超声波变幅杆的设计及修正
摘 要: 超声变幅杆是超声波振动系统中一个重要的组成部分。本文结合超声变幅杆理论对设计变幅杆进行结果分析及参数修正,采用ANSYS 12.1对变幅杆进行了有限元模态分析，在此基础上，设计并加工了一个应用于超声显微切割系统中的、谐振频率为70 kHz的半波长圆锥型变幅杆，和用于超声波近场悬浮的、谐振频率是20kHz的阶梯型变幅杆，并进行了相关实验。实验结果表明，利用ANSYS软件辅助设计方法得到的超声变幅杆，其谐振频率与模态分析值非常接近，修正理论也可以让变幅杆谐振频率更加接近设计值，为超声变幅杆的设计、校核和优化提供了一种新途径。
关键词:变幅杆;有限元;模态分析
Design and Revi of Ultrasonic horn
Abstract：Ultrasonic horns apply widely in ultrasonic processing. Combined with ultrasonic horn theory, correct the ultrasonic horn by formula, analysis the modal of horn by ANSYS 12.1, on this basis, design a half-wavelength conical horn which resonant frequency is 60k
Hz, ud by a ultrasonic micro disction system, and a 怎么了用英语怎么说stepped ultrasonic horn which resonant frequency is 20kHz, ud by a near-field acoustic levitation system, then make the related experiment. The results show that the resonant frequency of the ultrasonic horn designed by ANSYS is approaching the theory value, the correction coefficient also can make the resonant frequency approach the theory value, that provides a new way to design, checking or optimization.
Key word: Ultrasonic horn; Finite element; Modal analysis
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引 言
超声变幅杆是超声振动系统的重要组成部件，它在振动系统中的主要作用是把机械振动的质点位移量或运动速度放大，并将超声能量集中在较小的面积上[1]。在高强度超声应用中，如超声加工、超声焊接、超声切割、超声波悬浮等场合，所需要的振幅大约为几十至几百微米，但是超声换能器辐射面所产生的振动幅度较小，一般只有几微米，所以必须借
助变幅杆将机械振动质点的位移或速度放大至满足工程应用要求。目前，有关超声变幅杆的设计，国内外主要采用传统解析法、等效电路法与替代法等，但是这些方法普遍存在计算量大而且设计精度不高的缺陷。运用有限元分析软件ANSYS，可以有效地解决传统设计方法中存在的不足[2]。因此，运用ANSYS，通过对超声变幅杆进行模态分析和参数优化，可以大大提高设计效率和精度。本研究结合ANSYS软件，设计一个在超声显微切割系统应用的、谐振频率为60 kHz的半波长圆锥型变幅杆和超声波悬浮中应用的谐振频率为20kHz圆柱型变幅杆。
1 超声变幅杆的理论分析与设计
1.1 变截面杆纵向振动的理论分析
物体在弹性介质中发生振动时会引起介质的振动。在研究振动波时，假设把弹性介质分成若干层，每一层看作是由许多彼此紧密相连的质点组成，一旦介质中的某个质点受到某种扰动，此质点便产生偏离其平衡位置的运动[3]，由于介质各点之间存在着弹性的联系，这一运动势必推动与其相邻的质点也开始运动，这样，物体的振动就在弹性介质中传播出去，这种物体的振动在弹性介质中的传播被称为波动。以质点和简单机械振动系统的振动
