掩膜版

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号CN2.X

（22）申请日2012.连音线怎么弹 10.25

（71）申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址201203上海市浦东新区张江路18号

（10）申请公布号

CN103777463A

（画家英文 43）申请公布日2014.05.07

（72）发明人吴苇

（74）专利代夏天的诗 理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人屈蘅

（51）

权利要求说工作转正申请书 明书说明书幅图

（54）发大学的排名 明名称

一种掩膜版修复方法

（57）摘要

本发明公开职业技能提升 了一种掩膜版修复方法，采用

紫外光处理掩膜版的图形缺失修复后产生荷叶功效 的halo

残余缺陷，利用短波长高能量的紫外光，激发残

余缺陷，使其短时间内分解，从而使得炒酸枣仁的功效与作用 halo残余

缺陷消失。并且，采用紫外光处理不会对掩膜版

的相位层造成损坏，也就降低了处理的风险，同

时能够避免残余缺陷在经过实际生产的大量过货

使用而变得糟糕，大大延长了使用寿命，节省了

生产成本。

法律状态

法律状态公告日

2014-05-07

2014-0稗官野史的意思 5-07轮机工程

2014-06-04

2014-06-04

2018-09-07

公开

公开

实质审查的生效

实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

法律状态信息

公开

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法律状态

实质审查的生效

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发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

一种掩膜版修复方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

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