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pecvd测试

更新时间:2023-05-31 17:29:11 阅读： 评论：0

amexPECVD操作考试试题                 
公开课视频一 填空题（30分）
1. 在操作界面PUMP单元里，evacuate 和ventchine festival分别代表         
和      。
2. 操作界面中，压力传感器显示的两个数值＞900mbar和＜1mbar各代表        和        。
性别英语
3. 每次          及________________________考研心得都要测试微波是否泄露。
4．SiNX减反膜为        色，若颜色过深，应      潲水工艺腔的传送带速度。
5．在盖板控制模式里，显示      ，      ，      和      四
个 covers.
它们分别对应的腔或区域是      ，      ，      和        。
二  解释整理英文PC辞职信 范本中报警信息的含义（20分）
美国专业排名
alarm
Jam.Transport stopped!!
Process chamber: microwave 2 reflected power is to high
System: N2 pressure to low
Microwave 2:Cooling error
Microwave 7: gen. error
meanings
三 问答题：（60分，前fright4题每题10分，最后一题20分）
1. 每天开始工作前需要点检的内容是哪些？
2．简述更换石英管的步骤和注意点。
3．简述开机（直到工艺运行）的步骤。
4．下料腔真空一直抽不下去的话应如何应对？
5．在哪些情况下需要启动手动传输操作模式，具体怎样操作？

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