20.蚀刻退膜线作业规范

更新时间:2023-06-08 23:28:23 阅读：评论：0

开题报告导师意见

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文件名称:蚀刻退膜线作业规范					文件编号: HY/WI-PRD-020				版本: B0泉州清真寺
核准：					制定：			郭磊
生效日期：				2008-8-1	发行日期：			2008-8-1
文件更改覆历性质及项号本文件共8页
修订	更改性质及项号					制订人	生效日期			文件更改通知单号

“V”代表指定部门会签
部门银行卡查余额			会签人
企管部
生产部		V
工程部		V
品管部		V
业务部
采购部
财务部

1 目的

为使生产操作、维护、保养规范，特制定该操作指引。

2 适用范围

本操作指示只适用于单面蚀刻工序生产操作及保养维护。

3 职责

3重庆话常用口语．1 生产部负责工作指引的实施并做好一切质量记录；

3．2 生产工艺课负责工作指引的编制、解释、修改和监督生产按本指示进行操作。

3．3 生产/设备课负责设备的维修与定期维护；

3．4 QA保证品质，并监督生产按本指示进行操作。

4 流程

4.1工艺原理：通过化学反应形成一定的集成线路。

4.2工艺流程：

入料→蚀刻Ⅰ→蚀刻Ⅱ→清洗Ⅰ→去墨→清洗Ⅱ→清洗Ⅲ→摆动Ⅰ→摆动Ⅱ→摆动Ⅲ→照明→加温Ⅰ→加温Ⅱ→出料。

4.3操作流程：

流程/项目		管控内容	注意事项	备注
1	开机前准备工作	1、检查各槽液位是否在标准液位内。 2、检查各紧急停止开关是否在复位状态 3、检查各段挡水滚轮及吸水海绵是否清洁。 4、检查各水洗过滤网上无异物及破损现象等。	1、各槽液位不可低于标准液位下限（左上图）。 2、水洗过滤网的检查（右上图）。
2	开机步骤	1、开启总电源、总水源开关 2、按下启动开关 3、依次开启各段喷淋、摆动及抽风开关。 6、开启各段传送开关并设定传送速度在控制范围内。	1、开启电源时注意手必需干燥且不可用异物开启（左上图）。 2、检查喷淋喷嘴无堵塞水花形状呈连续均匀分布（右上图）。 3、检查各压力表均匀在控制范围内（左下图）。 4、观查传送滚轮无跳动、不转动，齿轮无磨损等现象(右下图)。
3	首件试做	1、依照蚀刻参数点检表进行点检药水浓度、槽液温度、压力、速度等各生产参数。 2、按照MI所提供的参数及要求设定蚀刻速度。 3、放、收板。	1、蚀刻比重每二小时检查一次（左图）。　2、添加药水时需带安全防护用具（右图）。
4	首件检查	1、IPQC依照MI的要求及QA检验规范进行首件检查	1、填写首件记录表单
5	量产	1、开启水洗溢流系统 2、放板时需戴作业棉手套错开放板间距宝宝便便有血丝>50mm 3、收板时需带作业手套并自检板面无蚀刻不净、去墨不净等现象。	1、放板时检查板面无板面划伤、脏点等（右上图）。 2、蚀刻后中检无蚀刻不净、如有连续性蚀刻不净及时调整蚀刻速度或对机器进行检查。
6	关机程序	1、关闭各段水洗溢流及传送系统。 2、关闭各段开关。	不要只关闭总电源开关或紧急停止。

5 工艺参数

社团英语

槽名	管控项目	管控范围	管控点	点检/化验频率	换槽标准	备注
蚀刻	蚀刻压力	2.5-3.0Kg/cm2		1次/每班	无需换槽
	水洗压力	1.0-1.5Kg/cm2		1次/每班
	去膜压力	1.5-2.0 Kg/cm2		1次/每班做一个什么样的人
	蚀刻温度	室温
	蚀刻速度	蚀刻速度由铜厚

