2023年12月13日发(作者：盛的拼音)-（19）中华人民共和国国家知识产权局 （12）发明专利申请 （21）申请号 CN2.1 （22）申请日 2016.12.27 （71）申请人 中国科学院微电子研究所 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 （10）申请公布号 CN106601740A （43）申请公布日 2017.04.26 （72）发明人 常虎东;刘洪刚;夏庆贞;孙兵;