配的外螺纹。9.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：检测装置、蒸镀源及如权利要求1至8中任一项所述的校正装置；所述检测装置包括壳体及位于所述壳体中的检测件，所述壳体上具有暴露所述检测件的检测孔，所述检测件用于检测蒸镀源的蒸镀速率；所述校正装置与所述检测装置连接，用于发射激光照射至所述蒸镀源的预设蒸发喷嘴上。10.一种校正方法，其特征在于，包括：将检测装置活动安装于蒸镀源中；将如权利要求1至8中任一项所述的校正装置与所述检测装置连接；打开所述激光源并调整所述检测装置的位置，使所述激光源发射的激光照射至蒸镀源的预设蒸发喷嘴上，再固定住所述检测装置。
技术总结
本申请公开了一种校正装置、蒸镀装置及校正方法。该校正装置包括盖板、底座及激光源，盖板与检测装置的壳体连接，盖板上具有安装孔，安装孔位于检测装置的检测孔垂直于盖板的延伸方向上，激光源通过安装孔与盖板连接。当检测装置多次安装时，由于安装孔位于检测装置的检测孔垂直于盖板的延伸方向上，则激光源也位于检测孔垂直于盖板的延伸方向上，因此，校正装置通过激光源发射激光照射至蒸镀源的预设蒸发喷嘴上，即可校正检测件的位置，使检测装置多次安装时，检测件都能固定于同一位置，无需对蒸镀源的各种参数进行大幅度调整，从而避免检测件检测到的蒸镀速率出现偏差，进而提高了蒸镀速率的检测准确性及蒸镀稳定性。了蒸镀速率的检测准确性及蒸镀稳定性。了蒸镀速率的检测准确性及蒸镀稳定性。
