纳米结构成形的重要意义•纳米结构成形或纳米图形化(Nano-patterning)–属纳米制造的重要工艺
灌县
继续前行
•“自上而下”纳米结构成形方法
氯气和铁反应
光学投影光刻EBL
FIB SPL(Scanning Probe lithography)
•自组装/自生长过程被引入纳米结构成形A B
莫言语录
•模板诱导与自组装/
自生长的结合
1) 模板结构2) BCP 涂铺3) BCP 微相分离
化学异质模板诱导
物理异质模板诱导M. P. Stoykovich, Science, 2005
作动
C. A. Ross, Nano. Lett, 2006
•纳米转印(Nano-printing)：经济、高效、高分辨率–四种主要方法：
柳永的词集
方法2：激光熔融直接压印(S.Chou,2002)
方法1：微接触转印(G.M.Whitesides, 1994)
方法3：热压印(S.Chou,1994) 十多年的研究成果：衍生了众多工艺变种(加载方式、模板、成形材料、流变控制方式的改变)方法4：紫外光固化纳米压印UV-NIL (S.V.Sreenivasan ，2000
美的四字成语
消防手抄报
) 基底
升温加压
冷却脱模
压印图形模具
接近基底
下压曝光脱模
压印图形
模具接近
