一种大型化学气相沉积电阻炉用C/C发热体的制造方法[发明专利]
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201610621416.4(22)申请日 2016.07.29(71)申请人 烟台鲁航炭材料科技有限公司地址 264000 山东省烟台市开发区牡丹江路1号(72)发明人 刘玉清 闫跟成 栾吉刚 张宜杰 (74)专利代理机构 烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙) 37234代理人 刘志
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