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键合工艺参数指导

更新时间:2023-07-19 22:40:57 阅读：评论：0

键合人员工艺参数培训

　――基础篇

（软件版本9-28-2-32b）

genss一、键合过程控制参数

1.1、1stBond和2ndbond参数

1.2、Loop参数

1.3、Ball参数

1.4、Bits参数

二、走带控制参数

2.1、W/H参数

2.2、ELEV参数

图一

一、键合过程参数

1.1.1FirstBondParameters

被增长新视野大学英语听说教程3你好吗的英文怎么写

Parameter	Default/ AllowableRange	Function
Tip1	Default=5mils Min=0mil Max=25mils	劈刀从高速运行到芯片表面一段高度后会由高速变为低速，TIP就是这个高度。 TIPOFFSET/TIPHEIGHT
CV1	Default=0.5mils/ms Min=0.2mils/ms Max=3.0mils/ms	- 在TIP范围内的速度。
Parameter	Default/ AllowableRange	Function
USGMode1	Default=C.Current Min=C.Power Max=C.Voltage	- 超声模式 - C.P:调整功率constantpower　改变超声 - C.C:调整功率constantcurrent改变超声（最佳） - C.V:调整功率constantvoltage改变超声
USGPower1	Default=400mW Min=0mW Max=4000mW
USGVolts1	Default=3500mV Min=0mV Max=16000mV
USGCurrent1	Default=80mA Min=0mA Max=250mA	通过调整电流值改变超声大小，建议使用。
Parameter	Default/ AllowableRange	Function
USGBondTime1	Default=7ms Min=0ms Max=3980ms	erasmus 1ST压焊时间
Force1	Default=35grams Min=0grams Max=350grams	英文mp31ST的压力
Parameter	Default/ AllowableRange	Function
微粒子 USGPre-Delay1	Default=0ms Min=0ms Max=10ms	压力开始到超声开始的延时时间，主要针对压得不十分理想的。
LiftUSGRatio	Default=0% Min=0% Max=100%	劈刀离开金球时的超声，这是一个比例值，有助于金球焊接的稳定和牢固。本功能主要对finepitch类20％-40％
Parameter	Default/ AllowableRange	Function
USGPre-BleedRatio	Default=0% Min=0% Max=100%	超声波前置输出比例，此超声在TIP高度范围内起作用
EqualizationFactor	Default=100% Min=0% Max=200%
USGProfile1	Default=Ramp Min=Ramp Max=Burst	超声输出模式共有三种 1、梯形波形Rampup/down 2、方波Square 3、凸形Burst
Parameter 摩挲	Default/ AllowableRange	Function
RampUpTime1	Default=10% Min=0% Max=75%
RampDownTime1	Default=0% Min=0% Max=25%
BurstTime1	Default=1.5ms Min=1.5ms Max=3.0ms
BurstLevel1	Default=125% Min=100% Max=200%
CONTACTDETECTMODE		设定劈刀检测接触表面的方式 VMode是以Z轴的下降速度来检测的 PMode是以Z轴下降的位置来检测的
Parameter	Default/ AllowableRange	Function
ContactThreshold1	Default=70% Min=10% Max=90%	接触灵敏度，就是焊头下降过程中检测到芯片和框架的灵敏度,其实是一个比例值。例如：但ＣＶ＝１.0mils/s时，70％就是表示伺服系统知道已经接触到被压焊表面时的速度为0.3mils/s
ForceProfiling1	Default=off Min=off Max=on	第一点压力输出波形控制，是开关功能，打开后以下三项将会起作用 Initialforce Iniltialforcetime Forceramptime
Parameter	Default/ AllowableRange	Function
InitialForce1	Default=65grams Min=0grams Max=350grams	第一点压力应用前，在检测到劈刀碰到表面时就开始应用
InitialForceTime1	Default=33% Min=5% Max=100%	第一点初始压力的作用时间，是比值单位，是以bondtime为基准的比值
ForceRampTime1	Default=10% Min=0% ribbons Max=100%
XScrub	Default=0microns Min=0microns Max=10microns	Table的高频震动，正常的超声输出将在研磨完成后才输出，一般不建议使用
YScrub	Default=0microns Min=0microns Max=10microns
ScrubCycle	Default=2 Min=0 Max=10	一个micron相当与2.4ms
Parameter	Default/ AllowableRange	Function
ScrubPha	Default=90deg Min=0deg Max=180deg
LifeThrottle	Default=100% Min=1% Max=100%	焊头脱离挤压金球开始往上升到第一个转折点（ｋinkheight）起动速度的大小。
SeatingUSG		安置超声波，在劈刀下降过程中的一个超声的能量输出，目的是协助金球落在劈刀中心，参考值为：50-100mA
		安置超声波，在劈刀下降过程中的一个超声的能量输出，目的是协助金球落在劈刀中心，参考值为：50-100mA

