一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置及卷绕镀膜设备的制作方法
1.本技术属于镀膜设备技术领域，具体涉及一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置及卷绕镀膜设备。
背景技术：
2.真空卷绕镀膜技术，是在真空室内通过磁控溅射技术等方法在卷装基材表面制备一层或者多层功能性薄膜的技术，可以应用于电磁屏蔽膜、柔性电路板、光学膜、柔性光电产品等诸多领域中。目前，市面上常见的真空磁控溅射装置普遍应用于单面镀膜，真正可量化生产的双面连续化镀膜装置并不多见。
3.近年来，随着柔性光电产品的市场需求不断扩大，尤其对复杂膜系结构产品，双面镀膜产品的需求成不断扩大趋势。卷绕式真空磁控溅射双面连续镀膜，是在真空条件下，应用磁控溅射方法在柔性基材上实现双面连续镀膜的一种技术。真空磁控溅射双面镀膜的涉及范围较广，过程较复杂；为了保证镀膜产品的高质量、高成品率，关键在于镀膜过程中如何保持张力的稳定性；此外，还需要保持镀膜设备连续不间断工作特性所需要的高设备可靠性和高稳定性。基于此，为完成上述关键点，需要具有满足双面镀膜卷绕装置的结构，这就要求真空镀膜卷绕装置的结构设计布局合理，满足卷绕张力控制的精度、稳定性，双面磁控溅射源布局合理等要求。
4.相关技术中的一些卷绕式真空镀膜设备的工艺参数繁琐、工艺重复性差、操作难度高造成最终的产品质量不稳定、设备故障率高。其卷绕装置大多包括放卷、镀膜辊、收卷三部分，结构单一，不能在一个工作周期内实现双面镀膜。另外，现有的一些卷绕装置，基材在辊与辊之间拉伸张开时易造成横向张力不均匀，使基材表面发生褶皱、凹凸不平，进而造成镀膜厚度不均匀、质量差，导致产品的良率降低。
技术实现要素：
5.鉴于存在的上述问题，本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型提供一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置及卷绕镀膜设备，可以在一个工作周期内实现双面连续镀膜，能够解决镀膜过程中保持张力的稳定性的问题，提高镀膜产品的质量。
6.为了解决上述技术问题，本技术是这样实现的：
7.本技术实施例提供了一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，用于双面磁控溅射卷绕镀膜设备，所述双面磁控溅射卷绕镀膜设备包括真空腔室，所述真空腔室内设有所述种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，所述种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置包括：放卷机构、第一张力区、第一冷却镀膜辊、第二张力区、第二冷却镀膜辊、第三张力区和收卷机构，由所述放卷机构释放的基材依次经过所述第一张力区、所述第一冷却镀膜辊、所述第二张力区、所述第二冷却镀膜辊和所述第三张力区，再由所述收卷机构进行收卷；
8.所述第一冷却镀膜辊与所述第二冷却镀膜辊相邻的方向分别为两次镀膜的基材
的进入方向；
9.所述第一张力区、所述第二张力区和所述第三张力区各自独立地包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊。
10.在本技术的一些实施方式中，沿基材输送路径，所述第一张力区包括依次设置的第一导向过辊、第一张力测量辊、第一展平辊和第二导向过辊，所述第二张力区包括依次设置的第三导向过辊、第二张力测量辊、第二展平辊和第四导向过辊，所述第三张力区包括依次设置的第五导向过辊、第三张力测量辊、第三展平辊和第六导向过辊。
11.在本技术的一些实施方式中，所述第一导向过辊位于所述放卷机构的一侧，所述第二导向过辊贴合设置于所述第一冷却镀膜辊的一侧，所述第三导向过辊贴合设置于所述第一冷却镀膜辊的另一侧，所述第四导向过辊贴合设置于所述第二冷却镀膜辊的一侧，所述第五导向过辊贴合设置于所述第二冷却镀膜辊的另一侧，所述第六导向过辊位于所述收卷机构的一侧。
