第35卷㊀第10期怎样增强文化自信2020年10月㊀㊀㊀㊀㊀㊀㊀液晶与显示㊀㊀㊀C h i n e s e J o u r n a l o fL i q u i dC r y s t a l s a n dD i s p l a ys ㊀㊀㊀㊀㊀V o l .35㊀N o .10㊀O c t .2020㊀㊀收稿日期:2020G03G20;修订日期:2020G05G14.㊀㊀∗通信联系人,E Gm
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丹麦语【光刻百科】前道工艺(Frontendofline,FEOL)集成电路是依靠所谓的平面工艺一层一层制备起来的。对于逻辑器件,简单地说,首先是在 Si衬底上划分制备晶体管的区域(activearea),然后是离子注入实现N型和P型区域,其次是做栅极,随后又是离子注入,完成每一个晶体管的源极(source)和漏极(drain)。这部分工艺流程是为了在 Si 衬底上实现N型和P型场效应晶体管,又被
天平座还是天秤座【光刻百科】前道工艺(Frontendofline,FEOL)魔法诱惑>杜阮凉瓜集成电路是依靠所谓的平面工艺一层一层制备起来的。对于逻辑器件,简单地说,首先是在 Si衬底上划分制备晶体管的区域(activearea),然后是离子注入实现N型和P型区域,其次是做栅极,随后又是离子注入,完成每一个晶体管的源极(source)和漏极(drain)。这部分工艺流程是为了在 Si 衬底上实现