痛苦的句子-心理品质2023年5月24日发(作者：家风手抄报)氮化镓MOCVD感应加热装置的优化设计 徐龙权;刘新卫;唐子涵;方颂 【期刊名称】《机械科学与技术》 【年(卷),期】2017(036)012 【摘 要】为了设计一款成本低、效率高的中频感应加热器样机,利用ANSYS软件对感应加热立式氮化镓MOCVD反应室建立2D模型.首先分别通过改变加热线圈与石墨基座下表面距离及线圈之间的间距,研究分