12.在本技术的一些实施方式中，所述放卷机构包括放卷辊和驱动所述放卷辊转动的放卷电机，所述收卷机构包括收卷辊和驱动所述收卷辊转动的收卷电机；所述双面磁控溅射卷绕镀膜设备包括控制装置，所述放卷电机、所述收卷电机和所述张力测量辊分别与所述控制装置信号连接。
13.在本技术的一些实施方式中，所述收卷机构还包括活动压辊，所述活动压辊设于所述收卷辊的一侧，所述活动压辊适于随着所述收卷辊上的基材卷绕的直径变化而移动。
14.在本技术的一些实施方式中，所述真空腔室的内部上方设置有所述放卷机构，所述放卷机构的下方设置有所述收卷机构，所述放卷机构的下方偏右设置有所述第一冷却镀膜辊，所述放卷机构的下方偏左设置有所述第二冷却镀膜辊。
15.在本技术的一些实施方式中，所述放卷机构和所述收卷机构呈上下对称的方式布置，所述第二冷却镀膜辊和所述第一冷却镀膜辊呈左右对称的方式布置。
16.在本技术的一些实施方式中，所述真空腔室内的左右两端分别设置有第一磁控溅射区和第二磁控溅射区，所述第一磁控溅射区围绕所述第一冷却镀膜辊设置，所述第二磁控溅射区围绕所述第二冷却镀膜辊设置。
17.在本技术的一些实施方式中，所述第一冷却镀膜辊和所述第二冷却镀膜辊均设置有用于冷却介质循环流通的空腔或夹层；和/或，所述第一冷却镀膜辊和所述第二冷却镀膜辊之间设置有冷却隔板，所述冷却隔板具有供冷却管通过的冷却空间。
18.本技术实施例还提供了一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括真空腔室及设置于所述真空腔室内如前述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置。
19.实施本实用新型的技术方案，至少具有以下有益效果：
20.在本技术实施例中，所提供的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置可以应用在卷绕式真空磁控溅射双面连续镀膜设备中，该卷绕装置不仅在放卷机构和收卷机构至少设置了第一冷却镀膜辊和第二冷却镀膜辊，这样，采用具有两个冷却镀膜辊的镀膜卷绕结构，能够一次性完成柔性基材的双面镀膜，相比于传统的采用两个生产周期的镀膜方式，能够缩短生产时间，提高生产效率，还能够保证在进行两面镀膜时全程处于真空环境中，避免镀膜过程中由于基材暴露于大气中造成的受热变形、起皱、针孔等质最缺陷，提高产品的成品率，降低成本。同时，该卷绕装置还在放卷机构与第一冷却镀膜辊之间布置第一张力区，在第一冷
却镀膜辊与第二冷却镀膜辊之间布置第二张力区，在第二冷却镀膜辊与收卷机构之间布置第三张力区，且第一张力区、第二张力区和第三张力区均包括张力测量辊、展平辊和导向过辊，这样，结构设计合理，能够使基材在运行期间进行展平处理，提高基材在冷却镀膜辊上的镀膜效果，使镀膜完成后收卷整齐，有效减少基材的针孔起皱变形等质量缺陷，尤其是配合张力测量辊的设置，可以测量区间张力，有效解决镀膜过程中保持张力稳定性的问题，有效提高镀膜产品质量，提高良品率。
21.本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
22.图1为本技术示例性的一些实施方式提供的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置的结构示意图；
23.图2为本技术示例性的另一些实施方式提供的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置的结构示意图。
24.附图标记：
25.10-放卷机构；
26.20-第一张力区；201-第一导向过辊；202-第一张力测量辊；203-第一展平辊；204-第二导向过辊；
27.30-第一冷却镀膜辊；
28.40-第二张力区；401-第三导向过辊；402-第二张力测量辊；403-第二展平辊；404-第四导向过辊；
29.50-第二冷却镀膜辊；
30.60-第三张力区；601-第五导向过辊；602-第三张力测量辊；603-第三展平辊；604-第六导向过辊；
