2023年12月13日发(作者：采矿专业)-专利内容由知识产权出版社提供专利名称：一种InGaAs/InP体系的单行载流子的光电探测器制备方法专利类型：发明专利发明人：陈子超,陈钊鉴,金运姜申请号：CN2.0申请日：20220117公开号：CN114400273A公开日：20220426摘要：本发明公开了一种InGaAs/InP体系的单行载流子的光电探测器制备方法，包括以下步骤：使用HSQ光刻胶在