硅微超微压传感器设计

维普资讯

第１０期

２００７年ｌ０月

文章编号：１００１—３９９７（２００７）１０－－００９３—０３

机械设计与制造 冬奥会精神

Ｍａｃｈｉｎｅｒｙ Ｄｅｓｉｇｎ＆Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ 一９３一

硅微超微压传感器设计

邱峰 季 霞

【－盐城工学院机械工程学院。盐城２２４００３）【 江苏大学机械工程学院。镇江２１２０１３）

Ｄｅｓｉｇｎ ｒｅｓｅａｒｃｈ ｏｆ ｓｉｌｉｃｏｎ ｕｌｔｒａ－ｌｏｗ－ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｓｅｎｓｏｒ

ＱＩＵ Ｆｅｎｇ ，ＪＩ Ｘｉａ２

（ Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｙａｎｃｈｅｎｇ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｆ ｏＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｙａｎｃｈｅｎｇ，Ｙａｎｃｈｅｎｇ ２２４００３，Ｃｈｉｎａ）

（ Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｍｅｃｈａｎｉｃ微信支付密码忘记了怎么找回 ａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ｊｉａｎｇｓｕ ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ Ｚｈｅｎｊｉａｎｇ，Ｚｈｅｎｊｉａｎｇ ２１２０１３，Ｃｈｉｎａ）

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Ｉ 【摘要】在分析已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点

ｔ和回顾它们微压化进展的基础上，确定了硅微超微压传感器（０～１００Ｐａ）的初步结构形式一电容式。

ｉ针对设计过程中存在的主要难点：超薄平整感压薄膜的制备、高真空压力参考腔的获得与维持、高真

ｔ空压力参考腔的电极引线以及微弱电容信号的提取，完成了两种差动结构方案的结构与工艺设计，

；对二者工艺和抗过载能力等方面进行了比较，为下一步的投片工作打下了基础。

ｊ 关键词：硅微超微压传感器；双差动结构；结构与工艺设计 ．

｝ 【Ａｂｓｔｒａｃｔ】Ｂａｓｅｄ ｏｎ ｔｈｅ ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆａｄｖａｎｔａｇｅｓ ａｎｄ ｄｉｓｄｖａａｎｔａｇｅｓ ｏｆｐｉｅｚｏｒｅｓｓｉｔｉｖｅ，ｃａ李玉刚哪里人 ｐａｃｉｔｉｖｅ ａｎｄ

ｉ ｒｅｓｏｎａｎｔ ｓｉｌｉｃｏｎ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｓｅｎ３ｏｒｓ ａｎｄ ｒｅｖｉｅｗ ｆｏ ｔｈｅｉｒ ｌｏｗ－ｐｒｅｓｓｕｒｅ－ｏｒｉｅｍａｔｉｏｎ ｒｅｓｅａｒｃｈ ｐｒｏｇｒｅｓｓｅｓ，ｃａｐａｃ－

ｔ ｉｔｉｖｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ Ｗａｓ ｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄ ｆｏｒ ｔｅ ｐｒｅｌｉｈｍｉｎａｒｙ ｓｔｒｕｃｔｕｒ中药麦冬 ｅ ｏｆ ｓｉｌｉｃｏｎ ｕｌｔｒａ－ｌｏｗ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｓｅｎｓｏｒ，ｗｈｏｓｅ

ｉ ｌｌ ｓｃａｌｅ ｏｕｔｐｕｔ ｉｓ ｌＯＯＰａ．Ａｉｍｉｎｇ ｏ２ ｔｅ ｄｉｈｆｆｗｕｌｔｉｅｓ ｏｆ ｅｓｉｄｇｎ：ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ ｏｆ ｕｌｔｒａ－波尔津吉斯身高 ｌｆａｔ ａｎｄ ｕｌｔｒａ－ｔｈｉｎ

｝ｄｉｐｈｒａａｇｍ，ｇａｉｎ ａｎｄ ｍａｉｎｔｅｎｏｚ￣ｅ ｏｆ ｈｉｇｈ ｖａｃｕｕｍ ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ ｃｈａｍｂｅ５ ｅｌｅｃｔｒｏｅｄ ｌｅａｄｆｒｏｍ ｈｉｇｈ ｖａｃｕｕｍ

；ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ ｃｈａｍｂｅｒ ａｎｄ ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ ｏｆｍｉｃｒｏ ｃａｐａｃｉｔｏｒ．Ａｌｌ ｔｅｓｅ儒林外史正面人物 ｗｏｒｈｋ ｌａｉｄ ａ ｓｏｌｉｄｆｏｕｎｄａｔｉｏｎｆｏｒ舭 一

Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ａｎｄ

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中图分类号：ＴＨ１２文献标识码：Ａ ’

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微机电系统（Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙａｅｍ，ＭＥＭＳ）技术起

步，各类硅微传感器获得了商业化的广泛应用。硅微压力传感器

源于硅微传感器的发展，最初用于生产硅微压阻式压力传感器 ， 是是商业化的硅微传感器的重要组成部分，在汽车工业、航天工

当ＭＥＭＳ技术迅速崛起之后，大大促进了硅微传感器技术进 业和医疗卫生、军事等各方面有着广泛应用，其其几十年的研

来稿１３期：２００６—１２—１９

究、发展和应用在某种程度上是ＭＥＭＳ发展的技术见证ｔ２１．主要

角型串接的高，为防止线圈过热。故装置宜采用三角型串接的

线圈接线方式。

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４结论

针对铁道部长春轨道客车股份有限公司生产的１５２７２６ＱＴ、

１５２７２４ＱＴ、４２７２统计学英语 ６ＱＴ、４２７２４ＱＴ轴承内环无损拆装问题，论文开

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发研制了工频感应拆装器，该装置具有可变径和自动定心功能，

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能够实现加热和拆装的一体化，在加热时间４ｏ秒钟左右，能使

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轴承内环直径均匀膨胀Ｏ．２ｍｍ，加热效率较高，能够满足过盈拆

装的要求。

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参考文献

上的应用．信息产品与节￣－Ｊ］．１９９９（２）．

２邓益中，姚玲珍．感应加热与导磁体的发展．国外金属热处理明．２００２（８）．

３王力群连相明等轴承无损拆卸方法．吉林大学学报（工学版Ｉ叨 ｏｏ３（１ ｏ）．

４严钟豪 ＃电量测试技术【Ｍ］．北京：机械工业出版社．２００１．

加热时间（ｓ）

图３轴承内环平均温升自信小故事 与加热时间的实验曲线

Ｆｉｇ．３ Ｔｈｅ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ ｃｕｒ ｖｅ ｏｆ ａｖｅｒａｇｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｉｓｅ ａｎｄ ｒｉｎｄｕｃｔｉｏｎ

ｈｅａｔｉｎｇｆｏｒｂｅａｒｉｎｇ ｒａｃｅ ｓｎａｐ