微纳制造技术——图型复制法

更新时间:2023-05-20 04:53:11 阅读: 评论:0

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纳米结构成形的重要意义•纳米结构成形或纳米图形化(Nano-patterning)–属纳米制造的重要工艺
•“自上而下”纳米结构成形方法
小菜一碟英文
光学投影光刻EBL
kiss是什么词
FIB SPL(Scanning Probe lithography)
polis•自组装/自生长过程被引入纳米结构成形A B
句子翻译
•模板诱导与自组装/
自生长的结合
1) 模板结构2) BCP 涂铺3) BCP 微相分离
化学异质模板诱导
yku物理异质模板诱导M. P. Stoykovich, Science, 2005
home freeC. A. Ross, Nano. Lett, 2006
•纳米转印(Nano-printing):经济、高效、高分辨率–四种主要方法:
中国研究生网上报名系统
方法2:激光熔融直接压印(S.Chou,2002)截稿日期
方法1:微接触转印(G.M.Whitesides, 1994)
方法3:热压印(S.Chou,1994) 十多年的研究成果:衍生了众多工艺变种(加载方式、模板、成形材料、流变控制方式的改变)方法4:紫外光固化纳米压印UV-NIL (S.V.Sreenivasan ,2000
) 基底
升温加压consolidation
冷却脱模
压印图形模具
接近基底
下压曝光脱模
压印图形
模具接近

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