一种集成电路晶圆的清洗设备的制作方法
1.本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，特别涉及一种集成电路晶圆的清洗设备。
背景技术：
2.目前在晶圆的清洗方式大多将晶圆固定在清洗装置上，并带动晶圆高速转动的情况下，由喷头直接在晶圆的表面进行冲洗，在清洗作业的过程中，由于高速甩出的液滴带有很大的动能，在撞击到清洗装置的内壁时，很可能发生溅射反弹的现象，导致清洗液回溅至晶圆，使晶圆表面出现水渍造成污染，会在晶圆的边缘和背面造成缺陷，处理较为麻烦。
技术实现要素：
3.本实用新型的目的在于提供一种集成电路晶圆的清洗设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种集成电路晶圆的清洗设备，包括清洗箱，其内部设置有工作台，清洗箱的顶部设置有清洗组件；
5.所述清洗箱的内部设置有防护组件；
6.所述防护组件包括有防护板、双向螺杆、滑块、挤压板、海绵板和定位组件，所述清洗箱内壁的两侧与两边侧均开设有凹槽，所述双向螺杆与凹槽的内腔转动穿插连接，两个所述滑块均与双向螺杆螺纹穿插连接，两个所述滑块分别与另个挤压板固定连接，所述海绵板设置于两个挤压板之间，多个所述防护板均与清洗箱的顶端滑动穿插连接，所述定位组件与防护板连接，所述定位组件与双向螺杆连接。
7.优选的，所述定位组件包括有把手和固定销，所述把手与双向螺杆的一端固定连接，所述固定销与把手滑动穿插连接，所述防护板与把手相近的一侧开设有固定孔，所述固定销与固定孔的内腔滑动穿插连接。
8.优选的，所述挤压板的截面呈l形，其中挤压板的内壁等距开设有多个出水孔，所述防护板的截面呈t字形。
9.优选的，所述工作台的底端固定安装有电机，所述工作台的顶端设置有放置盘，所述电机的输出端与放置盘传动连接。
10.优选的，所述清洗组件包括有水箱、连接管、安装座和喷头，所述水箱固定安装于清洗箱的顶端，两个所述连接管的一端与水箱连接，两个所述连接管的另一端与安装座连接，多个所述喷头等距固定安装于安装座的底端。
11.优选的，所述水箱的内部设置有隔板，所述水箱的外壁连接有两个水泵，两个所述水泵分别与两个连接管连接。
12.优选的，所述清洗箱的一边侧滑动穿插连接有收集箱。
13.本实用新型的技术效果和优点：
14.(1)本实用新型利用防护板、双向螺杆、滑块、挤压板和海绵板相配合的设置方式，通过海绵板对在离心力的作用下甩出的清洗液进行吸收，并通过转动双向螺杆使得挤压板
将海绵板吸收的清洗液挤出，使得海绵板可多次循环使用，不仅经济实惠，且减少清洗液在装置内部的回溅，防止晶圆在清洗时受到二次污染；
15.(2)本实用新型利用把手和固定销相配合的设置方式，可在不挤压海绵板时通过固定销将把手与防护板固定住，使得双向螺杆也被固定住，从而在对晶圆清洗时不会发生防护板下落，或者有人误触把手导致挤压板运动等问题。
附图说明
16.图1为本实用新型整体结构示意图。
17.图2为本实用新型正面内部结构示意图。
18.图3为本实用新型图2中a处放大结构示意图。
19.图4为本实用新型图2中b处放大结构示意图。
20.图中：1、清洗箱；11、箱体；12、箱门；2、工作台；3、清洗组件；31、水箱；32、连接管；33、安装座；34、喷头；35、隔板；4、防护组件；41、防护板；42、双向螺杆；43、滑块；44、挤压板；45、海绵板；46、定位组件；461、把手；462、固定销；5、电机；6、放置盘；7、水泵；8、收集箱。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.本实用新型提供了如图1-4所示的一种集成电路晶圆的清洗设备，包括清洗箱1，其内部设置有工作台2，清洗箱1的顶部设置有清洗组件3；
