真空计原理与测量范围
真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，是一种物理现象。在真空技术里，真空系针对大气而言，一般指特定空间内部之部份物质被排出，使其压力小于一个标准大气压，则我们通称此空间为真空或真空状态。真空常用帕斯卡（Pascal）托尔（Torr）毫巴（mbar）等做为压力的单位。
真空的分类：
前级真空：1*10-3Torr~1000Torr
高真空：1*10-9Torr~10-3Torr
超高真空：10-9Torr以下
真空计（Vacuum Gauge），也称真空表、真空规管，是测量真空度或低气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，
分别是利用力学性能、利用气体动力学效应利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和电容薄膜规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规、热传导规；
利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。市场上真空计的形式：
真空规管+真空测量计（真空计控制器）：需配套使用。
真空变送器（真空计）：本体集成电路部分，可输出各类型号。
两种形式客户可根据实际应用进行选择，真空规和控制器的形式，主要应用在一些恶劣的现场环境或者早期的集成设备，由规管、线缆、控制器三部分组成，前期成本略高，典型优点是后期维护更换真空规便宜；随着工业自动化的发展，真空变送器（真空计）已经成为真空测量的主要产品，可根据现场能处理的信号（数字/模拟）选择相应通讯的产品。
真空计测量范围：
电容薄膜真空计
如上图，压力变化引起膜片不同层度的形变，使得膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道膜片上压力的变化。（膜片主要有两种材质：金属膜片和陶瓷膜片）
电容薄膜压力计，测量读数无关气体组分，主要受环境温度的影响（温度补偿），是测量差分或全部
气体压力最准确的设备（包括蒸汽凝结、操作温度不规则的环境），目前已知产品最大测量压力为25000Torr，最低测量压力在10-5Torr左右。大部分精度为读数的0.25%，其中高精度有0.08%—0.025%。测量范围跨度一般有4个数量级或5个数量级。
应用：
1.半导体行业蚀刻，CVD,PVD,ALD等
2.光伏行业，PECVD等
3.液晶显示屏制造设备
4.工业真空设备，标准真空计
5.国防科研应用
热偶真空规
如上图，灯丝通过恒流源供电加热，由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化，灯丝温度引起热电偶电压（恒压）变化，根据电压变化测算出气压。
（热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系）测量的压力范围：10Torr至10-3Torr
应用：
1.前级真空测量，如前级真空泵，镀膜，光伏，等离子行业
2.中低真空测量行业，如冶金
3.高真空计的连锁控制
皮拉尼真空计（Pirani Vacuum Gauge）
