(MIC系列)气体质量流量计/控制器
使用手册
北京杰易斯科技有限公司
目录
1.用途和特点 (3)
2.主要技术指标 (4)
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3.结构工作原理 (5)
4.安装和接线 (7)
5.使用方法和操作步骤 (12)
6.注意事项 (14)
7.气体质量流量转换系数 (15)
8.保证、保修与服务 (18)
气体质量流量控制器/流量计技术说明书
1、用途和特点
气体质量流量控制器（Mass Flow Controller）/气体质量流量计(Mass Flow Meter)可以对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。
对产品性能和生产工艺的不断改进，质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等（可以使用在高压及真空系统）特点。操作使用方便，可任意位置安装，配合流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用，也可直接同计算机实现RS-232各和RS-485连接，非常方便的实现自动控制。它也可以作为气体质量流量计使用。
注意：
本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。
质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
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质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);
SLM(标准升/分)
标准状态规定为：温度---273.15K(0℃);
气压—-101325Pa(760mm Hg)
F.S(Full Scale)：满量程值
2、主要技术指标:
个人税收基本型号MIC20
满量程流量范围(N2)SCCM0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM0～1,2,3,5,10,15,20,30
精度(％F.S)±1(≤15SLM)±2(＞15SLM)
控制阀动作型式常闭式
线性(％F.S.)±1(≤15SLM)±2(＞15SLM)
重复精度(％F.S.)±0.2
响应时间(c)≤1
流量输出信号0-+5V
流量设定信号0-+5V
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电器接头DB15pin(接头)
工作环境温度(℃)5～45
工作压差(MPa)0.05～0.5
漏率SCCSHe1×10-8
最大耐压3MPa
介质接触材质316L不锈钢和密封材料
密封材料氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯，金属密封
接头尺寸
VCR1/4”
Swagelok1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
台湾旅游景点电源要求+15V,50mA;-15V,200mA 重量 1.2KG
3.结构工作原理
图一气体质量流量控制器的工作原理
气体质量流量控制器由传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。
本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。
采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器在主通道和毛细管间产生层流，用以扩大通过流量控制器的流量。
控制器输出的流量以电压形式输出，满量程为5.00V。
控制器一般可以与计算机或与之相兼容的流量显示仪连接。
气体质量流量控制器直接与计算机连接，则需要用户另行提供电源和A/D,D/A转换卡。
控制操作一般在流量显示仪上进行。在流量显示仪内设置有三位阀门控制开关，当置“关闭”位时，阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到最大，以便气路清洗，或作为流量计使用；当置于“阀控”时，则按设定电压的数值自动控制气体流量。（参考流量显示仪的使用说明书）
控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比，满量程(F.S)流量检测输出电压为+5.00V。质量流量控制器的流量控制范围是(2～100)%F.S（量程比为50:1），流量分辨率是0.1%F.S。
在气路中气源未开启的情况下，禁止使用清洗功能。用于“清洗”状态的时间不宜过长，否则将对流量控制器的性能产生影响.
4.安装和接线
4.1入口和出口气路接头，可以根据用户的不同需求，选用两种类型：喜怒不形于色
1.双卡套（Swagelok）；
2.VCR；
连接方法如图三，图四所示
寒露风
钢管
螺帽前卡套套接头
图二双卡套接头的连接方法
图三VCR接头的连接方法
注意:
按图3所示安装接管时，在装上前卡套、后卡套、螺母后，先用手将螺母与接头拧紧，再用扳手拧紧(国外进口的Swagelok接头要求用扳手旋转1.25圈拧紧)，以保证不漏气。注意应该使用双扳手操作，用一只扳手卡住接头不动，用另一只扳手旋转螺母。特别是在拆卸接管时必须使用双扳手操作，否则会引起接头松动，影响密封。
质量流量控制器与气路的连接，可以根据不同的要求，选用不同的管件，如金属管，硬质塑料管等等。
4.2质量流量控制器的接线与固定
气体质量流量控制器顶部安装有连接显示仪用的15针插头便于连接安装。其接线方法及接线定义如图四所示。
图四气体质量流量控制器的端子定义图
气体质量流量控制器底部设有两个螺纹孔，用于安装固定，如图五所示。
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