Fab厂常用术语Fab厂常用术语some phras and words in FAB cleanroom systemA.M.U 原子质量数ADI After develop inspection显影后检视! n( \+ q8 _% g' zAEI 蚀科后检查% Y4 _+ @7 ^% v9 U, gAlignment 排成一直线,对平7 B: R) M; B R# i5 dAlloy 融合
常见的化学清洗常见的化学清洗英国斗牛压力球硫酸。一种常见的清洗溶液是热硫酸添加氧化剂。它也是一种通常的光刻胶去除剂(见第8章)。在90~125 OC的范围中,硫酸是一种非常有效的清洗剂。在这样的温度下,它可以去除晶片表面大多数无机残余物和颗粒。添加到硫酸中的氧化剂用来去除含碳的残余物,化学反应将碳转化成二氧化碳,后者以气体的形式离开反应池:C + O2 à CO2 (气体)一般使用的氧化剂有:过氧