6 工艺维护与保养

6.1 蚀刻槽每半年做一次大保养，具体步骤如下：

6.1.1将槽液排出到预备桶。

6.1.2用市水喷洗10分钟后排放。

6.1.3注市水至标准液位循环并检查加热器、滤网板、喷嘴无异常后排放。

6.1.4将槽液抽回。

6.2退膜槽每周做一次碱酸洗，具体步骤如下：

6.2.1将槽液排掉。

6.2.2注市水至标准液位循环30min后排放。

6.2.3注市水至标准液位循环30min后排放。

6.2.4配制3-5%H2SO4溶液升温至300C循环2小时后排放。

6.2.5注市水至标准液位循环并检查加热器、滤网板、喷嘴无异常后排放。

6.2.6配槽、生产。

6.3其它槽每月做一次大保养具体步骤如下：

6.3.1将槽液排掉。

6.3.2注市水至标准液位循环30min后排放。

6.3.3配制3-5%NaOH溶液升温至300C循环2小时后排放，配槽时如用固体NaOH则需先在槽外用市水溶解后再注入槽内。

6.3.4注市水至标准液位循环30min后排放。

6.3.5注市水至标准液位循环并检查滤网板、喷嘴无异常后排放。

6.3.6配槽、生产。

6.4日保养：

6.4.1机台表面用碎布清洁。

6.4.2挡水滚轮每班清洁一次。

6.4.3水洗槽滤网每班清洁一次。

6.4.4水洗缸每班更换一次。

6.5周保养：

6.5.1 吸水海绵的清洁

方法用少量洗涤剂清洁后，用清水清洗干净。

6.5.2各槽喷嘴进行清洁每周一次。

6.6月保养：

6.6.1吸水海绵的更换。

6.6.2各水洗槽进酸碱洗。

6.7设备维护详见设备课一、二级保养表单。

6.8异常处理及注意事项

6.9异常处理：

6.9.1停市水：

<1>立即通知当班主管及设备课进行处理。

<2>紧急料号可持续生产最多不超过两小时。

<3>生产时确认板面清洁度.

<4>来水后将水洗槽进行槽体清洁及水更新后方可进入正常生产。

6.9.2异常停电：

<1>将电源逐一关闭最后关闭总电源，并通知当班主管及设备课。

<2>第一时间将蚀刻槽内的板子取出经水冲洗干净。

<3>将剥膜槽及氨洗槽内的板子取出经水冲洗干净。

<4>来电后打开传送将板子取出，将板子分类进行返工处理。

6.9.3异常停抽风

<1>立即通知当班主管及设备课进行处理。

<2>可持续生产，当蚀刻槽比重超出控制范围时停止生产。

<3>抽风正常后确认蚀刻槽液比重在控制范围内可进入生产

6.9.4卡板

<1>按下紧急停止开关按钮。

<2>将卡板处的板子取出。

<3>旋起紧急停止开关，开起传送并检查卡板处齿轮转动正常。

<4>试走几片板确认机台OK后进入正常量产。

7 注意事项

7.1 员工作业时必须戴棉手套或手指套，添加药水时需戴防护眼睛、防毒口罩胶手套等防护用具后方可作业。避免药水触及皮肤或吸入有害气体，造成人体伤害。

7. 2形容小孩子机器在运行中，禁止打开任何机盖或侧盖，以避免槽液溅出。

7. 3生产中蚀刻段必需有中检人员。

8 相关测试

8.1蚀刻均匀性测试：

8.1.1方法一:

蚀刻基板法：取550*600mm铜厚1OZ基板3-5片,根据机台的咬蚀量与基板铜厚,抓取蚀刻速度,要求板子出来时约70%部分已蚀刻,见图:

<1> <2>

<3> <4>

判定:

图一、板面上留下来的铜均匀分布,则均匀性OK

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标签：蚀刻生产检查

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