金属蒸发作业指导书
1. 目的综合鉴定
规范金属蒸发台（PEVA－600E）设备操作方法、工艺要求、安全操作注意事项、保证生产作业正常安全进行。
2. 范围
。
3．控制内容
3.1作业条件
3.1.1 产品条件：根据产品随工单内设置的工艺条件作业。
3.1.2 动力条件：板栗去皮
3.1.2.1 压缩空气（CDA）：0.4-0.5Mpa
3.1.2.2 电：380V 50Hz
3.1.2.2 氮气：0.1-0.2Mpa
3.1.2.3 冷却水：1.5-2kg/cm2，20－22℃
3.1.3 使用材料：金、镍、铝、钛。
3.1.4 使用设备：HC403
3.1.5 镀锅：所有金属蒸镀制程使用单锅自转模式。若需使用三锅自公转模式蒸发金属需通知工艺技术人员确认。
3.2 点检要求
3.2.1 日常点检：每日白班人员在上班后按照《金属蒸发日常点检表》对设备进行日常点检。
3.2.2 启动点检：设备启动、维修后按照《金属蒸发设备启动点检表》对设备进行启动点检。主要是指对真空（坩埚底座）和电子枪的维修。
3.2.3 异常处理：如果点检不符合标准，通知工艺技术人员和设备技术员。
3.2.4 晶振片寿命：当晶振片寿命降到70％时需要立即更换晶振片。
3.3 操作步骤
3.3.1 来片接收
3.3.1.1 按照《生产过程控制程序》中的“四个一致”执行。
3.3.1.2 检查来片表面有无异常，要注意检验制品表面的异常情况，包括划伤、裂纹、沾污、光刻胶表面情况、表面色泽有无异常等，发现异常时暂停流片，并通知工艺技术员处理。
3.3.2 生产
3.3.2.1取待蒸发片并核对好蒸发工艺条件。
3.3.2.2 填写《金属蒸发原始记录表》。
3.3.2.3 生产中的异常处理
3.3.2.4 蒸发过程中要不断地观察蒸发情况，发现异常时（如坩埚偏、行星架转动不平稳、电子枪跳闸或打火、真空度不够等）通知工程师处理，作业员不得私自对异常进行处理。
3.3.2.5 设备出现异常须维修时立即通知技术员并将设备暂停。
3.3.3 蒸发工艺操作
3.3.3.1 加源：每次使用前检查坩埚内的源是否够量，约2/3坩埚。从氮气柜中取出蒸发源，加够量，用完后将蒸发源重新放回氮气柜保存。加源前需要检查源锭表面是否有杂物、颜色是否异常等，请报告技术员决定是否需要将金属源锭进行更换或清洗处理。加源时需使用专用镊子，注意源不能加的过多以免卡住坩埚，不可超过边沿，加完源还未熔源之前一定不要转动坩埚，换源锭后填写《蒸发台换源原始记录表》。
3.3.3.2 装片
3.3.3.2.1注意检查电子枪电源为关闭。然后在“Process”模式下点击“VENT”或直接点击“V4”阀门，腔体开始充气直至大气压，手动打开腔门。
3.3.3.2.2 取下镀锅，用吸尘器吸取蒸发腔内的污染物，如果发现蒸发源的表面有脏物，取出用氮气枪吹，要特别注意吹气的方向，气流的大小，避免带来新的污染。
3.3.3.2.3将镀锅从支架上取下，小心地放置在操作台上，确定不影响装片。用吸笔将产品轻轻吸住，小心的放在镀锅上，注意要蒸发的一面朝上，然后用固定弹簧钩轻轻地压住片子；若一次蒸发超过两批，则根据投料批号的大小，从小到大装片。（注：每次装片之前检查吸笔是否沾污，如果沾污，用酒精擦拭干净再用。）注意装片时要从内圈向外圈装片，要顺时针转动镀锅装片，以免衣袖污染制品；装片完成后，要检查晶片是否固定好，有无灰尘或其它异常，若有灰尘要使用氮气枪将灰尘吹掉，吹片的时候气流不要太大，需要先试验气流的大小，再开始吹片，吹片的时候要向外吹，不能向内吹，以免污染其它晶片。
