G/C概论
一、 意义：出国留学网指气瓶柜
二、 功能：flush
1． 放置一般高压气体和特殊气体钢瓶的密封式箱体，本身附有抽气装置（Exhaust）维持箱体内部为负压状态,箱体内配有阀组盘（panel）以调节气源及分气，盘面本身是由多种阀件所串接而成。
2． 一般气瓶柜都以PLC为控制主体，触控式荧幕之人机接口，搭配不同的盘面设计，以满足半导体产业之需求，并有以下之特点：
(1.)操作简单：以触控式荧幕之人机界面，舍复杂之传统式按钮开关，减少盘面之空间，增加控制多元化，十分方便简单。
(2.)系统稳定：以PLC为控制主体，动作确实，故障低，稳定性高。
(3.)安全性良好：G/C安全措施区分硬体和软体。在硬体上有各式感测组件；软体方面接受
各感测组件之信号，输入至CPU中，PLC可对讯号作处理比较，并且依照设定点，停止系统供应或输出警报讯息yacon。
三、 安全措施
1.抽气装置 确保箱体为负压状态，通常会配置侦
测器（Detector）侦测气体是否外泄
2.火焰侦测器（UV/IR） 侦测因气体泄漏产生燃烧；
3.烟雾侦测器（smoke nsor）侦测是否有烟雾产生；
4.撒水装置（sprinkler）气柜内部因不当原因上升至
一定温度即作动。
5.Z purge controller box desiree持续以GN2贯入保持正
压，为初级防爆措施。undertaker
6.过流量感应器（Excess flow nsor）气体管路因不
当原因产生瞬间流量过大即作动。
on the way什么意思
四、 管路：
1. process管路：提供制程用气体，由钢瓶至ESVems是什么意思（Emergency Shut off valve）至AV（air valve）至PT1（pressure transducer）至EFS(Excess flow nsor)至AV(air valve)bl是什么意思的缩写至PRV(pressure reducing valve)至PT2(pressure transducer)至AV(air valve)至Filter至V(manual valve)至机台(tool)
2.purge管路：更换钢瓶，保养，维修时清除残余气体的动作，可分为三缸式气瓶柜,本身具备N2钢瓶及二钢式气瓶柜，外接N2 source.
3.vent管路：提供气瓶柜在做purge时，排放残余气体所需的管路，经由VG产生真空效果
防火小知识将气体带出
qq名英文Hp test管路：提供高压测漏时所需的管路。
五大PURGE：
prepurge：为更换钢瓶前将管路残余气体清除干净之动作
post purge：为更换钢瓶后再将管路作吹净的动作
process purge ：特殊气体供应前以特殊气体本身对管路作purge
的动作，提高管内特气的纯度
panel purge ：对整个盘面施以purge的动作，通常为管路作保
养或维修时使用
line purge ：purge范围包括整个盘面以及process管路（气瓶柜
至VMB或机台端）
阀件: 见附表
