2023年4月19日发(作者：炉火纯青什么意思)（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）实用新童年的词语
型专利
（21）申请号 CN2.9
（22）申请日 2019.06.26
小岛屿
（71）申请人 盐城华昱光电技术有限公司
地址 224014 江苏省盐城市盐都区盐龙街道办事处纬八路与秦川路交汇处(D)
（10）申请公布号
CN210394500U
（43）申请公布日 2020.04.24
（72）发明人 李子考;凡永亮
（74）专利代理机构 北京华际知识产权代理有限公司
代理人 黎芳芳
（51）
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种集成电路加工用的真空蒸发设备
（57）摘要
本实用新型公开了一种集成电路加工用的
真空蒸发设备，包括腔室底座，所述腔室底座上
表面设置有蒸发腔室，所述蒸发腔室一侧四角设
置有滑动杆，所述滑动杆另一端连接有固定板，
所述滑动杆末端设置有螺母，所述蒸发腔室一侧
中间位置开设有腔室开孔，所述滑动杆外表面套
设有移动板，所述移动板底端一侧套设有螺纹滑
动杆，且移动板另一侧设置有蒸发源，所述螺纹
滑动杆的一端设置有转清廉文化手抄报
动齿轮。燃气安全知识
通过设置用于驱
动蒸发源进出蒸发腔室的电机组件，使蒸发源可
以从移动板一端进出蒸发腔室，便于蒸发源的使
用和维护，而且电机组件的增设，减少了人力支
出，大大降低了人工操作蒸发源的难度，尤其是
大体积大质量蒸发源的难度。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
奇葩说4
2020-04-24授权授权
权利要求权志龙星座
说明书
一种集成电路加工用的真空蒸发设备的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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