厦门大学学位论文原创性声明英语四级查成绩
本人呈交的学位论文是本人在导师指导下，独立完成的研究成果。本人在论文写作中参考其他个人或集体已经发表的研究成果，均在文中以适当方式明确标明，并符合法律规范和《厦门大学研究生学术活动规范（试行）》。
另外，该学位论文为（）课题（组）的研究成果，获得（）课题（组）经费或实验室的资助，在（）实验室完成。（请在以上括号内填写课题或课题组负责人或实验室名称，未有此项声明内容的，可以不作特别声明。）
声明人（签名）：伽寅·姘
加｝弓年６月ｇ日
元旦祝福语英文
sotired>英语翻译网摘要
纠合之众绝缘层上锗（Ｇｅｒｍａｎｉｕｍ—ｏｎ．Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ，ＧＯＩ）由于结合了Ｇｅ材料及Ｓ０１材料各自的优点，是近年来兴起的、极具吸引力的ｓｉ基新型材料。ＧＯＩ材料不仅具有高的电子和空穴迁移率，在通信波段有较高吸收系数，同时能够很好地解决体Ｇｅ材料在器件中的不足，从而在微电子和光电集成方面具有广阔的应用前景。基于ＧＯＩ材料的波导型探测器，由于集合了ＧＯＩ的优良特性及波导型结构的优势，能够同时实现高量子效率和高带宽，从而有效提高探测器性能。因此，开展ＧＯＩ材料的制备及Ｇｅ波导型探测器的研制工作具有重要的意义。本文利用智能剥离技术结合键合方法制各了ＧＯＩ材料，研究其材料特性，并开展了Ｓｉ基Ｇｅ波导型探测器关键制备工艺的研究，论文的主要内容及创新点如下：
fossilfuel１、利用ＲＳｏｔｔ软件对不同结构的Ｇｅ波导型探测器进行模拟优化。模拟结果表明，端面耦合结构可以有效地缩短探测器的吸收长度．但所需ＳＯｔ波导截面面积小，光纤与波导的耦合损耗较为严重；基于实验室工艺条件，我们设计了混合型耦合结构的Ｇｅ波导探测器，在考虑光纤与波导耦合损耗的情况下，当Ｇｅ层厚度为０．９９ｕｍ，器件长度为１００ｕｍ时可吸收８０％的光，理论带宽为２５ＧＩ－／ｚ。
２、系统研究了氢离子注入功率密度对Ｇｅ晶格应变、内部徽结构变化及剥离质量的影响。发现当注
benchmark什么意思
lol是什么意思入功率密度较小时，Ｇｅ晶格存在应变，得到了应变随深度的分布，该分布与Ｈ离子在Ｇｅ中的浓度有着密切的关系：随着注入功率密度变大，由于注入过程的自加热效应显著，使得由氢离子注入引起的应变逐渐弛豫，晶体内部出现马赛克结构，而且注入区的Ｈ小平面也已扩展成为ｌｌａｎｏ裂纹，甚至微腔，这些都将导致注入样品在退火后无法成功实现剥离。
３、优化了Ｇｅ片注Ｈ后的剥离温度。当退火温度为４００～５００ｏＣ时，注入样品能够实现完整剥离，而温度过高时，则会出现局部剥离的表面形貌；对此，我们提出了厚Ｇｅ薄膜在不同热处理条件下的剥离模型，在较低温度下退火，裂纹易于沿横向传播，当温度过高，Ｈ离子的扩散加剧，促使裂纹在竖直方向上扩展，从而形成气泡和局部脱落的表面形貌。
好听英文网名４、系统研究ＴＧｅ与Ｓｉ０２／Ｓｉ材料的键合机理，并结合智能剥离技术制备了ＧＯＩ材料，研究ＴＧＯＩ的材料性质。对键合前样品的表面处理、键合温度及键合过程
的意思