1.1.2SecondBondParameters

Parameter		Default/ AllowableRange	Function
Tip2		Default=2mils Min=0mils Max=25mils
CV2		Default=1mils/ms Min=0.2mils/ms Max=3.0mils/ms
Parameter		Default/ AllowableRange	Function
USGMode2		Default=C.Current Min=C.Power Max=C.Voltage
USGPower2		Default=400mW Min=0mW Max=4000mW
USGVolts2		Default=7000mV Min=0mV Max=16000mV
Parameter		Default/ AllowableRange	Function
USGCurrent2		Default=100mA Min=0mA Max=250mA
USGBondTime2		Default=7ms Min=0ms Max=3980ms
Force2		Default=85grams Min=0grams Max=350grams
Parameter		Default/ AllowableRange	Function
PowerEquPF(USGpowerfactor)		Default=100% Min=0% Max=200%	超声输出的X方向的平衡补偿
ForceEquFF(bondforcefactor)		Default=100% Min=0% Max=200%	压力输出的X方向的平衡补偿
Z-Tear State		Default=Off Min=Off Max=On
Z-TearUSG		Default=0mA Min=0mA Max=250mA	第二点扯线时的超声输出，
Z-TearSpeed		Default=100% Min=40% Max=100%	扯线速度
Parameter		Default/ AllowableRange	Function
CapOfft		Default=0mils Min=-20mils Max=20mils	第二点的劈刀偏移量
USGProfile2		Default=Ramp Min=Ramp Max=Burst
RampUpTime2		Default=10% Min=0% Max=75%
RampDownTime2		Default=0% Min=0% Max=25%
Parameter		Default/ AllowableRange	Function
BurstTime2		Default=1.5ms Min=1.5ms Max=3.0ms
BurstLevel2		Default=125% Min=100% Max=200%
USGPre-Delay2		Default=0ms Min=0ms Max=10ms
ContactThreshold2		Default=70% Min=10% Max=90%
ForceProfiling2		Default=off Min=off Max=on
InitialForce2		Default=115grams Min=0grams Max=350grams
InitialForceTime2		Default=33% Min=5% Max=100%
ForceRampTime2		Default=10% Min=0% finish是什么意思Max=100%

Parameter	Default/ AllowableRange		Function
TAILMODE(OFF,Z-XYorXYZ)	减弱第二点的鱼尾线撕裂，线弧飘或者发生，在其它参数调整最佳之后的调整项会影响UPH		OFF正常只有z轴上升的动作 Z-XY指z轴先上升到达线尾高度时xy轴再移动 XYZ指XYZ轴同时移动与上升
XYDISTANCE(milS)			指沿着线的方向扯线的移动距离，正是往第一点方向靠近，负是远离第点方向
SCRUBPHASEMODE	研磨生物相位的模式，决定研磨的方向		0(VAY)使用设定相位来调整 1（CIRCLE）对所有的金线都呈现圆形化的研磨 2（INLINE）延线的方向研磨
2ndscrubmode	第二点研磨开始的时机		WithUSG研磨是与超声输出同时开始的 PreUSG研磨是在超声输出前已经开始
2ndXYSCRUB（micron）			第二点是以微米为单位的平台研磨幅度
2ndSCRUBCYCLES			研磨的次数
2ndSCRUBPHASE			0degrees与所有的线弧成垂直研磨 90degrees对正交的垂直研磨，其它的圆形研磨 180degrees对正交的垂直研磨，其它的沿线的方向研磨
TAILXYSCRUB			尾丝是以微米为单位的平台研磨幅度
TAILSCRUBPHASE			0与线的方向一致 1与线的方向正交垂直 2圆形的
TAILSCRUBCYCLES			研磨次数
TAILSCRUBFREQUENCY(Hz)			研磨频率
TAILSCRUBMODE(0OR1)			0研磨并没有接触焊点表面TailScrubheight定义高度 1研磨时接触焊点表面
TAILSCRUBOFFSET			根据送线方向的一个补偿距离，新的位置是研磨的新坐标点
TAILSCRUBUSG			研磨时的次数输出量，以第二点的％来计算
TAILSCRUBFORCE			当研磨与表面接触时，与研磨同时作用的压力的大小
TAILSCRUBHEIGHT			非接触研磨时的的研磨高度

1.2LoopingParameters

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