窄带滤光片的制备方法和镀膜机

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(21)申请号 CN2.2

(22)申请日 2021.11.04

(71)申请人 中山市博顿光电科技有限公司;中山市北京理工大学研究院

地址 528437 广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室

(72)发明人 易洪波 冀鸣 邵立伟 庄晓科 黄毅 黄德皇

(74)专利代理机构

代理人

(51)

C23C14/54(20060101)

C23C14/10(20060101)

C23C14/08(20060101)

C23C14/26(20060101)

C23C14/32(20060101)

C23C14/22(20060101)

(10)申请公布号 CN 113862630 A

(43)申请公布日 2021.12.31

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

窄带滤光片的制备方法和镀膜机

(57)摘要

本公开提供了一种窄带滤光片的制

备方法和镀膜机。窄带滤光片的制备方法

包括：包括：模拟该窄带滤光片的第一光

学曲线；镀制所述窄带滤光片后，检测所

述窄带滤光片的第二光学曲线；检测所述

第一光学曲线和所述第二光学曲线是否一

致，如果不一致，则调整所述第一光学曲

线至所述第一光学曲线的特征点与所述第

二光学曲线一致时，确定工艺影响因子；

根据该工艺影响因子调整所述镀制参数以

重新镀制所述窄带滤光片。上述的窄带滤

光片的制备方法和镀膜机调整第一光学曲

线直至第一光学曲线和第二光学曲线一致

来确定镀膜机的工艺影响因子，从而可以

根据该工艺影响因子修正窄带滤光片的镀

制参数的作用。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权 利 要 求 说 明 书

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