31.70-收卷机构；701-收卷辊；702-活动压辊；
32.80-基材；
33.90-真空腔室；901-第一磁控溅射区；902-第二磁控溅射区；910-靶材。
具体实施方式
34.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
35.请参阅图1至图2所示，本技术的一些实施例中，提供一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，用于双面磁控溅射卷绕镀膜设备，双面磁控溅射卷绕镀膜设备包括真空腔室90，真空腔室90内设有基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，该卷绕装置可用于实现基材80的收卷和放卷，并在真空腔室90内在真空环境下可以实现对经过卷绕装置中的镀膜辊的基材80进行镀膜以得到镀膜产品。本实施例的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置可以应用在卷绕式真空磁控溅射镀膜领域，尤其是可以应用在卷绕式真空磁控溅射双面连续镀膜装置中，能够
在一个工作周期内实现双面连续镀膜，还能解决镀膜过程中有效保持张力的稳定性的问题。
36.具体的，如图1至图2所示，在一些实施例中，基于柔性基材双面镀膜卷绕装置包括：放卷机构10、第一张力区20、第一冷却镀膜辊30、第二张力区 40、第二冷却镀膜辊50、第三张力区60和收卷机构70，由放卷机构10释放的基材80依次经过第一张力区20、第一冷却镀膜辊30、第二张力区40、第二冷却镀膜辊50和第三张力区60，再由收卷机构70进行收卷；第一冷却镀膜辊 30与第二冷却镀膜辊50相邻的方向分别为两次镀膜的基材80的进入方向；第一张力区20、第二张力区40和第三张力区60各自独立地包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊，也就是，第一张力区20包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊，第二张力区40包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊，第三张力区60包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊。
37.本实施例中，放卷机构10可用于放卷基材，放卷基材为柔性基材，具体的柔性基材可以为薄膜，收卷机构70可用于收卷镀膜后的柔性基材，以在放卷机构10的放卷下及收卷机构70的收卷下实现柔性基材的连续输送，该放卷机构10和收卷机构70两者的具体结构可以被本领域所熟知，故在此不再赘述。
38.该卷绕装置中，在放卷机构10与第一冷却镀膜辊30之间形成第一张力区 20，在第一冷却镀膜辊30与第二冷却镀膜中之间形成第二张力区40，在第二冷却镀膜辊50与收卷机构70之间形成第三张力区60，并且第一张力区20、第二张力区40和第三张力区60均包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊。可选的，上述放卷机构10可以位于真空腔室90的上方，收卷机构70可以位于真空腔室90的下方，第一冷却镀膜辊30可以位于真空腔室90的右侧，第二冷却镀膜辊50可以位于真空腔室90的左侧。由此，走膜方向可以为，位于真空腔室90上方的放卷机构10释放的基材80经过第一张力区20的导向过辊、张力测量辊和展平辊后进入右侧的第一冷却镀膜辊30，该第一冷却镀膜辊30与基材80的一面抵接，由第一冷却镀膜辊30出来的基材80经过第二张力区40的导向过辊、张力测量辊和展平辊后进入左侧的第二冷却镀膜辊50，该第二冷却镀膜辊50与基材80的另一面抵接，由第二冷却镀膜辊50出来的基材80经过第三张力区60的导向过辊、张力测量辊和展平辊后收卷于位于下方的收卷机构70。在此过程中，左侧的第二冷却镀膜辊50可以沿逆时针转动，右侧的第一冷却镀膜辊30可以沿顺时针转动；且基材80在右侧的第一冷却镀膜辊30上镀膜，基材80在左侧的第二冷却镀膜辊50上镀膜。
