氮化镓MOCVD感应加热装置的优化设计

氮化镓MOCVD感应加热装置的优化设计

徐龙权;刘新卫;唐子涵;方颂

【期刊名称】《机械科学与技术》

【年(卷),期】2017(036)012

【摘 要】为了设计一款成本低、效率高的中频感应加热器样机,利用ANSYS软件

对感应加热立式氮化镓MOCVD反应室建立2D模型.首先分别通过改变加热线圈

与石墨基座下表面距离及线圈之间的间距,研究分析其改变对石墨盘表面温度均匀

性分布的影响,热-电耦合分析结果表明减小线圈和石墨之间的垂直距离及线圈之间

的距离可以提高加热效率,并根据仿真结果对感应加热器的结构进行优化设计,确定

加热效果较好的加热器结构.结合仿真与分析结果,制作出一台感应加热器样机.实验

验证可知,石墨盘表面温度浮动在0.2％,温度分布均匀性较好,符合工艺的要求,满足

生产条件.

【总页数】5页(P1921-1925)

【作 者】徐龙权;刘新卫;唐子涵;方颂

【作者单位】南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心,南昌330047;南昌大学信

息工程学院,南昌330031;南昌大学信息工程学院,南昌330031;南昌大学信息工程

学院,南昌330031;南昌大学信息工程学院,南昌330031

【正文语种】中 文

【中图分类】TN305

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