一种用于芯片覆膜的生产设备的制作方法
1.本发明涉及芯片覆膜技术领域，具体而言，涉及一种用于芯片覆膜的生产设备。
背景技术：
2.随着互联网时代的高速发展，芯片基本上变得无处不在。芯片是指内含集成电路的硅片，体积很小，常常是计算机或其他电子设备的一部分，我们日常生活中用的电脑、手机甚至家用电器都会用到芯片。
3.芯片生产工艺流程及设备主要包括以下步骤：首先半导体芯片的原料晶圆，然后再进行晶圆涂膜、晶圆光刻显影、蚀刻、掺加杂质、晶圆测试、封装、测试、包装即可完成芯片的制作。
4.现有技术中，用于芯片覆膜的设备大都存在自动化低的问题，其不能根据需要对不同芯片进行覆膜加工处理，且无法做到对覆膜膜片的一体化高速成型。
技术实现要素：
5.本发明的目的在于提供一种用于芯片覆膜的生产设备，减少了芯片覆膜膜片生产中的人工环节，增大了芯片覆膜膜片生产流程中的自动化程度，提高了芯片覆膜膜片生产的效率。
6.本发明的实施例是这样实现的：本技术实施例提供一种用于芯片覆膜的生产设备，包括切分机、切管机构、收卷机构和运输机械臂，所述切分机、所述切管机构、所述收卷机构和所述运输机械臂相互连通，所述切管机构和所述收卷机构之间设有桁架机械臂，所述切管机构和所述收卷机构之间通过所述桁架机械臂连通。
7.在本发明的一些实施例中，所述桁架机械臂包括支撑桁架和抓取组件，所述支撑桁架和所述抓取组件之间设有移动组件，所述支撑桁架与所述抓取组件之间通过移动组件滑动连接。
8.在本发明的一些实施例中，所述抓取组件包括连接板和两个芯片覆膜膜片取爪，两个所述芯片覆膜膜片取爪均与所述连接板转动连接。
9.在本发明的一些实施例中，所述连接板包括转动驱动装置，任一所述芯片覆膜膜片取爪包括与转动驱动装置配合的齿轮杆，所述齿轮杆均与所述转动驱动装置的驱动端转动连接。
10.在本发明的一些实施例中，任一所述芯片覆膜膜片取爪包括第一驱动装置、第一滑动装置和两个柔性夹爪，两个所述柔性夹爪均与所述第一滑动装置传动连接，两个所述柔性夹爪之间的移动方向相反，所述第一驱动装置与所述第一滑动装置传动连接。
11.在本发明的一些实施例中，所述运输机械臂包括机械手臂和运输夹具，所述机械手臂与所述运输夹具固定连接。
12.在本发明的一些实施例中，所述运输夹具包括夹具板和运输夹爪，所述运输夹爪
为四个，四个所述运输夹爪按照矩形分布于所述夹具板的下表面。
13.在本发明的一些实施例中，所述夹具板设有延长杆，所述延长杆为两个，两个所述延长杆分别位于所述夹具板下表面的前侧和后侧，四个所述运输夹爪两两设于所述延长杆的左右两侧。
14.在本发明的一些实施例中，所述输夹爪包括夹爪控制本体和一对夹板，所述夹板与所述夹爪控制本体滑动连接。
15.在本发明的一些实施例中，所述夹具板设有与所述机械手臂配合的安装槽。
16.相对于现有技术，本发明的实施例至少具有如下优点或有益效果：一种用于芯片覆膜的生产设备，包括切分机、切管机构、收卷机构和运输机械臂，其中切分机可将芯片覆膜膜片母卷切分；切管机构可将纸管切割成为与芯片覆膜膜片相同的宽度；收卷机构包括收卷轴，收卷机构可将纸管置入收卷轴内，同时将成品的芯片覆膜膜片卸下。
17.其中所述切分机与所述切管机构之间通过所述运输机械臂连通，运输机械臂可搬运收卷轴从分切机到收卷机构，也可将收卷轴从收卷机构运到分切机，提升了收卷机构与分切机之间的运输效率。
18.所述切分机、所述切管机构、所述收卷机构和所述运输机械臂相互连通，实现了芯片覆膜膜片生产的连续，减少了人工的参与，增加了芯片覆膜膜片生产的效率。
