Vertical furnace

更新时间:2023-05-22 00:46:33 阅读: 评论:0

专利名称:Vertical furnace
发明人:Huusn,Frank,Berenpas, Gerard,Hasper,
描写眉毛的句子Albert,De Ridder, Chris G.M.
让我拥有你申请号:EP96200869.4什么房没有门
申请日:19960329
上古十大神器
公开号:EP0735575A1
梦见闺蜜公开日:
19961002
齿顶圆
专利内容由知识产权出版社提供
金的甲骨文专利附图:
摘要:Vertical furnace for processing wafers positioned on a support structure. The furnace compris an inner sleeve, heating means and an outer sleeve. To support the inner sleeve on the support structure a support sleeve is provided engaging with its top
end lower part of the inner sleeve and resting with its lower end on the support structure.
申请人:ASM INTERNATIONAL N.V.
安全教育活动教案
地址:P.O. Box 100 3720 AC Bilthoven NL
国籍:NL
代理机构:de Bruijn, Leendert C.
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