23.清洗箱1的内部设置有防护组件4，清洗箱1包括有箱体11和箱门12，箱门12通过转轴与箱体11转动连接，如图1所示，其中三个防护组件4设置于箱体11的内部，另外一个设置于箱门12的内部；
24.防护组件4包括有防护板41、双向螺杆42、滑块43、挤压板44、海绵板45和定位组件46，清洗箱1内壁的两侧与两边侧均开设有凹槽，双向螺杆42与凹槽的内腔转动穿插连接，两个滑块43均与双向螺杆42螺纹穿插连接，两个滑块43分别与另个挤压板44固定连接，海绵板45设置于两个挤压板44之间，多个防护板41均与清洗箱1的顶端滑动穿插连接，定位组件46与防护板41连接，定位组件46与双向螺杆42连接，定位组件46包括有把手461和固定销462，把手461与双向螺杆42的一端固定连接，固定销462与把手461滑动穿插连接，防护板41与把手461相近的一侧开设有固定孔，固定销462与固定孔的内腔滑动穿插连接，通过海绵板45对在离心力的作用下甩出的清洗液进行吸收，并通过转动双向螺杆42使得挤压板44将海绵板45吸收的清洗液挤出，使得海绵板45可多次循环使用，不仅经济实惠，且减少清洗液在装置内部的回溅，防止晶圆在清洗时受到二次污染。
25.挤压板44的截面呈l形，其中挤压板44的内壁等距开设有多个出水孔，出水孔便于在海绵板45受到挤压时将内部的清洗液和水排出，防护板41的截面呈t字形。
26.工作台2的底端固定安装有电机5，工作台2的顶端设置有放置盘6，电机5的输出端与放置盘6传动连接，电机5通过外接的开关与外部电源电性连接，通过电机5带动放置盘6
转动，从而使得放置盘6上固定设置的晶圆进行转动，方便配合清洗组件3进行清洗。
27.清洗组件3包括有水箱31、连接管32、安装座33和喷头34，水箱31固定安装于清洗箱1的顶端，两个连接管32的一端与水箱31连接，两个连接管32的另一端与安装座33连接，多个喷头34等距固定安装于安装座33的底端，安装座33的长度与放置盘6的直径长度相同，安装座33内部设置有隔离板，将安装座33内部隔成两个腔体，便于使得底部的喷头34喷出不同的液体对晶圆进行清洗。
28.水箱31的内部设置有隔板35，隔板35将水箱31分隔成两个腔体，一个用于装清洗液，另一个装干净的清水，水箱31的外壁连接有两个水泵7，水泵7通过外接的开关与外部电源电性连接，两个水泵7分别与两个连接管32连接，通过启动不同的水泵7，从而使得不同的液体喷出，对晶圆进行清洗。
29.清洗箱1的一边侧滑动穿插连接有收集箱8，收集箱8用于收集清洗液和清水，便于进行二次回收利用。
30.本实用新型工作原理：
31.在需要对晶圆进行清洗时，将晶圆安装在放置盘6上，启动电机5，电机5带动放置盘6上的晶圆转动，并将带有清洗液的一侧的水泵7打开，将清洗液通过连接管32抽入安装座33内，并通过喷头34喷出，对晶圆进行清洗，清洗后关闭水泵7，再打开另一个水泵7，将干净的清水通过连接管32抽入安装座33内，并通过喷头34喷出，对晶圆进行清洗，将晶圆表面残留的清洗液洗去，在离心甩干清水后，即可关闭电机5，打开箱门12将晶圆取出，电机5启动的过程中，海绵板45吸收了离心甩出的清洗液和清水，拧出多个固定销462，防护板41在重力的作用下，自行落下，将海绵板45挡住，转动把手461，使得把手461带动双向螺杆42转动，从而带动滑块43在凹槽的内腔中滑动，使得两个挤压板44相对运动，两个挤压板44挤压海绵板45，从而将海绵板45内部所吸收的清洗液和清水挤出，并通过底部的挤压板44所开设的出水孔落入下方的收集箱8之中，并反向转动双向螺杆42，将挤压板44复位，并通过固定销462重新将把手461与防护板41连接，从而将防护组件4进行复位，即可对晶圆进行正常的清洗操作。