19.所述切管机构和所述收卷机构之间设有桁架机械臂，所述切管机构和所述收卷机构之间通过所述桁架机械臂连通，桁架机械臂可将切管机构切好的纸管放入收卷机构内，增加了切管机构与收卷机构之间运输的效率。
20.此用于芯片覆膜的生产设备减少了芯片覆膜膜片生产中的人工环节，增大了芯片覆膜膜片生产流程中的自动化程度，提高了芯片覆膜膜片生产的效率。
附图说明
21.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
22.图1为本发明中一种用于芯片覆膜的生产设备的整体的流程结构示意图；图2为本发明中一种用于芯片覆膜的生产设备的桁架机械臂整体的结构示意图；图3为本发明中一种用于芯片覆膜的生产设备的抓取组件的结构示意图；图4为本发明中一种用于芯片覆膜的生产设备的芯片覆膜膜片取爪与齿轮杆配合的平面结构示意图；图5为本发明中一种用于芯片覆膜的生产设备的第一驱动装置、第一滑动装置和多层柔性夹爪配合的平面剖视结构示意图；图6为本发明中一种用于芯片覆膜的生产设备的运输夹具整体的结构示意图；图7为本发明中一种用于芯片覆膜的生产设备的夹板夹紧状态的平面结构示意图；图8为本发明中一种用于芯片覆膜的生产设备的夹板松开状态的平面结构示意
图。
23.图标：101-支撑桁架，102-移动组件，103-抓取组件，131-连接板，132-芯片覆膜膜片取爪，1321-第一驱动装置，1322-第一滑动装置，1323-柔性夹爪，1324-齿轮杆，201-夹具板，202-运输夹爪，211-延长杆，212-安装槽，221-夹爪控制本体，222-夹板。
具体实施方式
24.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
25.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
26.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
27.在本发明实施例的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
28.此外，若出现术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
29.在本发明实施例的描述中，“多个”代表至少2个。
30.在本发明实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
31.实施例1如图1、2、3、4、5、6、7、8所示，本实施例提供一种用于芯片覆膜的生产设备，包括切分机、切管机构、收卷机构和运输机械臂；所述切分机、所述切管机构、所述收卷机构和所述运输机械臂相互连通；所述切管机构和所述收卷机构之间设有桁架机械臂，所述切管机构和所述收卷机构之间通过所述桁架机械臂连通。
32.在本实施例中，包括切分机、切管机构、收卷机构和运输机械臂，其中切分机可将芯片覆膜膜片母卷切分，同时切分机可采用4伺服收放卷系统，最高速度300米每分钟，可实现高精度自动贴标，自动换轴，自动切断，自动回收废卷，自动收卷，兼容性强，即可在全自
动产线中使用，又能人工搬轴与手动拉管机配合使用，空间独立，便于快速更换规格，快速接膜以及维护保养；切管机构可将纸管切割成为与芯片覆膜膜片相同的宽度；收卷机构包括收卷轴，收卷机构可将纸管置入收卷轴内，同时将成品的芯片覆膜膜片卸下。
33.其中所述切分机与所述切管机构之间通过所述运输机械臂连通，运输机械臂可搬运收卷轴从分切机到收卷机构，也可将收卷轴从收卷机构运到分切机，提升了收卷机构与分切机之间的运输效率。
