DWDM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪

DWDM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪

孙大雄;李正中

【期刊名称】《光学仪器》

【年(卷),期】1999(021)004

【摘 要】随着信息技术的发展对高密度波分复用（ＤＷＤＭ）滤光片的需要越来

越大。而高精度性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备ＤＷＤＭ滤光片的关键，文中

论述了所建立的制备用１００ＧＨｚ～５０ＧＨｚ ＤＷＤＭ滤光片的高精度高性

能的光学膜膜厚监控系统。该系统的波长分辨力的０．１ｎｍ，重复性精度为±

０．０５ｎｍ，信噪比与温度漂移特性分别±０．０１％和０．０５％／ｈ。还论

述了该系统的实际实验结果。

【总页数】7页(P130-136)

【作 者】孙大雄;李正中

【作者单位】新科隆株式会社;台湾中央大学光电科学研究所

【正文语种】中 文

【中图分类】O484.5

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