39.此处需要说明的是，以上示例性的示出一种走膜方向，然而实际应用中走膜方向可以并不限于此。例如，依实际需求，还可以将放卷机构10设于真空腔室90的下方，将收卷机构70设于真空腔室90的上方，将第一冷却镀膜辊 30设于真空腔室90的左侧，将第二冷却镀膜辊50可以位于真空腔室90的右侧。由此，走膜方向可以为，位于真空腔室90下方的放卷机构10释放的基材 80经过第一张力区20的导向过辊、张力测量辊和展平辊后进入左侧的第一冷却镀膜辊30，该第一冷却镀膜辊30与基材80的一面抵接，由第一冷却镀膜辊 30出来的基材80经过第二张力区40的导向过辊、张力测量辊和展平辊后进入右侧的第二冷却镀膜辊50，该第二冷却镀膜辊50与基材80的另一面抵接，由第二冷却镀膜辊50出来的基材80经过第三张力区60的导向过辊、张力测量辊和展平辊后收卷于位于上方的收卷机构70。在此过程中，左侧的第一冷却镀膜辊30可以沿顺时针转动，右侧的第二冷却镀膜辊50可以沿逆
时针转动。
40.上述卷绕装置可以满足镀区全幅宽的一卷双面镀，镀区可以根据需要设计所需的尺寸。在双面溅射镀膜时，基材80的总体走向大体上可以呈s形。并且在双面溅射镀膜时，第一冷却镀膜辊30与第二冷却镀膜辊50相邻的方向分别为两次镀膜的基材80的进入方向。以第一冷却镀膜辊30和第二冷却镀膜辊 50间隔的设置在真空腔室90的右侧和左侧为例，基材80可以从第一冷却镀膜辊30朝向第二冷却镀膜辊50的一侧上方进入，如基材80可以从第一冷却镀膜辊30的左上方进入第一冷却镀膜辊30，再从第一冷却镀膜辊30的左下方流出第一冷却镀膜辊30；再经过第二张力区40后，基材80可以从第二冷却镀膜辊50朝向第一冷却镀膜辊30的一侧上方进入，如基材80可以从第二冷却镀膜辊50的右上方进入第二冷却镀膜辊50，再从第二冷却镀膜辊50的右下方流出第二冷却镀膜辊50。
41.上述第一冷却镀膜辊30与基材80的一面抵接，第二冷却镀膜辊50与基材80相对的另一面抵接。基材80包括相对设置的第一表面和第二表面，如上表面和下表面，其中，第一冷却镀膜辊30可以与基材80的第一表面抵接，第二冷却镀膜辊50可以与基材80的第二表面抵接；或者第一冷却镀膜辊30可以与基材80的第二表面抵接，第二冷却镀膜辊50可以与基材80的第一表面抵接。由此，在基材80经过第一冷却镀膜辊30和第二冷却镀膜辊50时，可以实现对其的双面镀膜。
42.由此，基于以上设置，根据本实用新型实施例提供的技术方案，对于柔性基材双向磁控溅射镀膜产品，相较于传统生产工艺采用在一个镀膜周期内完成卷材单面镀膜，在下一个镀膜周期完成另一面镀膜，存在的效率低、容易影响产品质量、操作繁琐等问题，本实施例采用具有两个冷却镀膜辊即包括第一冷却镀膜辊30和第二冷却镀膜辊50的镀膜卷绕装置，能够实现一次性完成柔性基材的双面镀膜的目的，即可以解决一个工作周期内实现双面连续镀膜的问题。相较于传统的采用两个生产周期的镀膜方式，本实施例能够缩短生产时间，提高生产效率，还能够保证在进行两面镀膜时全程处于真空环境中，避免镀膜过程中由于柔性基材暴露于大气中造成的受热变形、起皱、针孔等质最缺陷，提高产品的成品率，降低成本。
43.同时，该卷绕装置结构设计合理，在第一张力区20、第二张力区40和第三张力区60均设置了多个导向过辊(常规过辊)，以及在放卷机构10到第一冷却镀膜辊30、第一冷却镀膜辊30到第二冷却镀膜辊50、第二冷却镀膜辊50 到收卷辊701之间设置展平辊，对基材进行展平处理，可以提高基材在冷却镀膜辊上的镀膜效果，使镀膜完成后收卷整齐，有效减少基材的针孔起皱变形等质量缺陷。这样，可以解决传统的卷绕结构中大包角传动很容易使柔性基材拉伸变形、镀膜不均匀、易起皱、暴筋开等质量缺陷，也即可以解决现有的单辊大包角真空卷绕镀膜的弊端。
44.并且，本实施例在第一张力区20、第二张力区40和第三张力区60均设置了张力测量辊，可用以测量区间张力，在卷绕装置运转时以冷却镀膜辊速度为基准速度，通过张力测量辊测量张力信号并反馈到控制器，控制收卷和放卷电机的转速，能够达到恒速和恒张力的目的。由于真空镀膜产品的质量通常由卷绕张力控制的精度、稳定性直接决定，本实施例的辊系布局合理，通过三段区间的张力控制，在各区间设置张力测量辊，可以解决镀膜过程中保持张力的稳定性的问题，利于提高镀膜质量。
