2024年3月29日发(作者：月虹)激光刻蚀的原理及应用 一、激光刻蚀的原理 激光刻蚀是一种常用的微纳加工技术，利用激光的高能量密度和高光纯度，通过短时间内的局部加热和蒸发来刻蚀材料表面。其原理可总结为以下几点： 1. 能量浓缩：激光束能量经过透镜或其他光学装置的聚焦，使得能量在一定焦点处集中，达到高能量密度。 2. 光与物质相互作用：激光束照射到材料表面时，光被材料吸收，能量被传递到材料中。 3

2023年12月13日发(作者：采矿专业)-专利内容由知识产权出版社提供专利名称：一种InGaAs/InP体系的单行载流子的光电探测器制备方法专利类型：发明专利发明人：陈子超,陈钊鉴,金运姜申请号：CN2.0申请日：20220117公开号：CN114400273A公开日：20220426摘要：本发明公开了一种InGaAs/InP体系的单行载流子的光电探测器制备方法，包括以下步骤：使用HSQ光刻胶在