32.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
技术特征：
1.一种集成电路晶圆的清洗设备，包括：清洗箱(1)，其内部设置有工作台(2)，清洗箱(1)的顶部设置有清洗组件(3)；其特征在于：所述清洗箱(1)的内部设置有防护组件(4)；所述防护组件(4)包括有防护板(41)、双向螺杆(42)、滑块(43)、挤压板(44)、海绵板(45)和定位组件(46)，所述清洗箱(1)内壁的两侧与两边侧均开设有凹槽，所述双向螺杆(42)与凹槽的内腔转动穿插连接，两个所述滑块(43)均与双向螺杆(42)螺纹穿插连接，两个所述滑块(43)分别与另个挤压板(44)固定连接，所述海绵板(45)设置于两个挤压板(44)之间，多个所述防护板(41)均与清洗箱(1)的顶端滑动穿插连接，所述定位组件(46)与防护板(41)连接，所述定位组件(46)与双向螺杆(42)连接。2.根据权利要求1所述的一种集成电路晶圆的清洗设备，其特征在于，所述定位组件(46)包括有把手(461)和固定销(462)，所述把手(461)与双向螺杆(42)的一端固定连接，所述固定销(462)与把手(461)滑动穿插连接，所述防护板(41)与把手(461)相近的一侧开设有固定孔，所述固定销(462)与固定孔的内腔滑动穿插连接。3.根据权利要求1所述的一种集成电路晶圆的清洗设备，其特征在于，所述挤压板(44)的截面呈l形，其中挤压板(44)的内壁等距开设有多个出水孔，所述防护板(41)的截面呈t字形。4.根据权利要求1所述的一种集成电路晶圆的清洗设备，其特征在于，所述工作台(2)的底端固定安装有电机(5)，所述工作台(2)的顶端设置有放置盘(6)，所述电机(5)的输出端与放置盘(6)传动连接。5.根据权利要求1所述的一种集成电路晶圆的清洗设备，其特征在于，所述清洗组件(3)包括有水箱(31)、连接管(32)、安装座(33)和喷头(34)，所述水箱(31)固定安装于清洗箱(1)的顶端，两个所述连接管(32)的一端与水箱(31)连接，两个所述连接管(32)的另一端与安装座(33)连接，多个所述喷头(34)等距固定安装于安装座(33)的底端。6.根据权利要求5所述的一种集成电路晶圆的清洗设备，其特征在于，所述水箱(31)的内部设置有隔板(35)，所述水箱(31)的外壁连接有两个水泵(7)，两个所述水泵(7)分别与两个连接管(32)连接。7.根据权利要求1所述的一种集成电路晶圆的清洗设备，其特征在于，所述清洗箱(1)的一边侧滑动穿插连接有收集箱(8)。
技术总结
本实用新型公开了一种集成电路晶圆的清洗设备，包括清洗箱，其内部清洗箱的内部设置有防护组件，防护组件包括有防护板、双向螺杆、滑块、挤压板、海绵板和定位组件，清洗箱内壁的两侧与两边侧均开设有凹槽，双向螺杆与凹槽的内腔转动穿插连接，两个滑块均与双向螺杆螺纹穿插连接，两个滑块分别与另个挤压板固定连接，海绵板设置于两个挤压板之间，多个防护板均与清洗箱的顶端滑动穿插连接，定位组件与双向螺杆连接。本实用新型利用防护板、双向螺杆、滑块、挤压板和海绵板相配合的设置方式，通过海绵板对在离心力的作用下甩出的清洗液进行吸收，不仅经济实惠，且减少清洗液在装置内部的回溅，防止晶圆在清洗时受到二次污染。防止晶圆在清洗时受到二次污染。防止晶圆在清洗时受到二次污染。
