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离子交换双氧水与普通工艺的差异
、绪论
1.超纯试剂的应用
超净高纯试剂（国外常称为湿化学品 wet chemicals 圣诞老人 英语或工 艺化学品 process -chemicals ），是集成电路（ IC ）和超大规 模（VLSI ）制作过程中关键性基础化工材料之一，主要用于芯片 的精洗和腐蚀，具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期 短、强腐蚀性等特点。它的纯度和洁净度对集成电路和成品率、 电性能及可靠性都有十分重要的影响。 它基于微电子技术发展而 发展，同时又制约微电子技术发展。因此，电子专用超净高纯化 学试剂的研究和开发同微电子技术的发展紧密相联。
2.我国超纯试剂的发展现状
imagine十五”期间国内集成电路用超纯试剂的需求量接近 1 万
吨，而国内生产企业实际能提供的量仅 10%。据有关方面预测到 2014年中国市场需求量将达到 30〜50万吨/年化学试剂。其中，
国内通用型试剂市场今后的年增长率仍将维持在 5%〜 英语国庆节手抄报8%左右，耐心的意思
电子化学品市场预计超过 80 亿美元。虽然我国电子化学品产业 通过近几年技术改造和结构调整， 已经具备一定基础， 但与飞速 发展的信息产业相比， 还存在产品品种少， 尤其是高品质产品较 少等不足。
因此基于电子产业迅猛发展， 而国产高纯试剂严重短缺的现
状，我厂投入大量人力物力， 选择在半导体工业中的消耗比例最 大的过氧化氢进行研制，并取得一定成果。
3.过氧化氢的性质
过氧化氢又名双氧水，分子式为 H2O2分子量为34.016 , 是一种无色、无嗅、呈弱酸性的透明液体，可与水以任意比例互 溶，形成不同浓度的双氧水溶液，在无水的状态下，双氧水是一 种无色、有苦味的液体，并且带有类似臭氧的气味。双氧水的化 学性质活泼， 是一种强氧化剂， 由于双氧水在参加化学反应的过 程中仅生成水和活性氧， 因此双氧水具有无二次污染的特点， 被 称为“绿色化学品”。 在纺织、 造纸、化工、轻工、医药、电子
、 食品、环保等领域应用广泛。随着对环保要求的日益提高，双氧 水的需求量及应用范围也在日益扩大， 并在一些领域中逐步取代 了对境有严重污染的化学品。
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4.高纯过氧化氢的用途
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高纯双氧水是电子工业发展不可缺少的无机精细化学品， 用其做作硅片的清洗和光刻胶的剥离， 也可用其作硅芯片和集成 电路组件等的清洗剂， 以制成优质的绝缘层。 我国目前已成为全 球第二大集成电路市场， 集成电路对液体化学品的质量要求极为 苛刻，只有高纯双氧水才能够满足需要。 双氧水在电子工业的应
用上分为一般电子级双氧水、 MO歐双氧水和超高纯度双氧水等
口，但电子工业的快速发展将使这方面的需求越来越大。目前，
至高无上英文国内电子工业双氧水消费量约为 18000t/a 勋章英文左右。随着世界制造