及超声波的传播原理为理论基础，建立数学模型，根据牛顿定理可以确定变截面杆纵向振动的波动方程。
为了便于研究，设定理想状态，假定变截面杆是由均匀、各向同性材料所构成的，略去机械损耗，当杆的横截面尺寸远小于波长时，可以认定，平面纵波沿杆轴向传播，在杆的横截面上应力分布是均匀的[4]。
图1 变截面杆纵向振动
任一变横截面杆（如图1所示），其对称轴为X轴，作用在任意的一小体积元上的张应力为，根据牛顿定律可以得出动力学方程：牛奶上火
(1)
为变幅杆纵向振动位移，为面积函数，为波数，为材料的密度。为应力函数，，E是杨氏模量。
按照经典的一维变截面细杆纵振理论，假定变幅杆是由密度均匀且各向同性的材料制成，不计机械损耗，在杆的横截面上应力分布均匀且平面波沿轴向传播，此时平面波的传播方程为：
(2)
为圆波数，是圆频率，是纵波在细杆中的传播速度， [5]。
1.2圆锥型变幅杆的设计
1.2.1变幅杆的理论分析
变幅杆各性能参数是根据纵向振动的波动方程、杆的面积函数及边界条件推导出的公式确定的，如图2所示。
图2 圆锥型变幅杆结构图
以变幅杆的纵向为轴，为长度，为截面面积，设坐标原点=0处的横截面积为，处的横截面积为；作用在，上的力及位移分别为、和、，两端自由的时候，边界条件为：
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(4)
根据边界条件可以得到变幅杆的谐振长度：
(5)
这就是变幅杆的设计长都都是半波长的原因[6]。
1.2.2变幅杆谐振频率修正
假设变幅杆纵振时沿轴线方向上的位移为，则应变为，纵振速度为。根据瑞利近似理论[9]，横向应变为 (为泊松比)，横向位移为 (为半径)，横向振动速度为。变幅杆上任意一个微分单元的质量为，故沿轴向方向的纵向振动动能和沿径向方向的横向振动动能分别为：
(6)
(7)
忽略横向振动后的系统总动能降低，等效质量减小，因为，故变幅杆计算出的谐振频率比实际谐振频率高[7]。增加横向振动后的纵振谐振频率与忽略横向振动时的频率比值为：
(8)
这里称为频率修正系数。为了让变幅杆实际频率与设计频率一致，需要对未考虑横向振动时英雄事迹的杆长进行修正，经修正后的杆长为：
(9)
对于圆柱杆，两端自由时，所以，故，于是圆柱杆的频率修正公式为：
(10)
对于常用的粗细两段等长阶梯型变幅杆，令粗细两段半径分别为R和r，质点的纵向振动速度分别为和。两端自由时，变幅杆两端应力为0，在的截面处力和位移连续，由这些边界条件可知，，所以，。计算阶梯型变幅杆的纵振动能和横振动能时，可以按照半径为R长度为l的等效圆柱杆来计算，只是在计算时，应加上阶梯面对变幅杆两端速度的影响。于是、分别为：
(11)
(12)
故阶梯型变幅杆频率修正公式为[8]：
(13)
1.2.3变幅杆的设计
分别为超声显微切割系统和超声波近场悬浮系统设计一个半波长的变幅杆，要求工作频率和，材料选用45号钢。
根据系统结构要求，设定圆锥型变幅杆的大端直径，小端直径，得到，可知纵波声速（在45号钢中），根据式（5）、式（6）和式（7）计算可得: ，。同时，考虑到其与外界的装配问题，在节面处增加了一厚度为4mm，外径为28mm的法兰盘，具体尺寸如图3所示。
图3圆锥型变幅杆
而对于设计频率是20kHz的近场悬浮变幅杆，型状是一个圆柱上面一个圆盘，可以把圆盘考虑成弯曲振动，这样设计的时候只需考虑圆柱杆。同上面的步骤，最后得到变幅杆尺寸为：长度，取大端直径，小端直径。如图4所示。
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图4 阶梯型变幅杆
2 超声变幅杆的有限元分析
根据圆锥型变幅杆的理论完成设计，并进行有限元分析。这里采用美国ANSYS公司设计开发的大型通用有限元分析软件ANSYS 12.1进行分析。
2.1 变幅杆模型的建立
用SolidWorks建立上述圆锥型变幅杆的三维结构模型。将设计尺寸输入，经处理后建立变幅杆完整的实体模型。然后将模型数据存储为x_t格式并通过数据交换将几何模型导入有限元软件ANSYS中。
2.2 定义材料特性
炎帝是神农氏吗 设计变幅杆所用材料如表1所示。
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