1.微纳米测试技术包含的尺度范围是多少? 微纳米尺度测试对微纳米
尺度制造技术发展有什么重要作用?
教师资格条例答：（1）0.1nm-1mm。
（2）测试技术是微纳米技术的基础；测试技术是微纳米技术进一步发展的保障；测试技术也是微纳米技术应用的具体体现。
2.分析说明微纳米测试的特点和内涵?
答：（1）被测尺度微小，处于微纳米级；样品小，样品固定困难；信号量相关时信号弱，信噪比小；微纳米测试尺度范围大107(nm-mm)；现有ISO公差不适用；几何量测量中非接触方法使用多.
（2）内涵：被测样品、工件的几何尺寸在微纳级；被测工件的精度在微纳级；上述样品相关性能的测试技术和测量方。
3.微纳米结构怎么来的？
官眼
答：总体来讲：两种方法：Top-Down, 与Bottom-Up。
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Top-Down方法是指从大的物体上去除材料形成需要的纳米结构，Bottom-up方法是通过物理、化学以及生物等作用，把小的物体（如原子、分子）拼装形成复杂的结构和系统。
4.试述真空镀膜中在线测量薄膜厚度的主要方法?
答：主要方法是石英晶体法。
基本原理: 压电效应和质量负荷效应。质量负荷效应：当石英晶体芯片上镀了某种膜层，使芯片的厚度增大，则芯片的固有频率会相应的衰减。
测厚原理：石英晶体膜厚监控仪就是通过测量频率或与频率有关的参
量的变化而监控淀积薄膜的厚度。
老婆欠管教5.薄膜厚度测量的三种方法的比较。
答：台阶仪适合于各种薄膜厚度的测量，测量前必须制备相应的台阶。
实验室最常用的厚度测试设备。
椭圆偏光仪的样品必须是透光或半透光，属于非破坏测量。
球磨法对硬脆膜的厚度测量非常简单有效，价格低廉，工业中应用广泛。
6.薄膜、小体积材料、微结构材料力性能测量方法有那些？
答：结合强度（膜基、膜膜等）测量方法有划痕实验、引拉法，剥离法、推倒法、摩擦法超声法、离心法等。应力（应变）测量方法有旋转指针法、基片弯曲法、谐振频率法、加载变形法、临界挠度法、XRD、鼓泡法等
7.纳米压入法如何测量薄膜材料力学性能? 那些因素会影响薄膜力学
性能的测量结果? Sinking-in和piling-up分别会对测量结果有何影响?
答：（1）通过同步记录加、卸载过程中载荷和位移，获得连续载荷—位移曲线。（2）载荷Pmax、压入深度h max 和接触刚度S等。（3）Sinking-in（凹陷）是Oliver—Pharr 法的前提假设之一，而当实际测量中发生piling-up（堆积）现象时则不再符合Oliver—Pharr 法的弹性凹陷假设条件了，此时由于实际的接触区面积变大，将会导致所测量接触面积偏小，从而会使测量结果产生相应误差，如所测硬度值将会偏大等。
8.纳米压入法的特点。
答：（1）测试仪器分辨率高、性能稳定；（2）数学模型准确可靠、分析方法简便易行；（3）测试精度高；（4）测试容易、快捷，对试样制备要求简单（5）可测材料及力学参数多，并具进一步发展潜力。9.微梁弯曲法中简支梁、悬臂梁、两端固支梁样品对测试装置的要求有
何不同？微拉伸法和鼓泡法测试的特点与难点是什么?
答：（1）：简支梁样品要求装置能够实现对样品两端纵向约束，悬臂梁样品要求装置能实现对样品一端的固定约束，两端固支梁样品要求装置能实现对样品两端的固定约束。（2）微拉伸法特点模型最简单、结果最直接、试件的装卡\对准困难、对测试装置要求高；
10.微梁振动法的优缺点。
答：优点：应用简单，器件便于夹持测量速度快，便于在线测量、实验装置简单容易搭建。
缺点：可测量的弹性模量范围有限，实验结果误差较大，需要加工专门样品。
11.集成一体化法特点。
答：优点：执行器甚至测量单元和样品集成在一起，避免样品装夹和对准。微小的驱动力容易实现。
缺点：试样加工复杂，影响因素多，结果分散度大、精度低。
12.划痕法实验中，临界载荷的监测与判定有哪些方法，它们的特点是什
么？划痕法测量膜基结合强度的影响因素有那些?
答：（1）如表格
（2）如表
岛歌唱腔
13.试论述基于基片弯曲法的薄膜残余应力测试方法，该方法如何实现薄
膜沉积过程中残余应力的在线检测？与微结构方法相比，该方法薄膜测残余应力的优缺点有那些?
答：
14.什么是横向分辨率和纵向分辨率？从分辨率和量程要求论述如何选
用微器件结构参数的测量方法?校本培训
答：（1）分辨率：对于具有x,y,z三维结构的几何尺寸，横向分辨率和纵向分辨率。
横向分辨率: 在与高度方向或深度方向垂直的平面上，即x、y测量分辨率
纵向分辨率：在与高度方向和深度方向上，垂直于x、y平面
（2）量程：x,y,z方向的量程均比较大，是三维的测量方法、如果相对x，y，z 向量程很小，或精度要求很低，是两维或平面测量。具体如表
15.两维微结构的测量方法有那些？它们的特点、适用性如何?
答：（1）光学显微镜微视觉系统、SEM 、SPM（2）光学显微镜微视觉系统：受到波长的影响，测量的分辨率不高，景深非常小，只适合平面结构的观测。装置比较简单，可进行大范围测量：SEM是MEMS观测用最基本的工具。物理材料、生物材料形貌\形态及材料组份的主要测试手段，是微细结构、微纳结构的尺寸测量(观测)重要方法。SPM 测量分辨率高（横向/纵向）但测量范围有限，纵向方向量程（深度）比较小，不仅可进行尺寸测量，还可在微观形貌观测中应用，精度问题，大多用于观测，而非测量。
16.那些方法可实现三维微结构的测量?论述三角法的基本原理?那些因
素会影响三角法测量的分辨率和精度。
答：（1）SEM、各种光学测量技术（显微+干涉）。（2）三角法的基本原理：通过一段已知长度的基本距离来测量到一个被测点的角度，并由此确定它的距离。（3）表面粗糙度、被测表面结构影响、散斑的影响、光源（红光或近红光）及检测器(线阵CCD、PSD、差动式光电二极管）。
17.MEMS器件动态性能测试的困难是什么?电测法的优缺点是什么?
工作交接单模板答：（1）MEMS器件尺度小、体积小，质量轻和高频的性能决定动态性能测试困难。传统的压电、
光电、应变等测量方法通常不能满足微器件测试要求。（2）优点：方法简单、成本低。缺点：需要在试件上集成感测元件，所集成的元件会影响微结构的动态性能（特别是执行器）, 从而对测试结果有一定的影响。不能得到结构任意位置