45.此外，在本技术的优选实施方式中，在收卷机构70中还设置了活动压辊 702，可根
据收卷辊701收卷基材的厚度时时活动，实现柔性基材收卷辊701 的柔性基材收紧压实功能，便于收卷辊701上的柔性基材收紧压实。
46.如图1至图2所示，在一些实施例中，沿基材80输送路径，第一张力区 20包括依次设置的第一导向过辊201、第一张力测量辊202、第一展平辊203 和第二导向过辊204，相对而言，该第一导向过辊201更靠近放卷机构10，第二导向过辊204更靠近第一冷却镀膜辊30，第一张力测量辊202和第一展平辊 203设于第一导向过辊201和第二导向过辊204之间；第二张力区40包括依次设置的第三导向过辊401、第二张力测量辊402、第二展平辊403和第四导向过辊404，相对而言，该第三导向过辊401更靠第一冷却镀膜辊30，第四导向过辊404更靠近第二冷却镀膜辊50，第二张力测量辊402和第二展平辊403 设于第三导向过辊401和第四导向过辊404之间；第三张力区60包括依次设置的第五导向过辊601、第三张力测量辊602、第三展平辊603和第六导向过辊604；相对而言，该第五导向过辊601更靠近第二冷却镀膜辊50，第六导向过辊604更靠近收卷机构70，第三张力测量辊602和第三展平辊603设于第五导向过辊601和第六导向过辊604之间。
47.上述第一张力区20、第二张力区40和第三张力区60分别设有一个张力测量辊、一个展平辊和两个导向过辊，其中张力测量辊和展平辊设于两个导向过辊之间。由此，经由放卷机构10释放的柔性基材80经过第一张力区20的第一导向过辊201、第一张力测量辊202、第一展平辊203、第二导向过辊204 后进入第一冷却镀膜辊30，由第一冷却镀膜辊30出来的柔性基材80经过第二张力区40的第三导向过辊401、第二张力测量辊402、第二展平辊403、第四导向过辊404后进入第二冷却镀膜辊50，由第二冷却镀膜辊50出来的基材80 经过第三张力区60的第五导向过辊601、第三张力测量辊602、第三展平辊603、第六导向过辊604后被收卷机构70收卷。
48.由此，该卷绕装置采用具有两个冷却镀膜辊的镀膜卷绕结构，能够一次性完成柔性基材的双面镀膜，并且，在第一冷却镀膜辊30的两侧对称设置导向过辊即第二导向过辊204和第三导向过辊401，在第二冷却镀膜辊50的两侧对称设置导向过辊即第四导向过辊404和第五导向过辊601，可以使得柔性基材在冷却镀膜辊上的包角度数控制在合理的范围。进一步，该卷绕装置分为三段张力区，放卷机构10与第一冷却镀膜辊30之间形成的第一张力区20设有第一导向过辊201、第一展平辊203、第二导向过辊204；第一冷却镀膜辊30与第二冷却镀膜辊50之间形成的第二张力区40设有第三导向过辊401、第二展平辊403、第四导向过辊404；第二冷却镀膜辊50与收卷机构70之间形成的第三张力区60设有第五导向过辊601、第三展平辊603、第六导向过辊604；这样，能够将柔性基材进行展平处理，提高基材在冷却镀膜辊上的镀膜效果，使镀膜完成后收卷整齐，有效减少基材的针孔起皱变形等质量缺陷。同时，上述三段张力区还分别设有第一张力测量辊202、第二张力测量辊402和第三张力测量辊602，可用于测试柔性基材在放卷机构10、第一冷却镀膜辊30、第二冷却镀膜辊50、收卷机构70之间的张力，有利于提高镀膜效果，可以保证镀膜质量。
49.在本技术的其他实施例中，第一张力区20、第二张力区40和第三张力区 60中的张力测量辊、展平辊和导向过辊的数量或设置还可以具有不同的选择。例如，第一张力区20、第二张力区40或第三张力区60可以包括一个导向过辊、一个张力测量辊和一个展平辊；或者，第一张力区20、第二张力区40或第三张力区60可以包括三个导向过辊、一个张力测量辊和一个展平辊；第一张力区20、第二张力区40或第三张力区60可以包括两个导向过辊、两个
