蚀刻补偿原理及应用
1、蝕刻補償原理
什麼是“間隔噴淋蝕刻”的意思？為什麼“間隔噴淋蝕刻”能給我們一個更加均勻的蝕刻效果呢？
當蝕刻噴淋到上板面的時候，板邊緣的藥水流動要更快於板中間，這樣導致了在上板面形成一種“魂凝”狀態，從而阻礙了噴淋和降低了蝕刻反映速度，導致在上板面形成一個“銅山”（如圖一所示），為了得到更好的蝕刻品質，這些“銅山”應該要除去，下面圖表會解釋這個過程。所謂的“銅山”已經使用3D圖表顯示，同時使用等高線分開。
使用3D圖像除去“銅山”
紅色區域=第一根噴管（9個噴嘴
黃色區域=第二根噴管（8個噴嘴）
淺藍色區域=第三根噴管（7個噴嘴）
等等…..
為了補償上板面“混凝”的影響，設計了一個特殊的噴淋系統，這個系統在工作方向垂直方向上安裝了一些噴管，每一根噴管可以各自的控制其開關，而且每一根噴管安裝了不同數量的噴嘴，噴嘴的形狀安排成一個三角形。正常情況下按照以下排列：第一根噴管安裝了9個噴嘴，第二根噴嘴安裝了8個噴嘴，第三根噴管安裝了7個噴嘴，如此類推，直到最後一根噴管安裝3到4個噴嘴為止，如
圖2所示。由於可以選擇每一個噴管的開、關，在板面上的“銅山”可以被一層一層的除掉。
下面給了我們關於“間隔噴淋”程式更詳細的解釋：
圖例
R1 = 第一根噴管
R2 = 第二根噴管
等等…
Cu1.5 = 1.5um銅厚區域
Cu3.0 = 3.0um銅厚區域
感應器 = 監控板的位置
以上圖解顯示了有6根噴管的“間隔噴淋”系統，在板面上的橢圓形表示了板面上殘銅（銅山）的不同的厚度。
當板走進時，有8個噴嘴的第一根噴管被開動，目的是蝕刻掉1.5um的銅厚，意味著原來1.5um的區域被蝕刻為0um，3un的區域蝕刻為1.5um，如此類推。在第一個噴管到達板後端以前，第二根噴管已經被開動，實際上是在1.5um銅厚的區域剛好到達第二根噴管時開
動的。第三根噴管是在下一層銅層到達時開動，如此類推，一直到裝有3個噴嘴的最後一根噴管噴完為止，這意味著這個系統可以根據實際蝕刻掉板面上最後一層銅層，而噴灌管的開、關選擇可以在PLC控制的PC上設定。
2、蝕刻補償控制與操作（手動機）
2.1控制板面之操作鍵
操作鍵 | 功能 | 備註 |
| 顯示HELP內文 | Help指示燈發亮時,表示有內文訊息 |
| 輸入 | 確認及完成輸入 |
| 確認 | 確認錯誤訊息 |
| 解除/返回/取消 | 1. 在未按ENTER前,除消輸入. 2. 返回上一頁或顯示板面 3. 離開Help內文 |
| 移動輸入/浮標/顯示 | 上下左右箭頭表示移動方向 |
+ | 選擇其他輸入符號/文字 | 如選擇蝕刻補償噴淋狀態:on(長開), off(長關), Int(間歇噴淋) |
| | |
2.2概覽蝕刻補償各噴管狀況
按 鍵進入概覽板面(在概覽板面內,可視察噴管開關狀況)
噴管號
噴管開關狀況: 上噴管開啟╦
上噴管關閉╤
下噴管開啟╩
下噴管關閉╧
2.3閱覽工作狀態信息
按 鍵進入信息閱覽板面(在信息板面內,可閱覽工作狀態信息)
工作信息 信息編號 故障信息 信息編號
離開工作信息板面,需按下<ENTER>鍵 與工作信息不同,故障信息會閃動,直致按下
但必須確認或修復排除所有故障信息 <ACK>鍵確認或修復排除故障
如有多個信息可按 閱讀其他信息
幫助排除故障內文
按<HELP>鍵閱讀內文,離開按<ESC>鍵
2.4蝕刻補償參數輸入
按 鍵進入設定補償參數板面
在板面首頁可輸入零點修正值及蝕刻補償類型
零點修正為+10厘米
蝕刻補償類型為內層補償(Outsidelayer外層補償)
下頁
零點修正范圍------ +50cm~-50cm
蝕刻補償類型為內層補償時,只有板面內心部分受噴淋
蝕刻補償類型為外層補償時,只有板面沿邊部分受噴淋
如下圖示:
板後沿設定 板前沿設定
內層補償
生產板傳動方向
外層補償
=噴淋區域
按 (下頁)可輸入蝕刻補償參數
第一排上噴管
間歇噴淋
板前沿5厘米(設定)
板後沿5厘米(設定)
下頁
上頁
按
2.5輸入應用程式
按 鍵進入應用程式板面
輸入新應用程式(可鍵入1-20號程式)
11號程式應用中
板面首頁
鍵入新程式New:??後按下 鍵
現假設新程式為2號程式,輸入操作如下:
鍵入2
ENTER
2.6載入及儲存程式
載入程式 儲存程式
按下此鍵 按下此鍵
按下此鍵 按下此鍵
完成載入程式 完成儲存程式
3、蝕刻補償操作步驟：
3.1 選擇內層/外層模式，一般情況下選擇內層模式
3.2 選擇噴淋模式為“間隔噴淋”，同時設定所有距離為0cm
3.3 進板
3.4零點修正：觀察是否在板到時馬上噴淋
如果超過噴管再噴淋，選“-”
如果沒到噴管噴淋，選“+”
3.5 設定噴淋主壓力
3.6 設定分壓
3.7 進板
3.8 測量和記錄銅厚資料
3.9 根據資料調整補償蝕刻和分壓或總壓（如有需要）.
3.10重複第7~9項直至標準偏差小於0.7(0.5OZ), 1.2(1 OZ), 1.6(2OZ)
4、異常問題處理：
問題 | 原因 | 解決措施 |
参数设定正确，蚀刻补偿不喷。 | 1、 侧板感应器损坏 2、 脉冲发生器损坏 3、 喷淋泵坏 4、 气阀损坏或导致气阀不能工作的其他原因。 | 1、 更换感应器。 2、 更换脉冲发生器 3、 更换泵浦 4、 查找气动阀不工作原因排除。 |
板面發現有局部蝕刻不尽 | 1、 蝕刻程式是否正確 2、 各种参数是否正常 3、 喷嘴是否堵塞或异常 4、 Offt是否正確 5、 蝕刻补偿缸噴管排序是否正確(检查蝕刻补偿報告) | 1、 選定蝕刻程式是否正確 2、 檢查各蝕刻參數是否正確，如喷淋压力，温度，速度，药水参数等等。 3、 檢查噴嘴有否倒塞或異常 4、 檢查Offt是否正確 5、 若确定以上正常，则需重新调整按情況調節蝕刻補償間歇噴淋(on/off in cm)，如有需要可增減工作噴淋壓力，重複直致局部蝕刻不盡消除 |
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