LDI曝光机分辨率对制作细线路的影响

更新时间:2023-06-14 21:05:19 阅读: 评论:0

印制电路信息  2020 No.11
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LDI曝光机分辨率对制作细线路的影响你一直在我心里英文
陈华丽    谢丹伟    林  辉
(汕头超声印制板公司,广东  汕头   515065)
摘  要      细线路的制作是一个系统工程。本文讨论的是LDI曝光机解析度对细线路制作的影响:
从LDI图形成像原理看,曝光机的解析度越小越利于细线路制作;从实验结果看,曝光机解析度越小,蚀刻后无论是线宽还是线距,差距会越小。对于线宽/线距为40 μm/40μm线路而言,LDI曝光机解析度相差1 μm时(解析度分别为2 μm与1 μm),蚀刻后相邻线距差4 μm有10%的差别,而相邻线距差3 μm的有6.52%的差别。关键词      细线路制作;激光直接成像曝光机;解析度;掩膜工艺
reddevil
中图分类号:TN41      文献标识码:A      文章编号:1009-0096(2020)11-0014-03
The study on LDI resolution for fine line manufacturing
Chen Huali    Xie Danwei    Lin Hui
rizAbstract      Tenting fine line manufacturing needs to think about many factors. And LDI resolution is one of the impact factors. This article will discuss that topic. From the principle of LDI imaging, the higaterpillar
efengher resolution the machine has, the better result the factory can get for the fine line. From the test result, when the resolution of LDI machine has 1μm difference, the distance exceeding 3μm between neighboring two lines has 18.37% difference. That means that the yield of 40μm fine line manufacturing will reduce 18.37% when the factory takes a LDI machine that has 2μm resolution.Key words    Fine Line; LDI(Lar Direct Imaging); Resolution; Tenting Process
0  前言
jet lag
LDI (Lar Director Imaging )是利用激光直接将印制电路板(PCB )的图像扫描到感光干膜上。由于不需要照相底片,避免了使用底片涨缩引起的尺寸偏差,曝光时光线不平行带来的偏差,同时还能提供高度灵活性和高精确性,包括可满足用于批量生产任何成像、复杂图像、高产出、自动控制和可溯性,现在已逐步成为主流技术,大量应用于HDI 板、IC 载板等。
面对来自HDI 的挑战,如要求线路越来越细,孔环越来越小,LDI 有着独到的优势,可以高精度、高产出、在大块拼板上实现精细成像和孔环
对位。但面对细线路制作,我们需要哪些等级的LDI 曝光机?在此,通过试验对曝光机对细线路制作的影响做深入探讨。
1  LDI 成像原理
CAM 设计的资料是矢量格式的,即图形文件描述了每一个图形位置、宽度等属性的文件,这样的格式不能用到LDI 或是光绘机,而LDI 作为数字扫描成像设备,必须使用标量格式的图形文件,就是将图形分成以pixel 为单位的图形(就是曝光机的最小解析度),每一个pixel
ebu
capital citylantern festival只有0或1属性的文件。不同的线宽和线距在转换过程中,就有可能在两种格式存在不完全相等的可能性。authorizedsignature
图形形成 Graphic formation

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