FIB操作

更新时间:2023-05-23 11:22:13 阅读: 评论:0

1. vent 状态下装样陆小曼的画
广西玉林必去景点大全
2. pump
世界十大河流排名3. 按住鼠标,在样品室处按住鼠标,一直拖到10mm处
中国歌4. 点上30KV,32nA太高了,选择0.5nA
喉咙痛可以吃什么5. Beam把analysis改为standard,在beam control处点击beam on
6. 点pau,F9 Auto C/B, F5 Resize (移动样品两种方法:1,双击,双击处就到中间了;2,拖动鼠标)
7. 聚焦:先粗调,然后面板上的reduced area可以小面积聚焦。一点小常识: Dwell time, 时间越长,扫得越慢,图片效果约好。 Rotation 可以去Navigation 中调节R,Stage XT align Feature 中也可调。 Align Feature 中 Horizon 画得线平行, Vertice画得线垂直。另外画线也有讲究, 从左向右和从右向左不一样,最后都是顺时针转动,都是箭头风向水平向右,图示从左向
8. 调Eucentic height near 10mm (1) 找crack 或者edge, (2)tilt: 5μm, 15, 30, 45, 52 移动样品室Z position 到十字架位置(此时,如果还离得很近就调,有可能一下子过去了,可以调远点,再慢慢往近了调),可以调focus (3)tilt再调到0 (4)Processing 中liner measurement  Tilt correction surface 测量十字架和一之间的距离,小于10可以接受。此时pattern选上W-Z。
9. Beam shift 点pau, Beam ship处用右键点zero, 30KV, 1.5pA 照相,这个电流值很小(如果机器是开始的状态,显示绿色可以用beam on, Column 白色要wake up)点击beam on 。用面板上的beam shift
10. 点击 扫描窗口, 找到特征点,然后再去 ion window
英文新年快乐
11. snapshot 快速update,有特点此时可以聚焦
12. In Gas Type, cold, you have to 点heater
13. 工具栏上start patterning 1分钟后停下来
14. ret patterning
上嘴唇发白15. 此间如果看样品去扫描窗口看
16. 电流30, 0.5 nA, 此时特别暗,点F5小窗聚焦
17. Pattern 中选择cross-ction
18. application中Si对应黄色, Advanced还可以调方向
19. 选中框后,点pau, 可以看见里面弄。点pau patterning, 可以去扫描窗口,可以focus
20. Save image中reduced dewell time(10μm), pau到still image. 然后file,save as D-data-Yun Yang
>透视功能

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