高纯水标准
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1 主题内容与通用范围
本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水(以下称高纯水)的级别、技术要求、测试方法和规则。
本标准适用于去离子处理后的高纯水。
enthusiastic
2 引用标准
GB11446电子级水及其检测方法
3术语
3．1 电导率electrical conductivityctricalconduc2ivity
在规定温度下，1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以μS/cm为单位。
水的理论电导率为0.0548μs/cm(25℃时)。
3．2电阻率 resistivity
hjg
电导率之倒数。纯水的理论电阻率为18.3MΩ.cm(25℃时)。温度升高时电阻率下降。
3．3颗粒性物质granular sulbstance
除气体以外，以非液态形式分散在水中，并形成非均匀相混合物的物质。
3．4总有机碳(TOC)total organic carbon
水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被—般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊化的有机物。
3．5总固体 total solid
水样蒸发、烘干后残留的固总量。
3. 6全硅 total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。全硅和可溶性硅之差即叫为胶体硅。
sponge
3．7高纯水high-pure water, ultrapure water
电阻率在5MΩ•cm以上，各种形式存在的物质含量有一定规定限制的很纯净水
amu
3．8原水raw watcr
alley纯化处理之前的水。常用的原水将自来水、井水、河水等。
3．9终端 terminal。
高纯水生产流程中经过各道冲化工艺后，水的出口使用地点。可分别称为制水终端和用水
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3．10微量micro-amount
试样量在1mg左右。
3．11 痕量 trace amount
试样量在1μg左右。
3．12百万分之一(ppm) part per million
重量比的量，相当于每百万重量的溶液中含一单位重量的溶质。在水质分析中，一殷也认为相当每升
水样含杂质的毫克数(mg／L)。
3．13十亿分之一(ppb)part per billion
重量比的单位，相当于每十亿重量单位重量的溶液中含一单位重量的溶质，在水质分折中，一般认为相当于短升水样含杂质的微克数(μg／L)。
4高纯水的级别
4．1高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水，分别用符号EH和pH标志。
4. 2电子级高纯水
4．2．1在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点：
a．具有精细图形结构；
b．对器件表面有特殊要求；
c．工艺对水质有特定的严格要求。
4．2．2电子级高纯水分为两个级别：特级和I级。它们的标志分别是：
特级电子级高纯水：EH—T
一级电子级高纯水：EH—1
4．3普通高纯水
4．3．1普通高纯水用于一般电力半导体器件的制造工艺中。
4．3．2普双高纯水分为三个级别：Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级。它们的标志分别是：
I级普通高纯水：pH—Ⅰ
x级普通高纯水：PH—Ⅱ
m级普通高纯水：pH—Ⅲ
4. 4电阻率低于5MΩ•cm的水不能称为高纯水。
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5技术要求
5．1电子级高纯水
5．1．1电子级高纯水应考核四项内容：
a. 水中自由离子浓度(主要影响电阻率)；
b．水中悬浮微粒的数量和大小；
C. 水中有机物总量；
水中细菌微生物状况。
5. 1. 2电子级高纯水的各项技术指标由表1给出。
表l
指 标 级 别
EH— T EH-I
电阻率，MΩ•cm(25℃) 18 (90％时间）
美国国旗的含义最小17 16~18 (90％时间）
最小15
大于1μm微粒数.个／mL ＜1 1
大于0．5um微被数
(最大值)，个／mL 100 150
细菌个数，个／mL ＜1 1
总有机碳含量(最大值)，μg／L 50 100
全硅(最大值)，μg／L 2 10
氯含量(最大值)，μg／L 0.5 2
少儿英语水果单词钾含量(最大值)，μg／L 0.2 1
钠含量(显大值)μg／L 0.2 1
钙含量(最大值)，μg／L 0.5 1
铝含量(最大值)，μg／L 0.5 1
铜含量(最大值)，μg／L 0.1 1
总可溶性固体含量(最大值)，μg／L 3 10
5．2普通高纯水
5．2．1普通高纯水主要考核其电阻率。
5．2．2普通高纯水的技术指标由表2给出。
表2
指 标 级 标framed
PH-Ⅰ PH-Ⅱ PH-Ⅲ
电阻率(25℃)，MΩ，cm 12-15 8~<12 5~<8
大于lμm的微粒数，个／mL <50
总有机碳含量，μg／L <500
6测试方法和检验规则
6．1电阻率测试方法
6．1．1用电导率仪测量高纯水电阻率时：
a．电导池常数选川0.1—0.01cm-1；
b．被测高纯水应处于密封流动状态，避免任何气体混入，流速不低于0．3m/s。
6．1．2在t℃时测得的电阻率值ρt，用下式换算成25℃的电阻率ρ25
泛读ρ25=1/{αt(1/ρt-Gt)+0.05482}
式中：ρ25——２５℃时的电阻率ＭΩ.ＣＭ
ρt——t℃时的电阻率ＭΩ.ＣＭ
Gt——t℃时理论纯水的电导率μＳ／ＣＭ，其值见附录Ａ；
