aixtron和veecoMOCVD的技术比较
AIXTRON和VEECO的比较
德国AIXTRON公司(英国THOMAS SWAN公司已被其收购)，大约占60-70%的国际MOCVD市场份额。美国VEECO公司（并购美国EMCORE公司），占30-40%。其它MOCVD厂家主要包括日本的NIPPON Sanso和Nissin Electric等，其市场基本限于日本国内。如日本日亚公司和丰田合成等公司的GaN-MOCVD设备不在市场上销售，仅供自用；而日本SANSO公司生产的GaN-MOCVD设备性能优良，但仅限日本市场销售。从设备性能上来讲，日亚公司设备生产的材料质量和器件性能，要远优于AIXTRON和EMCORE的设备。本人没有用过日本的设备没有发言权，而THOMAS SWAN的设备占有量很小，不详细介绍了，主要比较VEECO和AIXTRON。
一、VEECO
1、VEECO采用了高速旋转，但是没有自转，所以有明显的within-wafer和
ring-ring的均匀性问题，但是run-run 和ring内的均匀性极好，这就是为何其设备比较适合生
产LED，因为LED有个binning的步骤，对于ring-ring的均匀性问题可以通过binning 解决，但是如果是生长DFB、VCSEL等外延结构相互关系紧密且互相影响程度达到可以造成器件整体功能丧失的情况，VEECO则力不从心。
2、另外VEECO设备除了年度维护外不开炉体，适合大规模生产，还可以2个托盘交替，只要在年度维护结束后，对炉体和托盘进行适合的覆盖性生长，1-2月内使设备稳定，就可以放心的使用，同时，在几个月的时间内还是有规律可以摸索。但是需要注意的是，托盘的更换还是会导致参数变化。
3、但是，VEECO设备的炉体比较大，虽然最近进行了缩小，但还是在气体用量上比较浪费，但是其不可以进一步减小，这和炉体设计及生长优化机理相关。
4、还有就是当使用VEECO生长一些有相互污染的材料，则有残留问题，而解决就只能拆炉子，这样就提高了维护成本，所以VEECO适合同一产品的反复生长。
二、AIXTRON
1、AIXTRON采用了低速旋转加自转，所以明显改善了同一炉内within-wafer的均匀性，如
果是生长DFB、VCSEL等外延结构相互关系紧密的器件，AIXTRON就比较适合。
2、石浪
AIXTRON每次需要打开炉体，run-run的均匀性掌握就很关键，而且每次托盘的更换之间只有20次左右的生长，且各种条件均变化，需要每一炉均有一定的调整。这就是技术难点所在，但也89年属什么的
正是每一次的调整使我们有了掌握工艺的主动权，所以可以生长更精密的结构。
3、AIXTRON需要不断地维护，每次更换托盘需要工儿童架子鼓
艺调整，同时还经常会出现自转速度变化甚至停转，这需要注意。
4、AIXTRON采用中央喷嘴的方式提供源，这就必然产生因为设计而形成的源不均匀分布，需要注意和调整。但是我们也可以通过观察喷嘴和炉体的情况判断工艺的稳定性，这就是AIXTRON灵活性所在。
5、AIXTRON设备的炉体比较小，在气体用量上比较节省。
6、由于炉体的灵活性，对于生长一些有相互污染和残留效应的材料，也风险小一些，AIXTRON更可以生长多种产品，并尝试进行研发工作。
三、其他
1、在此，我不想比较2家的服务态度，其实服务态度的问题只有国内才发生，在国外不多见。这不应该成为选购设备的前提。
2、但是有一点是要注意的，VEECO的MOCVD不是其主营业务，它是综合设备商，这是他的缺点，优点是因为其是EMCORE转过来的，他们的人更有器件的实践经验，关系好的话可以得到很多好处。但是要注意你们的技术优点是否被EMCORE 通过朋友学到。而AIXTRON的MOCVD是主营业务，比较重视，这是优点，但是其一直不是器件厂商，没有和器件很好结合的人才，这是缺点。大家自己去平衡。
3、还有，VEECO不会倒，美国一定会维持自己的MOCVD装备厂商，因为很多是军工相关的。