张力测量辊和一个展平辊等，当然，还可以具有其他不同数量的选择设置，在此不再一一列举。此外，第一张力区20、第二张力区40和第三张力区60中的各张力测量辊、各展平辊和各导向过辊的设置数量及设置位置可以相同也可以不同。
50.在一些实施例中，第一导向过辊201位于放卷机构10的一侧，第二导向过辊204贴合设置于第一冷却镀膜辊30的一侧，第三导向过辊401贴合设置于第一冷却镀膜辊30的另一侧，第四导向过辊404贴合设置于第二冷却镀膜辊50的一侧，第五导向过辊601贴合设置于第二冷却镀膜辊50的另一侧，第六导向过辊604位于收卷机构70的一侧。上述第二导向过辊204和第三导向过辊401可以对称设置于第一冷却镀膜辊30的两侧，如第二导向过辊204和第三导向过辊401可以分别设置于第一冷却镀膜辊30左上方和左下方。上述第四导向过辊404和第五导向过辊601可以对称设置于第二冷却镀膜辊50的两侧，如第四导向过辊404和第五导向过辊601可以分别设置于第二冷却镀膜辊50右上方和右下方。这样，布局合理，充分合理利用空间，也可以较好地调节柔性基材的张力，有效减少或避免造成镀层出现缺陷。
51.在一些实施例中，放卷机构10包括放卷辊和放卷电机，放卷电机可用于驱动放卷辊转动，收卷机构70包括收卷辊701和收卷电机，收卷电机可用于驱动收卷辊701转动；双面磁控溅射卷绕镀膜设备包括控制装置，放卷电机、收卷电机和张力测量辊分别与控制装置信号连接。
52.这样，通过将放卷电机、收卷电机和张力测量辊分别与控制装置信号连接，可通过张力测量辊测量张力信号，并反馈至控制装置，控制装置可依据所接收的张力信号控制放卷电机和收卷电机的转速，从而能够达到恒速和恒张力的目的，提高镀膜质量。
53.上述双面磁控溅射卷绕镀膜设备中的控制装置的具体结构或类型及工作原理等可参考现有技术，本实施例对此不作限定，在此不再赘述。
54.可选的，张力测量辊的端部安装有放卷张力测试器。
55.在一些实施例中，收卷机构70还包括活动压辊702，活动压辊702设于收卷辊701的一侧，活动压辊702适于随着收卷辊701上的基材卷绕的直径变化而移动。在柔性基材收卷辊701的一侧可以设置一个或多个活动压辊702，该活动压辊702可根据收卷辊701收卷基材的厚度时时活动，对双面镀膜柔性基材实现收紧压实功能。
56.本实施例通过活动压辊702的设置，可以实现柔性基材收卷辊701的柔性基材收紧压实功能，便于收卷辊701上的柔性基材收紧压实。
57.在一些实施例中，真空腔室90的内部上方设置有放卷机构10，放卷机构 10的下方设置有收卷机构70，放卷机构10的下方偏右设置有第一冷却镀膜辊 30，放卷机构10的下方偏左设置有第二冷却镀膜辊50。
58.在一些实施例中，放卷机构10和收卷机构70呈上下对称的方式布置，第二冷却镀膜辊50和第一冷却镀膜辊30呈左右对称的方式布置。
59.本实施例中，放卷机构10和收卷机构70可以在竖直方向上间隔、对称的布置，第二冷却镀膜辊50和第一冷却镀膜辊30可以在水平方向上间隔、对称的布置。换言之，放卷机构10和收卷机构70可以沿真空腔室90的上下方向彼此对齐设置；第一冷却镀膜辊30和第二冷却镀膜辊50可以沿真空腔室90 的左右方向对称设置。也即，第一冷却镀膜辊30和第二冷却镀膜辊50以相同的水平位置布置在放卷机构10和收卷机构70之间。通过该位置关系的配
置，基材在往返镀膜的过程中，从输送至溅射区(镀膜区)的路径均相同。从而，可以使基材从收卷机构70至第一冷却镀膜辊30的路径和对膜的作用与第二冷却镀膜辊50至收卷机构70的路径和对膜的作用相同。
60.这样，结构布局合理，对称效果好，有利于提高镀膜效果，保证镀膜质量。
61.此外，通过上述布置，可以使柔性基材的走膜路径更加简便，从而便于各个部件的排布安装，便于使用和维护。
62.可选的，第一冷却镀膜辊30和第二冷却镀膜辊50的直径相同。本实施例中，第一冷却镀膜辊30和第二冷却镀膜辊50的结构和位置关系均可以相同。
63.在一些实施例中，真空腔室90内的左右两端分别设置有第一磁控溅射区901和第二磁控溅射区902，第一磁控溅射区901围绕第一冷却镀膜辊30设置，第二磁控溅射区902围绕第二冷却镀膜辊50设置。可选的，第一磁控溅射区 901和第二磁控溅射区902可以均设置磁控溅射的多个靶材910，靶材910设置在真空腔室90内，可以分别围绕第一冷却镀膜辊30和第二冷却镀膜辊50 环绕形排列。
