基于介质超表面结构的窄带滤光片及其制作方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN2.5

（22）申请日 2018.07.26

（71）申请人 华中科技大学

地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

（10）申请公布号

CN109031493A

（43）申请公布日 2018.12.18

（72）发明人 夏金松;袁帅;曾成

（74）专利代理机构 华中科技大学专利中心

代理人 李智

（51）

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

基于介质超表面结构的窄带滤光片及其制作方法

（57）摘要

本发明公开了一种基于介质超表面的窄带

滤光片，包括衬底、多层介质薄膜和在薄膜上制

备的介质超表面。介质超表面为亚波长周期性结

构，垂直入射的光束能够激发介质超表面内部光

场的集群性相干振荡，并与入射光相互作用改变

光的透射和反射特性。通过对于介质超表面结构

单元和排布的设计，能够减小谐振的带宽，从而

实现窄带滤波的特性。本发明还提供了制作方

法，包括：在衬底上生长多层介质薄膜材料后，