I C S29.045小松鼠找花生
表达爱国之情的诗
H80
中华人民共和国有色金属行业标准
Y S/T986 2014
晶片正面系列字母数字标志规范
S p e c i f i c a t i o n f o r s e r i a l a l p h a n u m e r i cm a r k i n g o f t h e f r o n t s u r f a c e o fw a f e r s 2014-10-14发布2015-04-01实施
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前言
本标准按照G B/T1.1 2009给出的规则起草㊂
本标准使用翻译法等同采用S E M IM12-0706‘晶片正面系列字母数字标志规范“㊂
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(S A C/T C243)归口㊂
本标准起草单位：有研半导体材料股份有限公司㊁杭州海纳半导体有限公司㊁万向硅峰电子股份有限公司㊁浙江金瑞泓科技股份有限公司㊂
本标准主要起草人：张静㊁边永智㊁孙燕㊁鲁进军㊁楼春兰㊁王飞尧㊁何良恩㊁张海英㊂
晶片正面系列字母数字标志规范
1目的
1.1本标准规定了硅片或其他半导体晶片上一串连续的包括字母和数字的标记㊂该编号标记及关联信息被储存入数据库，对每个硅片起到了在硅片和器件制造期间追溯和控制的目的㊂
1.2本标准定义了晶片标记的基本编码规定㊂无需处理晶片，利用简单的自动光学字符识别设备就可以
对该标记进行独立和快速人工识别，确保了硅片制造商对晶片标记的一致性，有利于监控晶片工艺的变化㊂
1.3本标准适用于广泛的晶片产品，如外延片㊁S O I片㊁抛光片等㊂
2范围
l5520本标准定义了标记包括字母数字的几何尺寸和空间位置，尤其适用于带参考面和带缺口的硅抛光片㊂
本标准不涉及制作标记的技术㊂
3规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的㊂凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件㊂凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件㊂
S E M IM13硅片字母数字标志规范(S p e c i f i c a t i o n f o r a l p h a n u m e r i cm a r k i n g o f s i l i c o nw a f e r s) S E M IA U X001供方标志代码表(L i s t o fw a f e r s s u p p l i e r i d e n t i f i c a t i o n c o d e s)
S E M IA U X015光学字符识别(O C R)字符集概要(S E M IO C Rc h a r a c t e r o u t l i n e s)
4术语和定义
hbo节目单
北京龙庆峡下列术语和定义适用于本文件㊂
4.1
相邻字符未对准度a d j a c e n t c h a r a c t e rm i s a l i g n m e n t
R a d j
债务风险同一行两个相邻字符的字符基线之间的垂直距离㊂
拼音组合4.2
字符间隔c h a r a c t e r s e p a r a t i o n
任意两个字符的相邻边界之间的水平距离㊂
4.3
字符间距c h a r a c t e r s p a c i n g
任意两个相邻字符的字符中心线之间的水平距离㊂
4.4
字符窗口c h a r a c t e rw i n d o w
将所有字符都包含在内的矩形窗口㊂