34.所述切分机、所述切管机构、所述收卷机构和所述运输机械臂相互连通，实现了芯片覆膜膜片生产的连续，减少了人工的参与，增加了芯片覆膜膜片生产的效率。
35.所述切管机构和所述收卷机构之间设有桁架机械臂，所述切管机构和所述收卷机构之间通过所述桁架机械臂连通，桁架机械臂可将切管机构切好的纸管放入收卷机构内，增加了切管机构与收卷机构之间运输的效率。
36.其中芯片覆膜膜片生产模具采用行业通用模具，成本低，更换便捷，整机更换模具5分钟内即可完成，平衡了生产的成本和生产效率。
37.此用于芯片覆膜的生产设备减少了芯片覆膜膜片生产中的人工环节，增大了芯片覆膜膜片生产流程中的自动化程度，提高了芯片覆膜膜片生产的效率。
38.实施例2如图1、2、3、4、5、6、7、8所示，在本实施例的一些实施方式中，所述桁架机械臂包括支撑桁架101和抓取组件103；所述支撑桁架101和所述抓取组件103之间设有移动组件102，所述支撑桁架101与所述抓取组件103之间通过移动组件102滑动连接。
39.在上述实施方式中，所述桁架机械臂包括支撑桁架101和抓取组件103；其中支撑桁架101可为常见的桁架结构，抓取组件103用于抓取收卷轴；所述支撑桁架101和所述抓取组件103之间设有移动组件102，所述支撑桁架101与所述抓取组件103之间通过移动组件102滑动连接，移动组件102可为滑轨结构，滑轨为两条，分别为横向滑轨和纵向滑轨，横向滑轨和纵向滑轨相互垂直，使得移动组件102可驱动抓取组件103在支撑桁架101进行横向和纵向的位移，保证了桁架机械臂使用的灵活性。
40.在本实施例的一些实施方式中，所述抓取组件103包括连接板131和两个芯片覆膜膜片取爪132，两个所述芯片覆膜膜片取爪132均与所述连接板131转动连接。
41.在上述实施方式中，所述抓取组件103包括连接板131和两个芯片覆膜膜片取爪132，连接板131为板状结构用于与移动组件102进行连接和固定，两个所述芯片覆膜膜片取爪132均与所述连接板131转动连接，同时连接板131作为两个芯片覆膜膜片取爪132转动连接的支点，保证了抓取组件103结构的合理性。
42.在本实施例的一些实施方式中，所述连接板131包括转动驱动装置，任一所述芯片覆膜膜片取爪132包括与转动驱动装置配合的齿轮杆1324，所述齿轮杆1324均与所述转动驱动装置的驱动端转动连接。
43.在上述实施方式中，所述连接板131包括转动驱动装置，所述齿轮杆1324均与所述转动驱动装置的驱动端转动连接，转动驱动装置可为常见的电机和齿轮，电机的输出端、齿轮和齿轮杆1324依次传动连接；转动驱动装置可位于连接板131的下表面，齿轮杆1324与芯片覆膜膜片取爪132固定连接，使得转动驱动装置带动齿轮杆1324转动进而带动芯片覆膜膜片取爪132转动，可实现芯片覆膜膜片取爪132之间的转动配合。
44.在本实施例的一些实施方式中，任一所述芯片覆膜膜片取爪132包括第一驱动装置1321、第一滑动装置1322和两个柔性夹爪1323；两个所述柔性夹爪1323均与所述第一滑动装置1322传动连接，两个所述柔性夹爪1323之间的移动方向相反；所述第一驱动装置1321与所述第一滑动装置1322传动连接。
45.在上述实施方式中，任一所述芯片覆膜膜片取爪132包括第一驱动装置1321、第一滑动装置1322和两个柔性夹爪1323，其中第一驱动装置1321可为电机，第一滑动装置1322可为螺纹轴，所述第一驱动装置1321与所述第一滑动装置1322传动连接，两个柔性夹爪1323均设有与第一滑动装置1322配合的螺纹，两个所述柔性夹爪1323均与所述第一滑动装置1322传动连接，两个柔性夹爪1323的螺纹方向相反，使得螺纹轴转动时，两个所述柔性夹爪1323之间的移动方向相反，可实现两个柔性夹爪1323相互配合，夹取纸管等物件，提升了自动芯片覆膜膜片生产设备的工作效率。