64.在一些实施例中，第一冷却镀膜辊30和第二冷却镀膜辊50均设置有用于冷却介质循环流通的空腔或夹层；和/或，第一冷却镀膜辊30和第二冷却镀膜辊50之间设置有冷却隔板，冷却隔板具有供冷却管通过的冷却空间。
65.本实施例中，冷却镀膜辊在镀膜的过程中起着非常重要的作用，一方面，冷却镀膜辊可以起到对基材进行冷却的作用，以消除由于柔性基材温度的升高，使得柔性基材附着性能的变化，以及柔性基材层中原子的重新排列；另一方面，冷却镀膜辊也可以起到引导柔性基材传动和展平柔性基材的作用，使被镀材料均匀地镀到柔性基材上。
66.对于冷却镀膜辊上的基材进行冷却的方式可以具有多种形式，如可以在冷却镀膜辊内部安装冷却装置，用于使冷却镀膜辊上的基材的温度降低；或者，也可以在两个冷却镀膜辊之间设置冷却隔板，在冷却隔板中通入冷却介质，以使冷却镀膜辊上的基材的温度降低；当然，还可以采用其他的实现方式，本实施例对此不作限定。
67.可选的，可以通过真空泵如分子泵对真空腔室90进行抽真空。可选的，真空腔室90内可以安装深冷水汽捕集器，深冷水汽捕集器可以为深冷泵。该深冷泵可以提高了对连续镀膜过程中基材的放气抽速，从而提高了工作效率。
68.可选的，真空腔室90内设有离子源处理器，如在第一磁控溅射区901的靶材910的右上侧设置有离子源处理器，在第二磁控溅射区902的靶材910的左上侧设置有离子源处理器，可对基材表面进行离子轰击，提高基材表面粗糙度，确保膜层与基材之间的剥离强度。
69.在一些实施例中，本技术实施例提供了一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括真空腔室90及设置于真空腔室90内的前述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置。
70.本实施例中所述的双面磁控溅射卷绕镀膜设备包括上述卷绕装置，因而至少具有该卷绕装置所具有的所有特征及优势，在此不再赘述。应理解，双面磁控溅射卷绕镀膜设备中的其余部分结构的设置如冷却系统、真空系统或控制系统等的具体结构或连接方式或工作原理可参考现有技术，本实施例对此不作限定，在此不再赘述。
71.本实用新型说明书中未详细说明部分为本领域技术人员公知技术。
72.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺
时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
73.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
74.在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
75.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
技术特征：
1.一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，用于双面磁控溅射卷绕镀膜设备，所述双面磁控溅射卷绕镀膜设备包括真空腔室，所述真空腔室内设有基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所述卷绕装置包括：放卷机构、第一张力区、第一冷却镀膜辊、第二张力区、第二冷却镀膜辊、第三张力区和收卷机构，由所述放卷机构释放的基材依次经过所述第一张力区、所述第一冷却镀膜辊、所述第二张力区、所述第二冷却镀膜辊和所述第三张力区，再由所述收卷机构进行收卷；所述第一冷却镀膜辊与所述第二冷却镀膜辊相邻的方向分别为两次镀膜的基材的进入方向；所述第一张力区、所述第二张力区和所述第三张力区各自独立地包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊。2.