2.LTO是英文Low Temperrature Oxide的缩写，意思为低温的氧化膜。主要成分是SiO2
2、LTO制程的目的八棱海棠
（1）阻止焊料流至玻璃上，导致电性不良。
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（2）由于LTO本身是一层绝缘层覆盖在玻璃，增加玻璃
的绝缘效果。
（3）避免玻璃上镀上镍和金75年属
2、LTO制程原理：
SiH4+O2SiO2+2H2
2、LTO制程的影响因素:
A.温度：温度偏低，沉积速度偏低，膜厚不足
温度偏高，将影响到玻璃及其它特性
six怎么读B.时间：时间偏短，膜厚不足
袜子评语时间过长，浪废
红烧罗非鱼的做法C.炉前和炉后气体流量：
炉前或炉后的气体流量过大，膜厚不均匀。
2、LTO制程
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低温淀积二氧化硅工艺在硅烷SiH4和氧的反应过程中，反应温度取250～500℃之间，能淀积生长二氧化硅膜。此法简单，较早得到实用，是一种金属化层上的钝化膜。
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