超纯水仪URS技术参数1. 进水与产水的水质要求1.1 ★进水水质要求： 市政自来水1.2 ★产纯水水质要求：1.2.1电阻率10-15 MΩ·cm＠25 ℃（带温度补偿）1.2.2总有机碳含量(TOC) ＜30 ppb；1.2.3微生物＜10 cfu/ml 1.2.4制水流速不低于5 L/h，可24小时不间断制水1.3 ★产超纯水水质要求：1.3.1电阻率：18.2 MΩ·cm＠25℃1.3.2