根据权利要求1所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，沿基材输送路径，所述第一张力区包括依次设置的第一导向过辊、第一张力测量辊、第一展平辊和第二导向过辊，所述第二张力区包括依次设置的第三导向过辊、第二张力测量辊、第二展平辊和第四导向过辊，所述第三张力区包括依次设置的第五导向过辊、第三张力测量辊、第三展平辊和第六导向过辊。3.根据权利要求2所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所述第一导向过辊位于所述放卷机构的一侧，所述第二导向过辊贴合设置于所述第一冷却镀膜辊的一侧，所述第三导向过辊贴合设置于所述第一冷却镀膜辊的另一侧，所述第四导向过辊贴合设置于所述第二冷却镀膜辊的一侧，所述第五导向过辊贴合设置于所述第二冷却镀膜辊的另一侧，所述第六导向过辊位于所述收卷机构的一侧。4.根据权利要求1所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所述放卷机构包括放卷辊和驱动所述放卷辊转动的放卷电机，所述收卷机构包括收卷辊和驱动所述收卷辊转动的收卷电机；所述双面磁控溅射卷绕镀膜设备包括控制装置，所述放卷电机、所述收卷电机和所述张力测量辊分别与所述控制装置信号连接。5.根据权利要求4所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所述收卷机构还包括活动压辊，所述活动压辊设于所述收卷辊的一侧，所述活动压辊适于随着所述收卷辊上的基材卷绕的直径变化而移动。6.根据权利要求1所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所述真空腔室的内部上方设置有所述放卷机构，所述放卷机构的下方设置有所述收卷机构，所述放卷机构的下方偏右设置有所述第一冷却镀膜辊，所述放卷机构的下方偏左设置有所述第二冷却镀膜辊。7.根据权利要求6所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所述放卷机构和所述收卷机构呈上下对称的方式布置，所述第二冷却镀膜辊和所述第一冷却镀膜辊呈左右对称的方式布置。8.根据权利要求1至7任一项所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所述真空腔室内的左右两端分别设置有第一磁控溅射区和第二磁控溅射区，所述第一磁控溅射区围绕所述第一冷却镀膜辊设置，所述第二磁控溅射区围绕所述第二冷却镀膜辊设置。9.根据权利要求1至7任一项所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所
述第一冷却镀膜辊和所述第二冷却镀膜辊均设置有用于冷却介质循环流通的空腔或夹层；和/或，所述第一冷却镀膜辊和所述第二冷却镀膜辊之间设置有冷却隔板，所述冷却隔板具有供冷却管通过的冷却空间。10.一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备，其特征在于，包括真空腔室及设置于所述真空腔室内如权利要求1至9任一项所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置。
技术总结
本申请公开了一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置及卷绕镀膜设备，属于镀膜设备技术领域。一种卷绕装置，用于双面磁控溅射卷绕镀膜设备，该设备的真空腔室内设有卷绕装置，该卷绕装置包括：放卷机构、第一张力区、第一冷却镀膜辊、第二张力区、第二冷却镀膜辊、第三张力区和收卷机构，由放卷机构释放的基材依次经过第一张力区、第一冷却镀膜辊、第二张力区、第二冷却镀膜辊和第三张力区，再由收卷机构进行收卷；第一张力区、第二张力区和第三张力区均包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊。本申请能够在一个工作周期内实现双面连续镀膜，可以提升生产效率，还能解决镀膜过程中保持张力的稳定性的问题，提高镀膜质量。量。量。
