2024年3月1日发(作者：禁的多音字组词)N2及H2氣氛熱處理對氧化鋅摻雜氟化鎂薄膜光電特性之研究李孟賢,林天財,劉定杰,劉時郡,張慎周崑山科技大學電機工程學系摘要利用射頻磁控濺鍍技術成長氧化鋅(Zincoxide,ZnO)摻雜氟化鎂(Magnesiumfluorine,MgF2)，形成ZnO:MgF2在載玻片上，經由氮氣及氫氣氣氛退火，探討薄膜光電特性的影響。由結果知在不同氣體退火溫度下，薄膜