4、至于THOMAS SWAN，设备有其特点，用气量也小，其源的出发设计接近VEECO，但是更精密，而炉体的设计接近AIXTRON，但是没有自转。他适合很多研发和高端材料的生长，特别是高纯材料，比如PIN结构中的高纯度不参杂层，我曾经长到14次方的水平，非
常的可靠，这个好像VEECO和AIXTRON现有大型均比不过，只有以前的水平式MOCVD可以相比。
5、各位在购买配件时，如果不是原厂购买，最好寻找那些他们以前的供货商，台湾有一些。如果从国内的厂商买，虽然可以拿到很好的价格，但是千万注意不要买到形似而神不似的配件，这样对工艺就有影响。配件材料的密度、致密度、导热、热膨胀系数、介电常数、表面粗糙度、配件材料的纯度等均十分重要，还有任何配件厂商的更改均需要器件可靠性测试的证明。
切记，MOCVD是艺术，艺术的功底不是一簇而就，也不是有个好师傅就可以的，还要有自身的资质和修养。
以上只是个人的一点看法，千万不要作为采购设备和制定工艺的标准，仅供参考。蓝光LED 光子晶体技术
摘要
为回避日亚化学的蓝光LED 加萤光粉制技术专利，各业者纷纷投入其它能达到
散发出白光的LED 技术，目前最被期待的技术是利用UV LED 来达到白光的目的，但是，UV LED 仍旧有著光外漏及低亮度两个不易克服的困难。使得除了继续努力来解决相关的问题外，不得不再去寻求其它的材料或技术来达到散发出白光的LED 技术。
在1987 年，国籍相异且分居不同地点的两位学者，Eli Yablonovitch 与Sajeev John 几乎同一时间在理论上发现，电磁波在周期性介电质中的传播状态具有频带结构，利用两种以上不同折射率（或介电常数）材料做周期性变化来达成光子能带的物质。所以光子晶体（PhotonicCrystal）被发现已将近20 年后的今天，在各领域的应用有著相当令人激赏的表现，一直是备受研发者所关心的一项技术。为回避日亚化学的蓝光LED 加萤光粉制技术专利，各业者纷纷投入其它能达到
散发出白光的LED 技术，目前最被期待的技术是利用UV LED 来达到白光的目的，但是，UV LED 仍旧有著光外漏及低亮度两个不易克服的困难。使得除了继续努力来解决相关的问题外，不得不再去寻求其它的材料或技术来达到散发出白光的LED 技术。目前利用二次元光子晶体来达到完成白光LED 的技术，已陆续出现
突破性的发展，使得未来Photonic Crystal LED 已成为众所瞩目的焦点与摆脱日亚化学专
利的期望寄托。
1、光子晶体特性与结构
光子晶体随著波长不同，会出现于周期性的结构，可以分别发展出一次元、二次元及三次元的光子晶体。而在这些结构当中，最出名的应该是属于三次元的光子晶体结构，但是，三次元的光子晶体在制造上及商品化，就今天的技术而言是非常困难的。原因是目前主要研究的领域还是保留在二次元的光子晶体，所以，今天在LED 领域各业者相竞开发的光子晶体LED，也是二次元的光子晶体。一般的材料构造是属于固定构造，所以材料本身会具有的一定的折射率。波数（Wave Number）与频率对于一般材料折射率的影响，横轴是物质的波数（Wave Number）、纵轴是频率、斜线就代表折射率。折射率是非常等比例的成长，也就是代表说不管什么样的波数、什么样的波长，它的折射率都是一定的。那么光子晶体是什么样的结构，再从另外一个角度来说明。光子晶体的特性就是周期构造，也因此会产生多重反射。光子晶体所构成的波数矢量数和光的频率比例，频率的曲线不是
那么单纯，曲线已经会变得非常复杂，这个曲线会随著光的多方向性，就是异向性而出现变化，而随畅快的近义词
著摆渡人歌曲
它的偏光性，就可以运用来设计出不同的产品。光子晶体它有一个很出名的
特性，相信大家都知道，就是它有一个光能隙。在光能隙这个区域里面，光线是不存在的。这边的曲线也跟图一A 是的斜率意义是一样的，是折射率的相反。只要在这一点，斜率等于零。所以在这一点以外，光的速度就不会产生零这个现象。所以也可以说，光子晶体也可以控制光的速度。就简单来说，运用光子晶体的目的浓缩成一句话，就是要利用周期构造，以人工的方式来控制这个光学特性。
