窄带滤光片及其镀膜方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN2.3

（22）申请日 2017.06.07

（71）申请人 上海兆九光电技术有限公司

地址 201613 上海市松江区中山街道施惠路11弄5号101室

（10）申请公布号

CN107193071A

（43）申请公布日 2017.09.22

（72）发明人 罗新华

（74）专利代理机构 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 邓文武

（51）

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

窄带滤光片及其镀膜方法

（57）摘要

本发明公开了一种窄带滤光片镀膜工艺，

其包括如下步骤：在空白玻璃基底的一侧表面镀

制主膜膜堆，使所述主膜膜堆与空白玻璃基底构

成等效基底，所述等效基底在中心波长处的等效

折射率与所述空白玻璃基底折射率相等；在所述

等效基底的一侧表面镀制第一副膜膜堆、在另一

侧表面镀制第二副膜膜堆。本发明能够避免副膜

膜层厚度相对主膜膜层的厚度过厚，使得基底两

侧的应力基本平衡，减少基片变形，保证成像的