3.3.3.2.4将装好制品的镀锅，小心的装回支架，一定要注意修正板位置，不要碰到镀锅的片子。用手慢慢转动支架，检查镀锅是否放稳。再检查腔体大O型密封圈是否干净无异物。如有，用酒精将其擦拭干净，包括密封圈的接触面。
3.3.3.3 抽真空
3.3.3.3.1 抽真空前蒸发台需要检查的项目：
A）观察窗：保证观察窗的干净，如果表面有金属层则可使用酒精和纤维纸进行清洁，如还无法去除，则直接更换观察窗的防镀玻璃。辛苦的辛怎么写
B）观察反射镜：两块镜片的位置需要调整到能看到整个坩埚源的情况，否则需设备人员或工艺人员调节；对镜片的清洁同上。
C）真空腔体：检查腔体内是否有金属屑等异物，如发现则用蒸发专用吸尘器进行清洁，在清洁的过程中操作要小心，避免碰到设备内部其他部件。
D）冷泵：确认冷泵温度<15K。
E）坩埚：加源后就不能转动坩埚，若一次要加两种不同的金属，先加一种金属熔完后再开腔体加另一种金属。核对此时运行的坩埚与程序里面的坩埚号要一致。如发现坩埚被源卡住，应立即点击坩埚示意图下的番茄炒蛋教程“ABORT”，然后点击“REVERSE”，将坩埚倒回来。清理坩埚时用吸尘器吸坩埚内的金属屑，此时禁止转动坩埚，以免将金属源吸起而卡锅。
F）确认蒸发台处在Automatic（自动）状态，确认各动力条件均为正常。
3.3.3.3.2 确认各项条件均满足后，缓慢的关闭腔门（注：当腔门快关上时，机台会自动将门吸过去，并关紧），点击“ AUTO”，此时，机械泵（MP）开启，开始粗抽，刚开始抽气时可以听到较大的抽气声音；确认熔源完成后，在“Load Recipe”模式下选择工艺要求的程序，并点击“Load”加载程序；然后在“Process”模式下点击“START”开始运行程序。当真空抽到5×10-2Torr时，自动关闭粗抽阀RV，开启高真空阀HV，开始使用CP腊肉炒饭（冷泵）抽真空，高真空计IG1开启，真空值很快跳至E-5。按工艺要求，抽真空时间要少于50分钟，真空值达到2×10-6Torr拉肚子拉稀水咋办时，开始蒸源，否则通知设备人员维修并点检后方可做片。
3.3.3.3.3 当关闭腔体开始抽真空之前，需要手动打开镀锅的转动马达，注意观察镀锅转动是否平稳。当程序运行到开始抽高真空的时候，镀锅会自动转动，此时需要观察镀锅转动是否良好，转动时如果声音异常异常需报告设备人员维修。
3.3.3.4 蒸发
当腔体的真空抽到设定值（设定为2×10-6Torr）时，电子枪自动启动，电子枪启动时机台会报警，此时要注意电子枪的高压应在－10KV左右；然后机台会按照程序的设定运行，直
至蒸镀完成，蒸镀完成后电子枪会自动关闭，注意在电子枪刚开始加功率的时候一定要注意观察，防止电子束打偏，在蒸镀过程中不要打开蒸发台的任何腔门，否则程序就会自动终止。
3.3.3.5取片
取片前应把坩埚打向空位置，然后关闭高真空计IG1，再按到VENT（充气），然后按“MAN”将抽真空模式改为手动，腔体开始充气。稍等片刻，腔体自动打开。将镀锅从支架上慢慢取下，放在操作台上，然后轻轻移开固定弹簧，用吸笔将制品取下放入片盒；注意取制品的时候是先取外圈，再取内圈的，要逆时针转动镀锅取片，以免衣袖污染制品，并且要注意制品的顺序不能放错。
3.3.3.6若发生溅源，该批制品继续做完，做完后需要设备人员确认电子枪后方可继续作业，制品需要工艺技术员确认方可流水。
3.3.3.7熔源
3.3.3.7.1 熔源时使用手动操作：将金属放入坩埚，开始抽真空，抽真空时一定要先检查挡
