abrupt junction：突变结；
Accumulation ：积累
Aging：老化
alignment：校准
Anneal：退火安土重迁的意思
avalanche breakdown：雪崩击穿硅胶奶瓶
back-gate：背栅
ballistic transport：弹道输运；
body Effect：体效应，衬底偏置效应，衬偏效应
Bonding：键合
breakdown：击穿
Buried channels：埋沟
cat’s whisker detector：触须式检波器
channel length modulation：沟道长度调制；
chip: 芯片
computer-aided design (CAD)：计算机辅助设计
CVD (chemical vapor deposition) ：化学气相淀积
Dangling bond: 悬挂键
dangling silicon bond ：悬挂键；
deep submicrometer：深亚微米；
degradation：退化；
Degrade：退化
dehydration：脱水
Depletion-mode： 耗尽型器件
deposited uniformly：均匀淀积
deposited uniformly：均匀淀积；
development：显影
DIBL (drain-induced barrier lowering)：漏至势垒降低效应；
die: 裸片
dielectric constant：介电常数
dielectric constant：介电常数；
Dielectric：电介质
Diffusion：扩散
DMOS (double-diffud MOS) ：双扩散MOS
dopant：掺杂剂
doping fluctuations：掺杂工艺的波动
概不赊账Drain：漏（区）
Electrode：电极
Electron affinity ：电子亲和能
electron beam lithographic：电子束光刻
Energy-bands： 能带图
Enhancement-mode：增强型
EOT（equivalent oxide thickness）：等效氧化层厚度；
epitaxial：外延；
epitaxially grown 外延生长；
etch stencil ：刻蚀模板
etch：刻蚀
Field oxide ：场氧化层
Field oxide：场氧化层
Flat-Band Voltage ：平带电压
Flat-Band Voltage 平带电压
floating body：体区浮置
gate dielectric：栅介质
gate stack：栅叠层
GIDL (gate-induced drain leakage)：栅感应漏电效应；
gradual-channel approximation：渐近沟道近似
Hot Carriers Effect：热载流子效应
hot-carrier effects: 热载流子效应；
impact ionization：碰撞电离；
induced electric field：感生电场
立等Interconnection：互联
interface state：表面态；
interface states：界面态
intrinsic Fermi level：本征费米能级
inversion layer：反型层
Ion Implantation：离子注入
kinetic energy：动能；
latch-up ： 闩锁；
latch-up：闩锁
lattice vibration：晶格振动；
LDD（lightly doped drain）：轻掺杂漏；
leakage current：泄漏电流
lithographic mask：光刻版；
LOCOS（Local Oxidation of Silicon）：硅的局部氧化
Mask：掩模
Metallization：金属化
Metallurgical junction：冶金结
momentum：动量；
MOSFET (Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)：场效应晶体管
nano-scale：纳米级；
nonvolatile devices：非挥发性器件
nonvolatile devices：非挥发性器件
oxidation furnace ：氧化炉
Oxidation：氧化
oxide charges：氧化层电荷
Pattern: 样式，图形，集成电路设计中指版图
phonons：声子；
photolithography：光刻
Photomasks：光学掩模
photoresist strip：剥离光刻胶
Photoresist：光刻胶，光致抗蚀剂
Pinched-off ：夹断
planar technology：平面工艺
plasma etch ：等离子刻蚀
Plasma：等离子
Polysilicon：多晶硅
Process ：工艺（过程）
punch-through : 穿通
PVD (physical vapor deposition)：金属物理气相淀积
quantum confinement effect：量子限制效应；
retrograde channel doping profile：
retrograde channel doping profile：具有逆向（峰值不在表面处的）沟道掺杂分布
salicide：自对准金属硅化物工艺
scaling limit：按比例缩小的极限
lf-aligned：自对准
SEM：扫瞄式电子显微镜（scanning electron microscope）
ries resistance：串联电阻
sheet-resistance：薄层电阻，方块电阻
short-channel effects：短沟道效应；
short-channel effects：短沟效应
silicide：金属硅化物
SIMOX (paration by implantation of oxygen）：注氧隔离
single-crystal ingot：单晶锭
single-crystalline silicon：单晶硅；
SOI ( Silicon On Insulator):绝缘层上的硅
Source：源（区）
space charge region：空间电荷区
Spacer：侧墙
Specification : 规格，规范
Sputtering：溅射
stepper : 专用步进曝光机
Substrate ：衬底
Subthreshold ：亚阈值
subthreshold swing：亚阈摆幅
subthreshold swing：亚阈值摆动；
Surface scattering ： 表面散射
Technology ：技术，工艺
thermal equilibrium：热平衡
thermal oxidation process：热氧化工艺轻功怎么练
Threshold voltage：阈值电压
tunnel：遂穿
ULSI：甚大规模集成电路
ultraviolet light: 紫外光
Vacuum level ：真空能级
vertical furnace ： 井式炉
VLSI：超大规模集成电路
Volume charge：体电荷
wafer：晶片
Work function ：功函数
abrupt junction：突变结；
Accumulation ：积累
Aging：老化
alignment：校准
Anneal：退火
avalanche breakdown：雪崩击穿
back-gate：背栅
ballistic transport：弹道输运；
body Effect：体效应，衬底偏置效应，衬偏效应
Bonding：键合
breakdown：击穿
Buried channels：埋沟
cat’s whisker detector：触须式检波器
channel length modulation：沟道长度调制；
chip: 芯片
十寸有多大
computer-aided design (CAD)：计算机辅助设计
CVD (chemical vapor deposition) ：化学气相淀积
Dangling bond: 悬挂键
dangling silicon bond ：悬挂键；
deep submicrometer：深亚微米；
degradation：退化；海的女儿的故事
Degrade：退化
dehydration：脱水
Depletion-mode： 耗尽型器件
deposited uniformly：均匀淀积
deposited uniformly：均匀淀积；
development：显影
DIBL (drain-induced barrier lowering)：漏至势垒降低效应；
die: 裸片
dielectric constant：介电常数
dielectric constant：介电常数；
Dielectric：电介质
Diffusion：扩散
DMOS (double-diffud MOS) ：双扩散MOS
dopant：掺杂剂
doping fluctuations：掺杂工艺的波动
蒜蓉娃娃菜的做法Drain：漏（区）
Electrode：电极
Electron affinity ：电子亲和能
electron beam lithographic：电子束光刻
Energy-bands： 能带图
Enhancement-mode：增强型
EOT（equivalent oxide thickness）：等效氧化层厚度；
epitaxial：外延；
epitaxially grown 外延生长；
etch stencil ：刻蚀模板
etch：刻蚀
Field oxide ：场氧化层
Field oxide：场氧化层
Flat-Band Voltage ：平带电压
Flat-Band Voltage 平带电压
floating body：体区浮置
gate dielectric：栅介质
