一种卷绕镀膜工艺气体护板的制作方法
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1.本实用新型涉及卷绕镀膜技术领域,尤其涉及一种防护治具技术结构。
背景技术:
2.随着光学薄膜行业的快速发展,为实现产品的特定光学性能,同时又能大量生产,卷对卷镀膜技术日趋发展成熟。卷对卷磁控溅射镀膜通常是生产光学薄膜类产品,将卷材通过多个传送滚轮完成上料-镀膜-收料的过程。磁控溅射镀膜即将特定靶材在一定工艺气体的作用下在光学薄膜表面形成镀膜层,工艺气体以直喷的方式在两个靶材周围分布,这种方式导致气体的分布不均匀,继而导致镀膜膜厚有差异,同时由于工艺气体管道的气孔上方无遮挡导致随镀膜时间增加,镀层易堵塞气孔。
技术实现要素:
3.为了解决上述问题,本实用新型提出提供一种卷绕镀膜工艺气体护板。
4.为了实现以上目的,本实用新型采用的技术方案为:
5.一种卷绕镀膜工艺气体护板,包括设置在工艺气体管道的气孔上方的护板、设置于护板下方的用于连接的定位销、设置于护板上方的喷砂层,所述护板与工艺气体管道的气孔之间留有间隙。
6.本实用新型的进一步技术:
7.优选的,所述护板上长边两侧设置了弯边,所述弯边上设有导气槽。
8.优选的,所述弯边的弯曲角度为30
°
。
9.本实用新型具有以下有益效果:
10.本实用新型的护板可有效保护卷绕镀膜工艺气体气孔被溅射镀层堵塞,导致镀膜厚度不均匀,影响产品性能;
11.护板的增加,在工艺气体以直喷的方式经过护板向两侧扩散,扩散中产生混合,再经过湾边的导气槽进行二次混合,可增加工艺气体混合的均匀性,提升膜层均匀性。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
13.图1为一种卷绕镀膜工艺气体护板整体结构示意图;
14.图2为一种卷绕镀膜工艺气体护板细节结构示意图;
15.图3为一种卷绕镀膜工艺气体护板安装结构示意图。
具体实施方式:
16.下面将结合本实用新型实施例,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
17.如图1-3,本实用新型提供一种卷绕镀膜工艺气体护板,包括设置在工艺气体管道的气孔6上方的护板1,护板长*宽*高:1400mm*40mm*2mm,设置于护板下方的用于连接的定位销2,所述护板与工艺气体管道的气孔之间留有间隙,间隙为2mm。
18.所述护板上长边两侧设置了弯边3和导气槽4,减少了气体的流出阻力。护板弯边宽度3mm,角度30
°
。
19.所述定位销可上下调节高度,结合工艺调整护板与工艺气孔的间距。
20.护板上方设有喷砂层5,喷砂层厚度1mm,所述喷砂层可增加镀层的附着力,减少镀层被气体或磁场作用后附着在产品表面,导致外观不良。喷砂层可增加镀层的附着力,减少镀层被气体或磁场作用后附着在产品表面,提升产品生产良率。
21.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
技术特征:
1.一种卷绕镀膜工艺气体护板,其特征在于:包括设置在工艺气体管道的气孔上方的护板、设置于护板下方的用于连接的定位销、所述护板与工艺气体管道的气孔之间留有间隙。2.根据权利要求1中所述的一种卷绕镀膜工艺气体护板,其特征在于:所述护板上长边两侧设置了弯边,所述弯边上设有导气槽。3.根据权利要求2中所述的一种卷绕镀膜工艺气体护板,其特征在于:所述弯边的弯曲角度为30
°
。
技术总结
本实用新型公开了一种卷绕镀膜工艺气体护板,包括设置在工艺气体管道的气孔上方的护板、设置于护板下方的用于连接的定位销、设置于护板上方的喷砂层,所述护板与工艺气体管道的气孔之间留有间隙。本实用新型的护板可有效保护卷绕镀膜工艺气体气孔被溅射镀层堵塞,导致镀膜厚度不均匀,影响产品性能,护板的增加,在工艺气体以直喷的方式经过护板向两侧扩散,扩散中产生混合,可增加工艺气体混合的均匀性,提升膜层均匀性。提升膜层均匀性。提升膜层均匀性。