高纯水标准
沈阳光伏高纯水设备,沈阳多晶硅材料清洗用高纯水设备,沈阳触摸屏清洗纯水设备
1 主题内容与通用范围
本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水(以下称高纯水)的级别、技术要求、测试方法和规则。
本标准适用于去离子处理后的高纯水。
2 引用标准
GB11446电子级水及其检测方法
3术语
3．1 电导率electrical conductivityctricalconduc2ivity
在规定温度下，1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以μS/cm为单
位。
水的理论电导率为0.0548μs/cm(25℃时)。
3．2电阻率 resistivity
电导率之倒数。纯水的理论电阻率为18.3MΩ.cm(25℃时)。温度升高时电阻率下降。
3．3颗粒性物质granular sulbstance
除气体以外，以非液态形式分散在水中，并形成非均匀相混合物的物质。
3．4总有机碳(TOC)total organic carbon
水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被—般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊化的有机物。
3．5总固体 total solid
水样蒸发、烘干后残留的固总量。
3. 6全硅 total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。全硅和可溶性硅之差即叫为胶体硅。
3．7高纯水high-pure water, ultrapure water
电阻率在5MΩ•cm以上，各种形式存在的物质含量有一定规定限制的很纯净水
3．8原水raw watcr
纯化处理之前的水。常用的原水将自来水、井水、河水等。
3．9终端 terminal。
高纯水生产流程中经过各道冲化工艺后，水的出口使用地点。可分别称为制水终端和用水
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3．10微量micro-amount
试样量在1mg左右。
3．11 痕量 trace amount
试样量在1μg左右。
3．12百万分之一(ppm) part per million
重量比的量，相当于每百万重量的溶液中含一单位重量的溶质。在水质分析中，一殷也认为相当每升
水样含杂质的毫克数(mg／L)。
3．13十亿分之一(ppb)part per billion
重量比的单位，相当于每十亿重量单位重量的溶液中含一单位重量的溶质，在水质分折中，
一般认为相当于短升水样含杂质的微克数(μg／L)。
4高纯水的级别
4．1高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水，分别用符号EH和pH标志。
4. 2电子级高纯水
4．2．1在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点：
a．具有精细图形结构；
b．对器件表面有特殊要求；
c．工艺对水质有特定的严格要求。
4．2．2电子级高纯水分为两个级别：特级和I级。它们的标志分别是：
特级电子级高纯水：EH—T
一级电子级高纯水：EH—1
4．3普通高纯水
4．3．1普通高纯水用于一般电力半导体器件的制造工艺中。
4．3．2普双高纯水分为三个级别：Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级。它们的标志分别是：
I级普通高纯水：pH—Ⅰ
x级普通高纯水：PH—Ⅱ
m级普通高纯水：pH—Ⅲ
4. 4电阻率低于5MΩ•cm的水不能称为高纯水。
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5技术要求
5．1电子级高纯水
5．1．1电子级高纯水应考核四项内容：
a. 水中自由离子浓度(主要影响电阻率)；
b．水中悬浮微粒的数量和大小；
C. 水中有机物总量；
水中细菌微生物状况。
5. 1. 2电子级高纯水的各项技术指标由表1给出。
表l
指 标 级 别
EH— T EH-I
电阻率，MΩ•cm(25℃) 18 (90％时间）
最小17 16~18 (90％时间）
最小15
大于1μm微粒数.个／mL ＜1 1
大于0．5um微被数
(最大值)，个／mL 100 150
细菌个数，个／mL ＜1 1
总有机碳含量(最大值)，μg／L 50 100
全硅(最大值)，μg／L 2 10
氯含量(最大值)，μg／L 0.5 2
钾含量(最大值)，μg／L 0.2 1
钠含量(显大值)μg／L 0.2 1
钙含量(最大值)，μg／L 0.5 1
铝含量(最大值)，μg／L 0.5 1
铜含量(最大值)，μg／L 0.1 1
总可溶性固体含量(最大值)，μg／L 3 10
5．2普通高纯水
5．2．1普通高纯水主要考核其电阻率。
5．2．2普通高纯水的技术指标由表2给出。
表2
指 标 级 标
PH-Ⅰ PH-Ⅱ PH-Ⅲ
电阻率(25℃)，MΩ，cm 12-15 8~<12 5~<8
大于lμm的微粒数，个／mL <50
总有机碳含量，μg／L <500
6测试方法和检验规则
6．1电阻率测试方法
6．1．1用电导率仪测量高纯水电阻率时：
a．电导池常数选川0.1—0.01cm-1；
b．被测高纯水应处于密封流动状态，避免任何气体混入，流速不低于0．3m/s。
6．1．2在t℃时测得的电阻率值ρt，用下式换算成25℃的电阻率ρ25
ρ25=1/{αt(1/ρt-Gt)+0.05482}
式中：ρ25——２５℃时的电阻率ＭΩ.ＣＭ
ρt——t℃时的电阻率ＭΩ.ＣＭ
Gt——t℃时理论纯水的电导率μＳ／ＣＭ，其值见附录Ａ；