板有没有关闭，当真空达到1.0×10-6火锅怎么做Torr左右的时候，可以开始熔源，先打开电子枪，再打开电子枪电源开关（ON）。根据随工单选择程序，开始蒸发。在膜厚仪的左下方可看到如下按键：MANUAL、START、ABORT、RESET、ZERO、SHUTTER。选择START右方显示屏上提示程序，按方向键选择设定程序，再次按START开始，然后依次按ABORT→RESET→MANUAL，手动缓慢的增加功率。开始熔源，熔源时一定要注意电子枪束斑，以免电子枪打偏损坏设备器件。若发现电子枪打偏应该立即调整电子枪束斑，当无法调整时就直接关闭电子枪开关。
3.3.3.7.2整埚熔源时，第一次加满，熔完后再加至2/3。再熔源的过程中，先熔四周再熔中间，有利于形成好形状。熔源的功率一般比相应源程序运行的预沉积功率少2-3%。加功率的过程首先上升到3%，停留一分钟，最后根据需要增加功率，功率增加的速率控制在1分钟内上升5%（熔铝时功率可以达到10%）。
3.3.3.8测试和检查
3.3.3.8.1 做完壁板保养后，第一次蒸镀要放入四片SPC（每圈放一片）点检蒸镀金属厚度及均匀性。蒸镀完成后，均测五点，并填写《金属蒸发膜厚控制表》，测试位置为上、中
、下、左、右五点，定平边为下点。测试片使用过后要清洗干净以便下次可以重复使用。
3.3.3.8.2 目视检查样片表面颜色和颜色均匀性以及表面麻点，发现明显异常须报告技术员处理。
3.3.3.9膜厚校准
每次更换晶振都需要测量蒸发速率，晶振的更换由作业人员来实施。若需要校正Tooling factor可以按照下式修改Tooling factor=[测量值/显示值] ×镀膜时的Tooling factor，膜厚校准完毕。 若修改Tooling factor，必须修改完所有金属材料，每次从1#金属开始，修改到最后一个金属，然后从最后一个金属开始检查确认，确认无误后方可投入生产。
3.4工艺PM（预防性维护 Prevent Maintenance）要求
3.4.1对于N、P电极蒸发光刻完成的制品先放入氮气柜中保存，其打胶时间应控制在3小时内，超出3小时而不到12小时的制品冲水后再打胶，超出12小时直接返工；打完胶的制品应在1小时内进蒸发台蒸镀。
3.4.2膜厚监测
3.4.2.1 每天蒸发第一批次Ti/Al薄膜，需要进行膜厚监控，监控的办法通过蓝宝石片来实现，膜厚结果记录在《金属蒸发厚度SPC测试单》，其值录入SPC记录电子版，若测试时，波动较大或平均值小于2.0大于2.15时重新蒸镀一片SPC。 注意厚度偏移在3%以内不需要修改Tooling factor；偏移量在3%至5%之间需要修改Tooling factor，超过3%通知技术员。新换晶振，第一炉Ti/Al的修正因子设置与前一个晶振Ti/Al的修正因子设置相同，当新换修正因子连续2次的实际修正值与预设值偏移2%英国留学申请条件，通知工艺技术员。
3.4.2.2 晶振更换
晶振寿命等于或低于70％时，需要更换晶振，更换的时候要小心的将装晶振的小舟抽出，然后小心的取出压住晶振片的压片。放置该压片的时候，一定要将四个触点朝上放置，且不能用任何东西碰触四个触点，然后将旧的晶振片倒出，使用棉签将装晶振片的铜舟内擦拭干净，同时要将外面蒸发沉积的金属去掉，去除金属的时候要小心，不能用力过大，将铜舟划伤。若是不能去除，可以直接使用稀盐酸将蒸发金属去除。去完金属后用氮气枪吹扫30秒，去除可能残留的金属；然后换上新的晶振片，新晶振片直接从装晶振的盒子小心的倒入铜舟内，新晶振片不能直接使用手拿，当没有放好的时候，可以使用擦拭干净的镊
子将晶振片放好（要注意晶振片的正反面，不能放反，全金属的一面向下），检查晶振片是否放平整，检查无问题后，小心的将晶振压片装上，然后将插入晶振的位置使用棉签擦拭干净，再将装晶振的铜舟插入，此时机台晶振异常报警消除，晶振寿命的位置显示寿命在98％或99％。
