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月18日发(作者：代理商管理制度)（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN2.2
（22）申请日 2008.0葱油白蟹
7.04
（71）申请人 南茂科技股份有限公司
地址 中国台湾新竹科学工业园区新竹县研发一路一号
（10）申请公布号
CN101620375B
（43）申请公布日 2012.02.08
（72）发明人 傅文勇
（74）专利代理机构 上海专利商标事务所有限公司
代理人 任永武
（51）
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
修正凸块光掩膜图案的方法
（57）摘要
一种修正凸块光掩膜图案的方法，包
含：提供晶片，韭菜怎么做好吃
其主动面通讯员
上具有多个焊垫；
形成光致抗蚀剂层在晶片的主动面上；提供
具有第一图案的第一光掩膜层，在此，第一
光掩膜层的第一图案是用以限定出晶片上的
有效区域，且有效区域是对应于晶片的全部纯洁关系
区域；执行第一曝光工序，使得第一图案转
移到光致抗蚀剂层上；以具有第二图案的第
二光掩膜层取代具有第一图案的第一光掩膜
层，并执行第二曝光工序，使得第二图案转
移至光致抗蚀剂层上，在此，第二光掩膜层
的第二图案是用以限定晶片的部份区域，且
部份第二图案与部份第一图案重迭；及执行
一显影及蚀刻步骤，以移除第二图案与第一
图案的重迭部份，并曝露出在晶片上的有效
区域上的多个焊思修论文
垫以及移除在全部区域的无
效区域上的部份光致抗蚀剂层。
法律状面条鱼是什么鱼
态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
2010-01-06公开公开
2010-03-03实质审查的生效实质审查的生效
2012-02-08授权授权
权利要求说明书
修正凸块光掩膜图案的方法的权利要求说明书内容是....请下载中国邮政储蓄银行卡
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说明书
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