46.实施例3如图1、2、3、4、5、6、7、8所示，在本实施例的一些实施方式中，所述运输机械臂包括机械手臂和运输夹具；所述机械手臂与所述运输夹具固定连接。
47.在上述实施方式中，所述运输机械臂包括机械手臂和运输夹具，其中机械手臂可为常见的市售机械手臂，便于购买和更换，所述机械手臂与所述运输夹具固定连接，保证了机械手臂与所述运输夹具连接的稳定性和可靠性。
48.在本实施例的一些实施方式中，所述运输夹具包括夹具板201和运输夹爪202；所述运输夹爪202为四个，四个所述运输夹爪202按照矩形分布于所述夹具板201的下表面。
49.在上述实施方式中，所述运输夹具包括夹具板201和运输夹爪202；所述运输夹爪202为四个，四个所述运输夹爪202按照矩形分布于所述夹具板201的下表面，使得四个运输夹爪202可同时夹取两根收卷轴，提升了收卷轴的运输效率，同时四个所述运输夹爪202按照矩形分布于所述夹具板201的下表面，便于运输夹爪202的安装和定位，保证了运输机械臂的生产加工效率。
50.在本实施例的一些实施方式中，所述夹具板201设有延长杆211；所述延长杆211为两个，两个所述延长杆211分别位于所述夹具板201下表面的前侧和后侧；四个所述运输夹爪202两两设于所述延长杆211的左右两侧。
51.在上述实施方式中，所述夹具板201设有延长杆211；所述延长杆211为两个，两个所述延长杆211分别位于所述夹具板201下表面的前侧和后侧；四个所述运输夹爪202两两设于所述延长杆211的左右两侧，延长杆211延长了同一对运输夹爪202之间的间距，使得运输夹具可夹取长度更长的收卷轴，提升了运输夹具使用的通用性和可靠性。
52.在本实施例的一些实施方式中，所述输夹爪包括夹爪控制本体221和一对夹板222；所述夹板222与所述夹爪控制本体221滑动连接。
53.在上述实施方式中，所述输夹爪包括夹爪控制本体221和一对夹板222；所述夹板222与所述夹爪控制本体221滑动连接，夹板222与所述夹爪控制本体221之间可采用滑轨连接或者滚珠丝杆连接，使得夹板222可沿夹爪控制本体221实现开合，使得输夹爪夹取物品。
54.在本实施例的一些实施方式中，所述夹具板201设有与所述机械手臂配合的安装槽212。
55.在上述实施方式中，所述夹具板201设有与所述机械手臂配合的安装槽212，便于
夹具板201与机械手臂之间的安装和固定，提升了夹具板201与机械手臂之间装配的便利性。
56.综上，本发明的实施例提供一种用于芯片覆膜的生产设备，包括切分机、切管机构、收卷机构和运输机械臂，其中切分机可将芯片覆膜膜片母卷切分，同时切分机可采用4伺服收放卷系统，最高速度300米每分钟，可实现高精度自动贴标，自动换轴，自动切断，自动回收废卷，自动收卷，兼容性强，即可在全自动产线中使用，又能人工搬轴与手动拉管机配合使用，空间独立，便于快速更换规格，快速接膜以及维护保养；切管机构可将纸管切割成为与芯片覆膜膜片相同的宽度；收卷机构包括收卷轴，收卷机构可将纸管置入收卷轴内，同时将成品的芯片覆膜膜片卸下。
57.其中所述切分机与所述切管机构之间通过所述运输机械臂连通，运输机械臂可搬运收卷轴从分切机到收卷机构，也可将收卷轴从收卷机构运到分切机，提升了收卷机构与分切机之间的运输效率。
