FM DATA SHEET 7-7 折叠扇子半导体制造厂相关设备（update）
※1.”Factory Mutual Rearch Approached”以下简称为”经FM核准”
※2.”Listed”代表经登录之产品
1.0范围
本篇损害防阻数据包含一般半导体制造流程及其危害。
2.1结构
2.1.1厂址选择
2.1.1.1洁净室及相关附属设备(如subfab，电力设施，废弃物设施，化学品设施等)应避免下列暴露：
a.避免来自洁净室区域内其它区域的暴露，在洁净室建筑的区域内应无其它用途之区域；
头寸调拨b.天灾(包括暴风、地层事故、寒冷天气、冰雹、洪水等)；
c.厂内或厂外的火源，包括邻近区域、外部建筑、闪电、大火等；
d.由管线或设备造成的液体危害，如排水系统或液体输送系统；
e.通风设备的进气入口附近是否有污染物。
2.1.1.2洁净室及及相关附属设备厂址的选择最好在具有高度的位置上，避免因涨潮或排水系统倒灌而造成地下层损失的可能。
2.1.2洁净室结构
2.1.2.1黑科技洁净室应与其它邻近地区隔开，或者对于原本的危害威胁有一小时的抵抗时间(1-hour rated~)，但介于洁净室与邻近区域之间的air shower(入口处)除外(应为不可燃材质)；有窗户的走廊或墙亦应为不可燃材质；当邻近区域的危害大于原有区域的危害时，邻近区域应安排于另一独立建筑。
2.1.2.2洁净室内部隔间的材质应为不可燃材质，并能避免烟(smoke)及熏烟(fume)等污染
物扩散，黄光区(photolithography)及邻近区域间、生产区之间、湿式蚀刻与邻近区域之间应由天花板到地板作完全区隔。
2.1.2.3装修楼地板及墙的材料应与洁净室一样，同为不可燃材质，或经FM核准或FM特殊测试合格，适用于洁净室的材质。
2.1.2.4设计洁净室与洁净室下层(subfab)的区隔楼板应为坚固的不可燃材料，其穿透处(penetration)应该以可耐火一小时经FM核准的防火填塞材料(fire stop materials)进行填塞。
2.1.2.5任何耐火墙之楼板穿透处应使用经FM核准的防火填塞材料进行填塞。
2.2.1.6应计划并每半年检查楼板穿透处的防火填塞情形，而所有隔间(板)也要检查，防火门应每年测试，MFL墙则每半年测试。
美好时刻 2.2.1.7使用于新设洁净室内的HEPA(High Efficiency Particulate Air，对于0.3 m以上的微粒有99.97%之去除效率)及UEPA(Ultra-high Efficiency Particulate Air，对于0.3 m以上的微粒有99.999%之去除效率)module应为经传字开头的成语FM核准。
2.2.1.8滤材(filter housing)、百叶窗与天花板应为不可燃材质或经FM核准或FM特殊测试合格者。
2.2.1.9洁净室屋顶的结构：
a.防火：如强化混凝土或钢骨结构。
b.不可燃材质：于钢骨结构上增加混凝土及钢板强化。
c.符合Class I（可燃性隔板用钢板保护）可燃性气体等级。而可燃性结构，包括石膏板(gypsum，具一小时耐火时效)并不建议使用。
2.1.2.10屋顶的材质应为FM核准，对于暴风、排水、冰雹、下雨及下雪等有保护能力。
2.1.2.11不属于洁净室内的设备及化学品区不可设置于洁净室上方(见2.5.17 Liquid damage exposure)。楼层应该有良好排水设施，防止水或污染物由楼板上方造成的液体泄漏，如HVAC设备之排水。
2.1.2.12空调风扇设备内用来封住声音的内衬材质应为不可燃材质或经FM核准/测试合格者。
2.1.2.13翁的四字词语在洁净室的管线及附件，应该将液体泄漏的灾害缩减到最小，例如循环系统(re-circulation air handlers)、排水管(drains)及其它管路。
2.1.2.14新设计的洁净室或进行改建的既存洁净室若有特殊危害暴露仍应考良其危害。一个完整的损害防阻计划应依据FM data sheet 1.0 Safeguards during construction alternation and demolition所述。
2.2设施
2.2.1洁净室的空调系统(air handling system)
2.2.1.1每个生产区(fabrication area)的回风系统(return air system)不应与建筑物的其它空调系统连接。
2.2.1.2进气设备(makeup air，以下简称OAC)的进气口应该避开污染源，以避免在洁净室内扩散，而且应避免与scrubber或排烟/污染物系统(smoke/contaminated control system，以下简称S/C)直接连通。当邻近区域的烟/熏烟而可能成为潜在污染源时，设计OAC系统应
考虑并计算之。
2.2.1.3a在OAC单元、回风单元(recirculating air handler unit，AHU)或空调设备中下游(downstream)应设置经FM核准之侦烟系统连续监测，并依据警报关闭AHU，以避免污染空气持续循环。
2.2.1.3b对于回风区filter，FM尚无可以认证及测试的标准及方法，目前只有UL900可供使用，因此有关filter的规格应符合UL900。
2.2.1.4回风路径应设置经FM认证之空气采样器及侦烟系统想把你写成一首歌(linear beam smoke detection system)，当生产区的S/C与空调系统为同一套，则这些侦测器应可与节气阀(damper)连锁，并可依据警报切断循环空气，进而转向排出洁净室，侦测器应进行连续监测。
2.2.1.5 OAC风扇的紧急手动开关应设置于洁净室外。
2.2.1.6于循环空气系统及洁净室filter间(ie. Elephant trunks)之空调进气的导管应为金属材质。
2.2.1.7每个空调风扇或零件应该至少安装一套备品(n+1)，包括建筑物的OAC，垂直层流风扇(vertical laminar flow，VLF)，及不同的排气系统(scrubbed sys.，general sys.，VOC sys.，calamity exhaust等我最敬佩的人300字作文)。
