基于MUMPS的MEMS集成设计方法研究

2023年12月3日发(作者：菠菜汤)

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基于MUMPS的MEMS集成设计方法研究

范真;徐炎冰;丁建宁

【期刊名称】《制造技术与机床》

【年(卷),期】2006(000)004

【摘 要】基于MUMPS(Multi-Ur MEMS Process:多用户三层多晶硅表面微加工工艺流程)表面微加工工艺,根据其工艺特征,建立工艺层库.利用Pro/PROGRAM,编写自动装配工艺层模型程序,通过自主开发的软件,将工艺层模型直接导入到MEMS版图器中,从而实现三维模型到二维版图的自动转换.

【总页数】3页(P49-51)

【作 者】范真;徐炎冰;丁建宁

【作者单位】江苏大学机械工程学院微纳米中心,江苏,镇江,212013;江苏大学机械工程学院微纳米中心,江苏,镇江,212013;江苏大学机械工程学院微纳米中心,江苏,镇江,212013

【正文语种】中 文

【中图分类】TG5

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