58.所述切分机、所述切管机构、所述收卷机构和所述运输机械臂相互连通，实现了芯片覆膜膜片生产的连续，减少了人工的参与，增加了芯片覆膜膜片生产的效率。
59.所述切管机构和所述收卷机构之间设有桁架机械臂，所述切管机构和所述收卷机构之间通过所述桁架机械臂连通，桁架机械臂可将切管机构切好的纸管放入收卷机构内，增加了切管机构与收卷机构之间运输的效率。
60.其中芯片覆膜膜片生产模具采用行业通用模具，成本低，更换便捷，整机更换模具5分钟内即可完成，平衡了生产的成本和生产效率。
61.此用于芯片覆膜的生产设备减少了芯片覆膜膜片生产中的人工环节，增大了芯片覆膜膜片生产流程中的自动化程度，提高了芯片覆膜膜片生产的效率。
62.以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
技术特征：
1.一种用于芯片覆膜的生产设备，其特征在于：包括切分机、切管机构、收卷机构和运输机械臂；所述切分机、所述切管机构、所述收卷机构和所述运输机械臂相互连通；所述切管机构和所述收卷机构之间设有桁架机械臂，所述切管机构和所述收卷机构之间通过所述桁架机械臂连通。2.根据权利要求1所述的一种用于芯片覆膜的生产设备，其特征在于：所述桁架机械臂包括支撑桁架和抓取组件；所述支撑桁架和所述抓取组件之间设有移动组件，所述支撑桁架与所述抓取组件之间通过移动组件滑动连接。3.根据权利要求2所述的一种用于芯片覆膜的生产设备，其特征在于：所述抓取组件包括连接板和两个芯片覆膜膜片取爪，两个所述芯片覆膜膜片取爪均与所述连接板转动连接。4.根据权利要求3所述的一种用于芯片覆膜的生产设备，其特征在于：所述连接板包括转动驱动装置，任一所述芯片覆膜膜片取爪包括与转动驱动装置配合的齿轮杆，所述齿轮杆均与所述转动驱动装置的驱动端转动连接。5.根据权利要求3所述的一种用于芯片覆膜的生产设备，其特征在于：任一所述芯片覆膜膜片取爪包括第一驱动装置、第一滑动装置和两个柔性夹爪；两个所述柔性夹爪均与所述第一滑动装置传动连接，两个所述柔性夹爪之间的移动方向相反；所述第一驱动装置与所述第一滑动装置传动连接。6.根据权利要求1所述的一种用于芯片覆膜的生产设备，其特征在于：所述运输机械臂包括机械手臂和运输夹具；所述机械手臂与所述运输夹具固定连接。7.根据权利要求6所述的一种用于芯片覆膜的生产设备，其特征在于：所述运输夹具包括夹具板和运输夹爪；所述运输夹爪为四个，四个所述运输夹爪按照矩形分布于所述夹具板的下表面。8.根据权利要求7所述的一种用于芯片覆膜的生产设备，其特征在于：所述夹具板设有延长杆；所述延长杆为两个，两个所述延长杆分别位于所述夹具板下表面的前侧和后侧；四个所述运输夹爪两两设于所述延长杆的左右两侧。9.根据权利要求7所述的一种用于芯片覆膜的生产设备，其特征在于：所述输夹爪包括夹爪控制本体和一对夹板；所述夹板与所述夹爪控制本体滑动连接。10.根据权利要求7所述的一种用于芯片覆膜的生产设备，其特征在于：所述夹具板设有与所述机械手臂配合的安装槽。
技术总结
本发明提出了一种用于芯片覆膜的生产设备，涉及用于芯片覆膜技术领域。该用于芯片覆膜的生产设备包括切分机、切管机构、收卷机构和运输机械臂。所述切分机、所述切管机构、所述收卷机构和所述运输机械臂相互连通，所述切管机构和所述收卷机构之间设有桁架机械臂，所述切管机构和所述收卷机构之间通过所述桁架机械臂连通。这样的一种用于芯片覆膜的生产设备，减少了芯片覆膜膜片生产中的人工环节，增大了芯片覆膜膜片生产流程中的自动化程度，提高了芯片覆膜膜片生产的效率。高了芯片覆膜膜片生产的效率。高了芯片覆膜膜片生产的效率。
